【課題】異形部に依存することなく、股部の側面における電極間の短絡を回避できる構成の振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、水晶の原石などから、水晶の結晶軸としての互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対して所定の角度で切り出されたＺ板を基材とし、外形形状がウエットエッチングによって形成された水晶振動片であって、基部１１と、基部１１からＹ軸に沿って延びる一対の振動腕１２，１３と、を備え、一対の振動腕１２，１３の根元部同士を繋ぐ股部１９を挟んで一対の振動腕１２，１３の側面１２ａ，１３ａに励振電極２０，２１が形成され、股部１９の、Ｘ軸のプラス側を向いた側面１９ａに突起部１９ｂが形成され、突起部１９ｂが鋭角部１９ｃを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型化されても電界成分が減少しなく、生産性及び振動の安定性に優れる圧電振動片または圧電デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動片（１０Ａ）は、表裏面を有する矩形状の音叉基部（１１）と、表裏面とその表裏面と交差する両側面とを有し、音叉基部のＸ軸方向の幅よりも狭い位置からＹ軸方向に伸びる一対の振動腕（１２）と、一対の振動腕の表裏面から音叉基部の表裏面まで伸びる二対の振動腕溝部（１３Ａ、１３Ｂ）と、二対の振動腕溝部に並行して配置され、音叉基部のＸ軸方向の両外側に形成される一対の段差側面部（１５Ａ、１５Ｂ）と、振動腕の一方に設けられた振動腕溝部と音叉基部の一方の段差側面部に形成された第１電極と、振動腕の他方に設けられた振動腕溝部と音叉基部の他方の段差側面部に形成され、第１電極とは異なる極性の第２電極と、を備える。 （もっと読む）

【課題】接合の際の外的な応力を抑制し、かつ、圧電振動片とベースとの電気的接続を安定させる。
【解決手段】
水晶振動片２では、基板２１に、一対の励振電極６１，６２が形成されて振動領域５２が構成された振動部５１と、外部（ベース３）と接合する一対の端子電極６３，６４が形成された接合部５３とが一体的に設けられている。一対の端子電極６３，６４は、一対の励振電極６１，６２にそれぞれ電気的に接続され、かつ、振動部への距離が遠近となるように並設され、基板２１上における振動部５１までの距離が長い端子電極６３が、前記距離が短い端子電極６４よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 振動腕部に設けられる溝部の断面形状の対称性を改善し、また、容易に製造を容易とする。
【解決手段】 基部と基部から延設する振動腕部とからなる構造で振動腕部が長さ方向に溝部を有する音叉型水晶振動素子の製造方法であって、水晶ウェハに耐食膜を成膜する耐食膜成膜工程と、感光性レジストを形成し音叉形状に感光性レジストを残しつつ溝部となる部分の感光性レジストを除去し露出する耐食膜を除去するパターニング工程と、水晶ウェハの露出する水晶部分を除去するウェットエッチング工程とを含み、パターニング工程で、溝部となる部分内の感光性レジストが溝部となる部分の長さ方向の縁部分から直交する方向へ溝部となる部分内に突起させた状態で除去され、ウェットエッチング工程で、溝部となる部分に残された感光性レジストにより、水晶片の除去が徐々になされて溝部の断面形状を略Ｖ字形状に形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動腕部に設けられる溝部の断面形状の対称性を改善し、容易に製造を容易とする音叉型水晶振動素子の提供。
【解決手段】基部１１１と基部から延設する振動腕部１１２とからなる構造で振動腕部が長さ方向に溝部ＧＬを有する音叉型水晶振動素子の製造方法であって、水晶ウェハに耐食膜を成膜する耐食膜成膜工程と、感光性レジストを形成し音叉形状に感光性レジストを残しつつ溝部となる部分の感光性レジストを除去し露出する耐食膜を除去するパターニング工程と、水晶ウェハの露出する水晶部分を除去するウェットエッチング工程とを含み、パターニング工程で、溝部となる部分内の感光性レジストが溝部となる部分の長さ方向の縁部分から溝部となる部分内に斜めに突起させた状態で除去され、ウェットエッチング工程で、溝部となる部分に残された感光性レジストにより、水晶片の除去が徐々になされて溝部の断面形状を略Ｖ字形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片を所望する姿勢で再現性よく安定的に保持することができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動子１は、基部１１と基部１１から延びる一対の振動腕１２と基部１１に接続された支持部１３とを有する水晶振動片１０と、水晶振動片１０を収容するパッケージ２０と、水晶振動片１０とパッケージ２０とを接合する第１の接着剤３０及び第２の接着剤３１と、を備え、支持部１３が、パッケージ２０に接合される接合部１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを有し、各接合部１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが、互いに離れた位置に設けられると共に、振動腕１２の延びる方向において、接合部１３ｂ，１３ｃが、接合部１３ｄより振動腕１２寄りに設けられ、振動腕１２寄りの接合部１３ｂ，１３ｃを接合する第１の接着剤３０と、接合部１３ｄを接合する第２の接着剤３１とにおいて、第２の接着剤３１の方が硬化収縮率が大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動腕部に設けられる溝部の断面形状の対称性を改善し、容易に製造を容易とする音叉型水晶振動素子の提供。
【解決手段】基部１１１と基部から延設する振動腕部１１２とからなる構造で振動腕部が長さ方向に溝部ＧＬを有する音叉型水晶振動素子の製造方法で、水晶ウェハに耐食膜成膜の耐食膜成膜工程と、感光性レジストを形成し音叉形状に感光性レジストを残しつつ溝部となる部分の感光性レジストを除去し露出する耐食膜除去のパターニング工程と、水晶ウェハの露出水晶部分除去のウェットエッチング工程とを含み、パターニング工程で、溝部となる部分内の耐蝕膜が溝部となる部分の長さ方向の縁部分から溝部となる部分内に斜めになる斜めパターン部を残した状態で除去され、ウェットエッチング工程で、斜めパターン部分も含めた溝部となる部分に残された耐蝕膜により、水晶片の除去が徐々になされて溝部の断面形状を略Ｖ字形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】 振動腕の表裏面から股部又は溝部の基部側の端面への角度が緩やかな音叉型水晶振動片の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 音叉型水晶振動片（１０Ａ）の製造方法は水晶材に成膜された耐食膜にレジストを塗布しレジストを露光して基部（１１）と振動腕（１２Ａ）と溝部（１３Ａ）とに対応する領域を露光するフォトリソグラフィ工程と、基部と振動腕と溝部とに対応する領域の以外の耐食膜をエッチングし且つ水晶材をエッチングして音叉型水晶振動片の外形を形成する第１エッチング工程と、水晶材に残っている耐食膜およびレジストを除去する除去工程と、除去工程後に水晶材をエッチング剤に浸漬して、一対の振動腕と基部との間に形成される第１股部（１４Ａ）又は溝部の基部側の端面の少なくとも一方をエッチングする第２エッチング工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持腕のスプリアスと振動腕の共振周波数とを遠ざけた圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動片は、圧電材料により形成された基部（１１）と、第１厚さを有し基部から所定方向に一直線に伸びる一対の振動腕（１２）と、一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に一直線に伸び、第１厚さと異なる第２厚さの第２厚さ領域（ＡＲ１）を有する一対の支持腕（１３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】周波数を調整する時間を短縮可能な圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】振動腕部に周波数調整用の粗微調膜、および微調膜からなる重り金属膜が形成されている圧電振動片を、パッケージ内に封止し、粗微調膜、および微調膜にレーザ光を照射して粗微調膜、および微調膜を部分的に除去することにより、圧電振動片の周波数が目標周波数となるように調整する微調工程（Ｓ８０）を有する圧電振動子の製造方法であって、微調工程（Ｓ８０）は、圧電振動片の周波数を測定する周波数測定工程（Ｓ８１）と、周波数測定工程（Ｓ８１）により測定された周波数と目標周波数との差に応じ、予め設定された加工パターンでレーザ光を照射し、少なくとも粗微調膜を１回で除去するパターン加工工程（Ｓ８３）とを有する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るとともに、不要な振動モードの振動を抑制しつつ、振動腕を面内方向に効率的に屈曲振動させることができる振動片および振動デバイスを提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に並んで設けられ、Ｘ軸方向に屈曲振動する２つの振動腕２８、２９とを有し、各振動腕２８、２９は、Ｙ軸方向およびＸ軸方向にそれぞれ直交するＺ軸方向を法線とする面であって、互いに対向する１対の主面と、Ｘ軸方向を法線とする面であって、互いに対向する１対の側面とを備え、各主面には、Ｙ軸方向に延在する溝２８２、２８３が形成され、各側面には、Ｙ軸方向に延在する凸条２８４、２８５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ペーストの充填回数を少なくして効率良く貫通電極を形成することができるうえ、品質を損なうことなくパッケージを製造すること。
【解決手段】ベース基板とリッド基板との間に形成された電子部品を封止可能なキャビティを有するパッケージの製造方法であって、ベース基板を厚み方向に貫通し、電子部品と外部とを導通させる貫通電極を形成する貫通電極形成工程を備え、この工程が、ベース基板に貫通孔３０、３１を形成する貫通孔形成工程と、ベース基板の一方の面にメッシュシート７０をセットするセット工程と、真空雰囲気中にてメッシュシートを挟んでベース基板に対してペーストＰを塗布し、メッシュシートを通過させながらペーストを貫通孔内に充填する充填工程と、充填したペーストを焼成して硬化させる焼成工程と、を備えている方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】前工程における表面欠陥の影響が後工程に及ぶのを抑制し、表面欠陥のない圧電振動片を製造することができる圧電振動片の製造方法及び圧電振動片、並びに圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】ウエハ上に金属膜を形成する金属膜形成工程と、金属膜上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、レジスト膜をパターニングしてレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、レジストパターンの形成領域以外の領域の金属膜を除去して、外形パターンを形成する外形パターン形成工程と、を有する圧電振動片の製造方法であって、金属膜形成工程、レジスト膜形成工程及びレジストパターン形成工程のうち、少なくとも何れかの工程を複数回行うことを特徴とする （もっと読む）

【課題】アウトガスによる影響を防止することで電子部品特性の低下を防止可能な電子部品を提供する。
【解決手段】電子部品２は、第１の導電部３３、３４を有する基材３と、第２の導電部１２、１３を有する振動片１１と、前記第１の導電部３３、３４及び前記第２の導電部１２、１３に導電接触する第３の導電部２５、２６により覆われてなり、前記基材３と前記振動片１１との間に設けられた第１の部材１４と、前記基材３、前記振動片１１及び前記第１の部材１４により囲まれた領域に設けられ、前記基材３及び前記振動片１１を保持する第２の部材１５と、を備え、前記基材３及び前記振動片１１のうち一方は、前記領域に第１の凹部１７１を有し、前記第２の部材１５は、前記第１の凹部１７１に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パッケージを効率良く製造すること。
【解決手段】第１基板４０を厚さ方向に貫通し、キャビティの内側とパッケージの外側とを導通する貫通電極を形成する貫通電極形成工程を有し、貫通電極形成工程は、第１基板４０に貫通孔３０、３１を形成する貫通孔形成工程と、平板状の土台部８と、土台部８の表面に立設された芯材部７と、を備える導電性の鋲体９の芯材部７を貫通孔３０、３１内に挿入する鋲体配置工程と、を有し、貫通孔形成工程の際、第１基板４０の第１面４０ａ側から、第１面４０ａとは反対の第２面４０ｂ側に向けて漸次拡径する逆テーパ状に貫通孔３０、３１を形成し、鋲体配置工程の際、第１基板４０の第１面４０ａを上方に向けて第１面４０ａ上で鋲体９を移動させつつ、貫通孔３０、３１を通して第２面４０ｂ側から鋲体９を吸引することで、芯材部７を貫通孔３０、３１内に挿入するパッケージの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】アウトガスによる影響を防止することで電子部品特性の低下を防止可能な電子部品を提供する。
【解決手段】電子部品２は、第１の導電部３３、３４を有する基材３と、第２の導電部１２、１３を有する振動片１１と、前記第１の導電部３３、３４及び第２の導電部１２、１３に導電接触する第３の導電部２５、２６により覆われてなり、前記基材３と前記振動片１１との間に設けられた第１の部材１４と、前記基材３、前記振動片１１及び前記第１の部材１４により囲まれた領域に設けられ、前記基材３及び前記振動片１１を保持する第２の部材１５と、を備え、前記第２の部材１５の高さは、前記第１の部材１４の高さよりも高いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動腕部の振動が基部側に振動漏れすることを防ぎ、振動腕部の振動を安定させた圧電振動片を得る。
【解決手段】振動腕部３の腕幅Ｗより大きく、２本の振動腕部３の間隔Ｐより小さい腕幅Ｗ１を有した腕付根部４とを備えて、腕付根部４が振動腕部３の腕幅Ｗより広い部分を一定長さ有することで、振動腕部３に剛性を持たせるので、振動腕部３の振動が基部２側に漏れることを防ぎ、振動腕部３の振動、および水晶振動片１の振動周波数を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】小型で、低周波数化および高Ｑ値化が図られた振動片を提供する。
【解決手段】振動片２０は、一対の切り込み３１が形成された基部２１と、基部２１の第１の部分の一端側から互いに平行に延出された一対の振動腕２２と、を有している。各振動腕２２は、主要な振動部である一般部２３と、振動腕２２の基部２１との付け根とは反対側の先端側に、一般部２３よりも幅が広い錘部２９と、を有している。また、各振動腕２２の両主面のうち少なくとも一方の主面に沿って開口部を有する有底の長溝と、前記振動腕の前記基部との付け根とは反対側の先端側に、前記基部との前記付け根側よりも幅が広い錘部２９が形成されている。錘部２９は、振動腕２２の長手方向において、基部２１との付け根から先端側までの長さに占める錘部２９の長さ割合が３５％〜４１％の範囲となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】低周波数化および小型化を図ることができる振動片および振動デバイスを提供す
ること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出する振動腕２８と、
基部２７から振動腕２８とは反対側にＹ軸方向に延出する振動腕２９とを有し、振動腕２
８および振動腕２９は、一方の振動腕の基端部と他方の振動腕の途中部とがＹ軸方向に直
交するＸ軸方向に並んで設けられている。また、振動腕２８の先端部には、振動腕２８の
基端部よりもＸ軸方向での幅の大きい質量部２８１が設けられ、振動腕２９の先端部には
、振動腕２９の基端部よりもＸ軸方向での幅の大きい質量部２９１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】錘部が振動腕部の振動（振幅）に追従せずに振動腕部の振動とは異なる振動をしてしまうことを防ぎ、振動腕部の振動の安定化、および振動腕部の振動周波数を安定化する。
【解決手段】振動腕部３の腕幅Ｗより大きく（太く）、且つ先端錘部５の腕幅Ｗ２より小さい（細い）腕幅Ｗ１を有して形成された中間錘部４を備えることで、中間錘部４を振動腕部３の振動（振幅）に追従させる。さらに中間錘部４の腕幅Ｗ１より大きい（太い）腕幅Ｗ２を有して形成された先端錘部５を備えることで、振動腕部３および中間錘部４の振動（振幅）に追従させるので、振動腕部３の振動特性を安定させることができる。 （もっと読む）