【課題】所定の共振周波数を確保しつつ、小型化を図ること。
【解決手段】長手方向Ｙに延在するとともに幅方向Ｘに並んで配置された第１振動腕部４および第２振動腕部５と、これらの両振動腕部４、５の基端側を連結する基部６と、を備え、第１振動腕部４の先端部４ｃには、幅方向Ｘの内側に張り出す第１内張出部１１、および外側に張り出す第１外張出部１２が形成され、第２振動腕部５の先端部５ｃには、幅方向Ｘの内側に張り出す第２内張出部１３、および外側に張り出す第２外張出部１４が形成され、第１振動腕部４において第２内張出部１３と幅方向Ｘに対向する部分には、第１内張出部１１の張出端縁１１ｂよりも幅方向Ｘの外側に窪んだ第１逃げ部１５が設けられ、第２振動腕部５において第１内張出部１１と幅方向Ｘに対向する部分には、第２内張出部１３の張出端縁１３ｂよりも幅方向Ｘの外側に窪んだ第２逃げ部１６が設けられた圧電振動片２を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値を抑え、かつ振動特性を悪化させることなく小型化が可能な圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された基部５１と、前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕３５，３６と前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝３３，３４と、前記長溝に形成した励振用の電極とを備えており、前記各振動腕が、前記基部側において最も剛性が高く、先端側にいくに従い、徐々に剛性が低下する構成。 （もっと読む）

【課題】実装時の短絡等を防止した圧電振動片、圧電振動子を提供する。
【解決手段】ＡＴカットの圧電素板をウエットエッチング加工した圧電振動片１０であって、前記圧電振動片１０においてＸ軸方向に長辺を有するスリット３０と、前記スリット３０と前記圧電振動片１０のＺ′軸側の端部１２との間に配置されたマウント部４２、４４と、を有し、前記端部１２は、Ｘ軸方向に延びた第１端面１６及び第２端面２０と、段差部と、を有し、前記段差部は、前記第１端面１６と前記第２端面２０との間に配置され、Ｚ′軸方向の段差を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下を効果的に防止または抑制することができ、優れた性能を発揮することのできる振動片、振動子および電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２１と、検出用振動腕２２、２３と、連結腕２４、２５と、駆動用振動腕２６、２７、２８、２９とを有している。連結腕２４は、Ｙ軸方向への屈曲振動により圧縮または伸長する第１面２４３と、第１面２４３が圧縮したときに伸長し、第１面２４３が伸長したときに圧縮する第２面２４４と、第１面２４３と第２面２４４との間に設けられた溝４３１、４３２とを有している。連結腕２４の屈曲振動周波数をｆとし、円周率をπとし、連結腕２４に用いた材料の振動方向の熱伝導率をｋとし、連結腕２４に用いた材料の質量密度をρとし、連結腕２４に用いた材料の熱容量をＣｐとし、連結腕２４の振動方向の幅をａとし、ｆｍ＝πｋ／（２ρＣｐａ^２）としたとき、１＜ｆ／ｆｍである。 （もっと読む）

【課題】 小型化されても、落下による破損又は変形を十分に防止することができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイスは、リッド側凹部を有するリッド基板（１０）と、音叉型圧電振動片と外枠フレームとを有するチップ基板（２０）と、ベース用凹部を有するベース基板（３０）とを接合してなり、圧電振動片は、基部（４１）と振動腕（４２）とを備え、支持腕（４４）を介して外枠フレームと接続され、リッド基板のリッド側凹部には、音叉型圧電振動片の短手方向において、基部と対応する位置に、リッド用基部緩衝部（１２）が形成され、ベース基板のベース用凹部には、音叉型圧電振動片の短手方向において、基部と対応する位置に、ベース用基部緩衝部（３２）が形成され、リッド用基部緩衝部とベース用基部緩衝部との高さは、これらから音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点までの距離に比例している。 （もっと読む）

【課題】スプレーコート法において溝部の側面に膜形成材料を塗布でき、溝部の側面に膜をムラなく形成できる圧電振動片の製造方法と、この方法により製造された圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜形成工程（膜形成工程）は、ウエハ６０にフォトレジスト材（膜形成材料）を噴霧する噴霧器７７を備えたフォトレジスト膜形成装置（膜形成装置）を用いて行い、ウエハ６０の法線Ｋに対し長手方向の一方側に傾斜した第１方向から、噴霧器７７によりウエハ６０にフォトレジスト材を塗布する第１塗布工程と、ウエハ６０の法線に対し長手方向の他方側に傾斜した第２方向から、噴霧器７７によりウエハ６０にフォトレジスト材を再度塗布する第２塗布工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子部品パッケージにおいて、内部空間のガス量を抑制する。
【解決手段】電子部品素子２の電極３１，３２が搭載される第１封止部材４と、第１封止部材４と対向して配置されて電子部品素子２の電極３１，３２を気密封止する第２封止部材７とにより電子部品パッケージを構成する。このような電子部品パッケージにおいて、内部空間１１内における主面４２，７２には、電子部品素子２の電極３１，４３と電気的に接続される内部電極と、ゲッター材（ゲッター膜５６，７６）とが配されている。ここで、ゲッター材（ゲッター膜５６，７６）は、内部電極と間隙６５を空けて配されている。 （もっと読む）

【課題】 接合材のはみ出しによる特性の悪影響をなくした圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、一対の励振電極を有する圧電片（３０）を収納する。その圧電デバイスは、周辺に環状に形成された第１接合面（Ｍ１）と第１接合面から凹んで形成されたリッド側凹部とを有するリッド（１０）と、第１接合面に対応し環状に形成された第２接合面（Ｍ２）と第２接合面から凹んで形成されたベース側凹部とベース側凹部から突き出た形状で且つ圧電片を載置する一対の台座（４５）とが形成されたベース（４０）と、一対の台座に載置された音叉型水晶振動片（３０）と、第１接合面と第２接合面との間に環状に配置され第１接合面と第２接合面とを接合する非導電性の接合材（４８）と、を備える。そして第２接合面（Ｍ１）と一対の台座（４５）とが同一面高さに形成される。 （もっと読む）

【課題】低いＣＩ値で且つ配線抵抗の小さい音叉型水晶振動片を提供する。
【解決手段】音叉型水晶振動片３０Ａは、励振電極３３，３４を有し所定方向に伸びた一対の振動腕２１と、一対の振動腕が連結された基部２３と、一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に伸びる一対の支持腕２５と、導電性接着剤と接する一対の支持腕の先端領域から励振電極まで引き出された引出電極３１，３２と、を備える。さらに励振電極は、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｗのうち少なくとも１つの第１の金属膜と第１の金属膜上に形成されたＡｕ又はＡｇのうち少なくとも１つの第２の金属膜との２層からなり、引出電極は、第２の金属膜上に形成されたＣｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｗのうち少なくとも１つの第３の金属膜と第３の金属膜上に形成されたＡｕ又はＡｇのうち少なくとも１つの第４の金属膜との４層からなる。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子、水晶ユニットとそれらの製造方法、及び水晶発振器と携帯機器を提供する。
【解決手段】水晶音叉基部３５４ａと第１水晶音叉腕３５２ａと第２水晶音叉腕３５３ａを備えて構成される音叉型屈曲水晶振動子３５１ａで、第１水晶音叉腕の内側側面は第２水晶音叉腕の内側側面に対向し、第１側面と、第２側面３５５ｅ，３５６ｅを介して第１側面に接続された第３側面３５５ａ，３５６ａを備えた溝が、第１、第２水晶音叉腕の各主面に形成され、該溝は、音叉腕長さ方向で第４側面に対向する第５側面を備え、第１側面の他端部は第５側面の一端部に接続され、第３側面の他端部は第４側面の一端部に接続され、該溝の外側端部から水晶音叉腕の外側端部までの該溝の幅方向距離を部分幅で定義すると、該溝の溝幅はその部分幅より大きく、所定の関係にて、該溝の長さ寸法と、音叉型屈曲水晶振動子の全長寸法が決定されている。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動素子ウエハにおいて、音叉型屈曲水晶振動素子の取り個数が増え、生産性向上が出来る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０は、基部１１１と、基部から同一方向に延設した２本の振動腕部１１２ａ、１１２ｂと、一方の振動腕部が設けられる側に寄って、基部より振動腕部と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部よりも振動腕部から離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、を備えた複数の音叉型屈曲水晶振動素子と、複数の音叉型屈曲水晶振動素子を囲む様に設けられているフレーム部２０と、音叉型屈曲水晶振動素子の基部とフレーム部が連結されている連結部３０と、で構成され、隣り合う音叉型屈曲水晶振動素子の第一の支持腕部１１３ａと第二の支持腕部１１３ｂとが、振動腕部の長さ方向に所定の間隔を空けてフレーム部２０に備えられている。 （もっと読む）

【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出する振動腕２８、２９とを有している。各振動腕２８、２９は、Ｚ軸方向に対向する上面２８１、２９１および下面２８２、２９２を有している。第１の面２８１、２９１に第１の質量部５１、５２が設けられると共に、第２の面２８２、２９２に第２の質量部５４、５５が設けられている。第１の質量部５１、５２および第２の質量部５４、５５の少なくとも一方は、Ｚ軸方向からの平面視で、他方に対し非対向な部分を有する。 （もっと読む）

【課題】振動腕の破損を生じ難くし、周波数変化を起こり難くすることができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動子１は、基部１１と、振動腕１２と、支持部１３と、を有する水晶振動片１０と、水晶振動片１０を収容するパッケージ２０と、を備え、振動腕１２は、基部１１側に位置する腕部１５と、腕部１５より先端側に位置する第１錘部１６と、腕部１５と第１錘部１６との間に位置する第２錘部１７と、を有し、第１錘部１６の幅Ｗ３は腕部１５の幅Ｗ１より広く、第２錘部１７の幅Ｗ２は腕部１５の幅Ｗ１より広く且つ第１錘部１６の幅Ｗ３より狭く、パッケージ２０は、水晶振動片１０の支持部１３を支持するマウント電極２４ａ，２４ｂが設けられた内底面２４に凹部２４ｃを有し、凹部２４ｃは、平面視において、第１錘部１６が収まる大きさであると共に、縁２４ｄの一部が第２錘部１７と対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】高いドライブレベル特性を確保することができる圧電振動片と、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】溝部５の基端側の幅は、溝部５の先端側の幅よりも狭く形成されており、基部４は、圧電振動片１を実装するマウント電極１２，１３が外表面に形成されたマウント部４ａと、マウント部４ａと一対の振動腕部３ａ，３ｂとの間に位置するようにマウント部４ａと一対の振動腕部３ａ，３ｂとに連設され、一対の励振電極１０，１１とマウント電極１２，１３とを接続する引き出し電極１４ａ，１４ｂが外表面に形成された中間部４ｂと、を有し、マウント部４ａの幅は、中間部４ｂの幅よりも広く形成されており、マウント部４ａの側面と中間部４ｂの側面とは、マウント部４ａと中間部４ｂとの段差部において、長手方向に対して傾斜する傾斜面４ｃを介して連設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値を低く抑え、且つ加工が容易な小型の振動子を提供することを目的とする。
【解決手段】振動子の振動細棒の表面及び裏面のいずれか又はその両方に溝（１２０ａ）を形成し、かつ、この溝の中に電極（１４０ａ）を形成する。これによって、ＣＩ値を低く抑え、且つ加工が容易な小型の振動子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、音叉型の圧電振動片を使った圧電デバイスが高温試験された後も周波数変動が小さい音叉型の圧電振動片および圧電デバイスを提供する
【解決手段】 音叉型の圧電振動片（３０）は、圧電材料により形成された基部（３１）と、基部の一端側から所定方向に伸びる一対の振動腕（３２）と、底面を有する溝部又は貫通する貫通孔（３４）を有し、振動腕の外側で基部より所定方向に伸びる一対の支持腕（３３）と、を備え、溝部又は貫通孔は、支持腕と振動腕との間で基部に形成される支持腕付け根位置（３８）から伸びている。 （もっと読む）

【課題】より安価で小型化に有利な圧電振動デバイスの接合構造が得られる圧電振動片および圧電振動子を提供する。
【解決手段】一対の励振電極２９２が形成され、これらの励振電極を端子電極と電気機械的に接合させるために前記励振電極からそれぞれ引き出された一対の引出電極２９３が形成された圧電振動片２において、前記引出電極の先端部が前記圧電振動片の一主面の一端部近傍に引き出された接続電極を有し、前記接続電極の上面には前記接続電極より表面粗さが粗く平面積が小さな第1金属膜Ｍ１を有しており、前記第１金属膜と前記接続電極の間には前記接続電極より表面粗さが粗く、前記第１金属膜と同材質でかつ前記第1金属膜より厚みの薄い第２金属膜Ｍ２が形成された状態で、前記第1金属膜により端子電極と超音波接合により電気機械的に接合してなる。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃特性が向上した振動片、この振動片を備えた、振動子及び発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から延びる一対の振動腕１１と、基部１０から延び、可撓性を有する第１保持部１２と、を備え、第１保持部１２は、振動腕１１ａの一方側に沿って振動腕１１ａの先端側に延びる第１腕部１２ａと、第１腕部１２ａから振動腕１１ａの延びる方向に対して交差する方向に沿って振動腕１１ａ，１１ｂの先端越しに延びる第２腕部１２ｂと、第２腕部１２ｂから振動腕１１ｂの他方側に沿って振動腕１１ｂの根元側に延びる第３腕部１２ｃと、を有し、第１腕部１２ａ及び第３腕部１２ｃが、平面視において、振動腕１１ａ，１１ｂが所定の変位量を超えた変位時に、振動腕１１ａ，１１ｂと接触するように、振動腕１１ａ，１１ｂとの間隔Ｗ２が設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させることができる振動片、この振動片を備えた、振動子及び発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１１と、基部１１から延びる一対の振動腕１２，１３と、を備え、振動腕１２，１３は、機械的な共振周波数ｆが熱緩和周波数ｆ０より大きく、振動腕１２，１３は、互いに対向する主面１０ａ，１０ｂに、振動腕１２，１３の長手方向に沿って形成された溝部１８を有し、溝部１８は、底部１８ｃと、振動腕１２，１３の長手方向に沿って形成され、主面１０ａ，１０ｂと底部１８ｃとに接する第１側面部１８ａと、底部１８ｃを挟んで第１側面部１８ａに対向し、主面１０ａ，１０ｂと底部１８ｃとに接する第２側面部１８ｂと、を有し、溝部１８は、第１側面部１８ａの底部１８ｃ側の一部から、底部１８ｃを含んで第２側面部１８ｂの底部１８ｃ側の一部までの範囲に亘って、励振電極２０，２１が設けられていない無電極領域を有している。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させることができる屈曲振動片、この屈曲振動片を備えた振動子及びこの屈曲振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１１と、基部１１から延びる一対の振動腕１２，１３と、を備え、振動腕１２，１３は、互いに対向する両方の主面１０ａ，１０ｂに、振動腕１２，１３の長手方向に沿って形成された溝部１８を有し、振動腕１２，１３の基部１１との接続部に、平面視において、振動腕１２，１３から基部１１に近づくに連れて、溝部１８から外形までの間隔が広くなる傾斜部１９が設けられ、溝部１８は、傾斜部１９にかかる底部１８ｃの少なくとも一部に、溝部１８の長手方向に沿った第１側面１８ａとの連結部１８ｄから、底部１８ｃを挟んで第１側面１８ａと対向する第２側面１８ｂとの連結部１８ｅまでの範囲で、励振電極２０，２１が形成されない無電極領域を有していることを特徴とする。 （もっと読む）