【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、及びこれを用いた圧電振動子の提供。
【解決手段】ＡＴカット水晶により形成され、振動部２２を有する薄肉部２１と、周縁で該薄肉部より厚い厚肉部１７とを備えた圧電振動片１０で、該振動片は、＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向への回転を正の回転角とし、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°〜＋６０°の範囲で回転し得られるＺ′′軸と、Ｘ軸をＹ′軸回りにＺ′軸と共に回転し得られるＸ′軸と、に各々平行な縁辺を有し、厚肉部１７には、縁辺方向に緩衝部１４を介してマウント部１２が横並びに連結され、緩衝部１４は、マウント部１２と厚肉部１７間にスリット１６を有し、マウント部１２は、マウント部１２と緩衝部１４と厚肉部１７との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、面取り部１８を有し、スリット１６の長手方向の少なくとも一部は直交方向と平行である。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、及びこれを用いた圧電振動子、電子デバイスの提供。
【解決手段】水晶の結晶軸の、Ｘ軸とＺ′軸に平行な面でＹ′軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶で形成され、振動部２２を有する薄肉部２１と、薄肉部２１より厚い厚肉部１７とを備えた圧電振動片１０であって、圧電振動片１０は、＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向への回転を正の回転角とし、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°から＋６０°の範囲で回転して得られるＺ′′軸と、Ｘ軸をＹ′軸回りにＺ′軸と共に回転し得られるＸ′軸と、に各々平行な縁辺を有し、厚肉部１７には、縁辺の方向に緩衝部１４を介してマウント部１２が横並びに接続され、緩衝部１４は、マウント部１２と厚肉部１７間にスリット１６を有し、マウント部１２は、マウント部１２と緩衝部１４と厚肉部１７との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、切欠き部１２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】角型ウエハにマスク材膜を成膜する際の膜厚のムラを抑制できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片の製造装置、圧電振動片、この圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜８５ａ（マスク材膜）をスピンコート法により成膜するフォトレジスト膜成膜工程を有し、フォトレジスト膜成膜工程は、ウエハ保持部７２の中心軸を回転中心Ｋとして角型ウエハ６５を回転させて行い、スピンチャック７０は支柱部７６を備え、整流板８８は支柱部７６が挿通される挿通孔８９ａを有し、整流板８８の上面８８ａには、角型ウエハ６５の第２面６５ｂに向かって気体を吹き出す吹き出し孔９６が、角型ウエハ６５の外縁６６よりウエハ保持部７２の径方向の内側であって挿通孔８９ａの内周面よりも径方向の外側に複数形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】小型で且つ耐衝撃性のある圧電振動子（音叉型圧電振動子）を得る。
【解決手段】圧電振動素子１の圧電基板８は、一対の振動腕１５ａ、１５ｂと、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０と、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広の錘部２０ａ、２０ｂと、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心に沿って形成された溝部１７ａ〜１８ｂと、各振動腕１５ａ、１５ｂに夫々形成された励振電極３０〜３６と、を備えている。各錘部２０ａ、２０ｂは、厚肉部２１と、薄肉部２２ａ、２２ｂと、薄肉部の表裏面上に形成された錘用電極膜２４ａ、２４ｂと、薄肉部２２ａ、２２ｂの外周、或いは薄肉部の面積内に錘用電極膜２４ａ、２４ｂを形成しない厚肉の突設部を備えている。 （もっと読む）

【課題】小型化と周波数温度特性の改善とを図った圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、振動ジャイロセンサー、及びこれらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】圧電振動素子１の圧電基板７は、複数の振動腕１５ａ、１５ｂ、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広で且つ第１の溝部２２ａ〜２４ａが形成された錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心線に沿って形成された第２の溝部１７ａ〜１８ｂ、を備えている。各振動腕１５ａ、１５ｂの表裏面と側面に夫々励振電極が形成されており、屈曲−捩じり結合振動が励振される。圧電振動素子１は、励振される屈曲−捩じり結合振動のうちの屈曲振動を主振動とし、その周波数温度特性が温度に関し三次特性となるように圧電基板７の切断角度と、第一溝部及び第２の溝部の幅と深さと、及び振動腕の厚さを夫々設定する。 （もっと読む）

【課題】抵抗値Ｒ１を増加させることなく、ショート不良を改善することができる圧電振動片の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電材料からなるウエハを利用して、圧電振動片を製造する方法であって、圧電板の外表面上に電極膜をパターニングして一対の電極を形成する電極形成工程（Ｓ４）が、圧電板の表面に電極膜を成膜する電極膜形成工程（Ｓ４ａ）と、電極膜上にフォトレジスト膜を成膜するフォトレジスト膜形成工程（Ｓ４ｂ）と、フォトレジストパターン用に第一開口部が配されたマスクによりフォトレジスト膜に対して露光を行う第一露光工程と（Ｓ４ｃ）、第一開口部の一部と重なる位置に第二開口部が配された補正マスクによりさらにフォトレジスト膜に対して露光を行う第二露光工程（Ｓ４ｄ）と、を備え、一対の電極の隙間に対応する第二開口部の開口幅は、その隙間に対応する第一開口部の開口幅以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マスク材膜を成膜する際の膜厚のムラを抑制できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片の製造装置、圧電振動片、この圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】ウエハ６５の第１面６５ａに、フォトレジスト材８５をスピンコート法により成膜するフォトレジスト膜成膜工程（マスク材膜成膜工程）を有し、フォトレジスト膜成膜工程は、ウエハ６５の周方向にウエハ６５を回転させて行い、スピンチャック７０は、ウエハ保持部７２の下面７２ｂに、スピンチャック７０の径方向に沿って放射状に延在し、スピンチャック７０の回転時にウエハ保持部７２の下面７２ｂから下方に向かって下降気流Ｄを発生するフィン７５を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】膜材料を塗布して膜を成膜する際に、膜厚のムラを抑制できるスピンチャック、このスピンチャックを備えた圧電振動片の製造装置、この製造装置を用いた圧電振動片の製造方法、この製造方法により製造された圧電振動片、この圧電振動片を備えた圧電振動子を提供する。
【解決手段】遠心力を利用し、水晶ウエハ６５（基板）の一方面６５ａにフォトレジスト材８５（膜材料）を塗布するために、水晶ウエハ６５の他方面６５ｂを基板保持部７２で保持して水晶ウエハ６５を回転させるスピンチャック７０であって、基板保持部７２は、水晶ウエハ６５の保持面７２ａと背面７２ｂとが稜線で接続される先細り状の外周部７２ｄを有し、水晶ウエハ６５の他方面６５ｂと基板保持部７２の背面７２ｂとが滑らかに連続していることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】応力フリータイプの逆メサ型圧電振動素子を基板上に片持ち支持する場合に、振動基板から十分に離間した両梁部の適所を固定することによって固定部と振動基板との間に梁部を介在させて、固定部で発生する支持応力が振動基板に影響を与えないようにした。
【解決手段】圧電基板が、逆メサ型の振動基板１１と、振動基板の一方の端部寄り位置に固定されて該振動基板を片持ち梁状に支持する支持部２０と、支持部を基板４に固定するための固定部３０と、を有し、固定部は、第２の連結部２２に設けられ、且つ基板４に対して２つの固定部材により２点支持により固定され、各支持点Ｐ１、Ｐ２を結んだ線分Ｌ３の延長上に圧電基板が位置しており、固定部よりも振動基板の基端部寄りの梁部の特定部位と対向する基板の一主面に第１の凸部５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】圧電板の外形を正しく認識して、電極部を高精度に形成できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】金属積層膜２８上にフォトレジスト材を塗布し、金属積層膜２８上にフォトレジスト膜４４を形成する第１フォトレジスト膜材形成工程と、フォトレジスト膜４４をパターニングしてレジストパターン５４を形成する第１パターニング工程と、レジストパターン５４の形成領域以外の領域の金属積層膜２８を除去して、下地電極膜を形成する第１エッチング工程と、を有し、フォトレジスト膜形成工程は、ウエハＳにおける第１面Ｓａ側に配置された第１治具７２、及び第２面Ｓｂ側に配置された第２治具７３により、ウエハＳを厚さ方向の両側から挟持して行い、第１治具７２及び第２治具７３は、ウエハＳの厚さ方向から見て重なり合わない位置に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】狭小な幅の引き回し電極を厚くかつ精度よく形成でき、耐久性に優れ安定した電気的特性が得られるパッケージ製造方法、このパッケージ製造方法により製造された圧電振動子、この圧電振動子を有する発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】ベース基板用ウエハ４０の上面Ｕに引き回し電極を形成する引き回し電極形成工程Ｓ３３を有し、引き回し電極形成工程Ｓ３３は、マスク部材７５をベース基板用ウエハ４０の上面Ｕに配置するマスク部材配置工程Ｓ３３Ｂと、ベース基板用ウエハ４０の上面Ｕ側に配置された噴霧器７７を、上面Ｕに沿って往復移動させながら導電性樹脂７３を噴霧するとともに、ヒータプレート７１を加熱して上面Ｕに付着した導電性樹脂７３を乾燥させる仮乾燥工程Ｓ３３Ｃと、乾燥させた導電性樹脂７３を焼成して硬化させる焼成工程Ｓ３３Ｄと、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】重り金属膜の剥がれを抑制して、周波数の変動を抑制できる圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】幅方向に並んで配置された一対の振動腕部１０，１１と、一対の振動腕部１０，１１における延在方向の基端側が接続された基部１２と、振動腕部１０，１１の外表面に形成された重り金属膜２１と、を備えた圧電振動片４において、振動腕部１０，１１における長手方向の先端部の回避領域Ｒを避けた位置に重り金属膜２１を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マスクの位置合わせの作業性を向上させつつ、位置合わせの精度を高め、容易に、かつ高精度に圧電板や電極を形成することができる圧電振動片の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】ウエハ側マーク群７１と、電極マスク側マーク群５２とを検出する電極マーク群検出工程と、ウエハ側マーク群７１と電極マスク側マーク群５２とを位置合わせしながらウエハに電極膜用マスクを配置する電極マスク配置工程とを有し、ウエハ側マーク群７１、および電極マスク側マーク群５２は、それぞれ互いに大きさの異なるマーク５１ａ〜７１ｄにより構成され、それぞれ最も小さいウエハ側マーク７１ｄ、および電極マスク側マーク５２ｄを互いのマークの位置合わせ用として利用し、これ以外のウエハ側マーク７１ａ〜７１ｃ、および電極マスク側マーク５２ａ〜５２ｃを、電極マーク群検出工程に利用する。 （もっと読む）

【課題】パッケージ内の良好な真空度の確保ができる陽極接合装置、この陽極接合装置を用いたパッケージ製造方法、このパッケージ製造方法により製造された圧電振動子、この圧電振動子を有する発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】リッド基板用ウエハ５０の上面５０ａ（外面）と第１ヒータ７１との間に配置され、熱伝導性を有し、可撓可能な第１中間部材７５と、ベース基板用ウエハ４０の下面Ｌ（外面）と第２ヒータ７２との間に配置され、導電性および熱伝導性を有し、可撓可能な第２中間部材７６と、を備え、第１中間部材７５は、中央部７５ｃが周縁部７５ｄよりもベース基板用ウエハ４０に向かって膨出して形成されていると共に、第２中間部材７６は、中央部７６ｃが周縁部７６ｄよりもリッド基板用ウエハ５０に向かって膨出して形成されており、第１中間部材７５および第２中間部材７６が平坦に変形することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】製造工数の増加、製造効率の低下、及び振動特性の変動を抑制した上で、圧電板上に被膜パターンをムラなく形成できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜形成工程は、ウエハＳ上の金属膜４３に向けて気流を発生させてフォトレジスト材を噴霧する噴霧器７３と、ワークステージ７２及びウエハＳ間に配置された複数のスペーサ７４と、、を有する形成装置７１を用いて行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気特性の劣化や外部電極膜の剥離等を抑制しながら、金属芯材を有する貫通電極を具備した高品質なパッケージを製造すること。
【解決手段】金属芯材７ｂを有し、該金属芯材を介して電子部品４と外部とを導通させる貫通電極３２、３３を形成する貫通電極形成工程と、ベース基板４０とリッド基板とを陽極接合し、両基板の間にキャビティＣを画成する接合工程と、ベース基板の下面４０ｂに導電性材料を被膜して貫通電極に導通する外部電極を形成する外部電極形成工程と、を備え、接合工程と外部電極形成工程との間に、ベース基板の下面を研磨して、該下面のうちの少なくとも外部電極が形成される部分と、金属芯材の下端面と、を同時に研磨する研磨工程を行うパッケージの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動片の製造途中において破損しにくくするとともに、音叉型圧電振動子を衝撃または振動に強くした音叉型圧電振動片または音叉型圧電振動子を提供する。
【解決手段】 音叉型圧電振動片（２０）は、第１厚さ（Ｄ２）の基部（２９）と、第１厚さよりも薄い第２厚さ（Ｄ１）で基部の一端部より突出して形成される第１および第２の振動腕と（２１）、を有する。また、この音叉型圧電振動片を利用した圧電振動子（５０）を提供する。 （もっと読む）

【課題】又部に現像液を十分に浸入させてマスクパターンを精度よく形成し、電極の形成不良を防止できる圧電振動片の製造方法と、この製造方法により製造された圧電振動片、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】フォトリソグラフィ技術を用いて、圧電板の表面に電極を形成するための圧電振動片４の製造方法であって、励振電極１３，１４を形成する電極形成工程は、フォトレジスト（マスク材）を露光する露光工程Ｓ１２５と、現像液にフォトレジストを浸漬して選択的に除去し、マスクパターンを形成する現像工程Ｓ１２７と、励振電極１３，１４を形成するエッチング工程Ｓ１２９と、を有し、露光工程Ｓ１２５と現像工程Ｓ１２７との間に、現像液に可溶かつ現像液より低粘度の第１液体に、フォトレジストが塗布された圧電板を浸漬する浸漬工程Ｓ１２６を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】広い離調度調整範囲を確保すると共に、水晶振動子ごとの特性に合わせた離調度調整や漏れ調整を水晶ウェハー上で一括して行う水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】水晶を所定の外形形状に加工する外形形成工程ＳＴ１と、水晶振動子に電極を形成する電極形成工程ＳＴ２と、電極を形成した水晶振動子の離調度を測定する離調度測定工程ＳＴ３と、離調度測定工程の測定結果に基づいて、基部と検出脚の接続部分の近傍に形成された電極を所定形状に加工する電極加工工程ＳＴ５と、電極加工工程で加工された電極をマスクにして水晶振動子をエッチングにより削るエッチング工程ＳＴ６を有する水晶振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを抑制し、良好なドライブレベル特性を確保しつつ、ＣＩ値を低く抑制できる圧電振動片と、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】並んで配置された一対の振動腕部３ａ，３ｂと、振動腕部３ａ，３ｂの両主面上に形成され、振動腕部３ａ，３ｂのＹ方向（長手方向）に沿って伸びる外側溝部５１および内側溝部５２と、一対の振動腕部３ａ，３ｂが接続された基部４と、を備えた圧電振動片１であって、溝部４は、振動腕部３ａ，３ｂのＸ方向（幅方向）に並んで複数本形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）