【課題】Ｚ軸に平行な向きで振動する振動によるクリスタルインピーダンスの値が大きくなることを防ぎ生産性を向上させた音叉型屈曲水晶振動素子を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し厚み方向がＺ軸に平行となっている平板状の基部の側面から二つ一対の振動腕部がＹ軸に平行な方向で同一方向に延設されており、それぞれの振動腕部のそれぞれの主面に溝部が形成され、両主面に形成されている溝部の底面が対向しないようにＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置のうち、
溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部に最も近い辺の長さが前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部から最も遠い溝部の開口部の辺の長さと異なっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｚ軸に平行な向きで振動する振動によるクリスタルインピーダンスの値が大きくなることを防ぎ生産性を向上させた音叉型屈曲水晶振動素子を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し厚み方向がＺ軸に平行となっている平板状の基部の側面から二つ一対の振動腕部がＹ軸に平行な方向で同一方向に延設されており、それぞれの振動腕部のそれぞれの主面に溝部が形成され、両主面に形成されている溝部の底面が対向しないようにＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置のうち、Ｘ軸に平行な振動腕部の辺の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線に対してＸ軸に平行な方向に交互にずらした位置にそれぞれの振動腕部のそれぞれの主面に溝部が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、引出電極が形成される外枠部の幅を広く形成し、引出電極の幅を広くして引出電極の電気抵抗が低くされた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動片（１３０）は、励振電極（１３４）を有する圧電振動部（１３１）と、互いに向かい合う第１枠体（１３２ａ）及び第２枠体（１３２ｂ）並びに第１枠体及び第２枠体と交差する第３枠体（１３２ｃ）及び第４枠体（１３２ｄ）からなり、圧電振動部を囲む外枠部（１３２）と、圧電振動部の一辺又は角部から第１枠体又は第１枠体と第３枠体又は第４枠体との角部まで伸びて圧電振動部と外枠部とを連結する連結部（１３３）と、励振電極から外枠部に引き出される一対の引出電極（１３５）と、を備え、一対の引出電極の一方は第１枠体まで引き出され、他方は第３枠体を介して第２枠体まで引き出されており、第３枠体の枠幅（ＷＲ）は第４枠体の枠幅（ＷＬ）よりも広い。 （もっと読む）

【課題】逆相の屈曲モードで振動する超小型の音叉型圧電振動子を提供する。
【解決手段】基部部分に接続された少なくとも第１及び第２音叉腕とを備えて構成され、音叉腕の各々の一端部が基部部分に接続され、他端部が自由であり、各々の上面と下面の少なくとも一面に溝が形成され、基本波モード振動の品質係数Ｑ_ｍ１、共振周波数ｆ_ｍ１、等価直列抵抗Ｒ_ｍ１、等価容量Ｃ_ｍ１と２次高調波モード振動の品質係数Ｑ_ｍ２、共振周波数ｆ_ｍ２、等価直列抵抗Ｒ_ｍ２、等価容量Ｃ_ｍ２を備え、振幅係数ｋａ_２１がｋａ_２１＝（ｆ_ｍ１Ｒ_ｍ１Ｃ_ｍ１^１／２）／（ｆ_ｍ２Ｒ_ｍ２Ｃ_ｍ２^１／２）で定義され、かつ、安定係数Ａ_ｓ１２がＡ_ｓ１２＝（Ｃ_ｍ２Ｑ_２^２）／（Ｃ_ｍ１Ｑ_ｍ１^２）で定義される時、安定係数Ａ_ｓ１２が０．０５２９＜Ａ_ｓ１２＜０．３３３の範囲内、かつ、振幅係数ｋａ_２１が０．２３＜ｋａ_２１＜０．５７７の範囲内にある。 （もっと読む）

【課題】同一面に極性等の信号の異なるパッド電極を配置した場合であっても、パッド電極間の短絡を防止することを可能とする圧電デバイス、圧電モジュール、電子機器、電子システム及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサー１の感圧素子層１００は、一辺を二分するように切り欠くスリット１２６が設けられ、スリット１２６により一対の接続部が分離して配置される。一対の接続部は少なくとも一部がダイアフラム層２００よりも外側へ露出している。感圧素子層１００は、一対の接続部の一方の主面側に夫々設けられた互いに信号の異なる第１パッド電極３４、第２パッド電極３６と、スリット１２６の隣り合う側面とは反対側の側面のうち一方の側面に設けられ、他方の主面に設けられた第１引出し電極１０９と、第１引出し電極１０９と信号が同じ第１電極パッド３４とを電気的に接続する側面電極１３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高い生産性と良品率、層間の接合面の信頼性を高めたウェハの積層構造、圧電デバイス、圧電モジュール、圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】互いに隣り合う第１基板１４に対応する第１の個片同士を第１の梁６８Ａ、６８Ｂで連結して形成された第１ウェハ６６と、互いに隣り合う圧電振動基板２６に対応する第２の個片同士を第２の梁７２Ａ，７２Ｂで連結して形成され前記第１ウェハに積層された圧電振動ウェハ７０と、を有し、前記第１の個片及び前記第２の個片には、前記第１の個片及び前記第２の個片を連通して前記第１の個片及び前記第２の個片の一辺を二分するように切り欠くスリット２０及び３０が設けられ、前記第２の個片は、前記スリット３０を挟んで配置される一対の接続部３２Ａ、３２Ｂを有し、前記接続部には、振動部３４に設けられた励振電極に電気的に接続するパッド電極４２Ａ、４２Ｂが配置された構造とする。 （もっと読む）

【課題】 ＣＩ値を上げることなく周波数調整が容易になる音叉型の圧電振動片を提供する。
【解決手段】
第１の観点の音叉型圧電振動片（２０）は、基部の一端側から所定方向に伸びその先端に錘部が形成される一対の振動腕（２１）と、一対の振動腕の第１面に該第１面から凹んで所定方向に伸びるように形成される第１溝部（２４）と、第１面の反対側の第２面に該第２面から凹んで所定方向に伸びるように形成される形成され第２溝部（２４）と、を備える。そして第１溝部と第２溝部とは、側面（２４S）、底面（２４B）、基部側である後端面（２４Ｅ）及び錘部側の先端面（２４Ｅ）を有する。その第１溝部には、後端面から先端面に至る途中まで伸びる第１励振電極（３３ａ，３４ａ）が形成される。第２溝部には後端から先端面まで伸びる第２励振電極（３３ｂ、３４ｂ）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスに衝撃が与えられたときに、音叉型圧電振動片の支持腕の部分が逃げ溝の角張ったエッジ部に衝突することがないようにし、これにより支持腕の折損が生じないようにすることを課題とする。
【解決手段】圧電デバイス１は、音叉型圧電振動片３と、蓋体２１、音叉型圧電振動片３が収納され、蓋体２１によって密閉される収納凹部２２、音叉型圧電振動片３を基部３１とは反対側で支持腕３３で固定するために、収納凹部２２の底面に設けられた一対の支持台２３、及び、支持台２３に固定された音叉型圧電振動片３が、収納凹部２２の底面に衝突するのを防止するために、この底面に形成された逃げ溝２４、を有するパッケージとを備えており、逃げ溝２４のエッジ部２４１が、支持腕３３の部分に代わり基部３１の部分が衝突するようにこの基部３１の下側に存在するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動片を水平に保持する圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（５０）は、基部（２３）と基部から所定方向に伸びた一対の振動腕（２１）と一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に伸びて形成される一対の支持腕（２２）と一対の支持腕に配置された一対の接合領域（３５）とを有する圧電振動片（１００）を有する。そして圧電デバイスは、圧電振動片を収容する底面（ＢＴ）を有し接合領域に対応する一対の導電パッド（５８）が底面に形成されたパッケージ（ＰＫＧ）を有する。パッケージの底面（ＢＴ）には、底面から導電性接着剤の上面までの高さと同等の高さのサポート台（１１）が基部又は支持腕に対応する位置に形成されている。そして圧電デバイスは、一対の導電パッドと一対の接合領域とをそれぞれ電気的に接続し且つ固定する導電性接着剤（２５）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化、低コスト化を達成しつつ、電気容量Ｃ０を高くすることが可能な圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】ベース基板２、リッド基板３、励振電極１５が形成されている圧電振動片４、外部電極３８、３９を備える圧電振動子１において、引き回し電極３７に沿って延びる電気容量調整用の電極パターン３６ａが引き回し電極３６から延設されている。 （もっと読む）

【課題】各圧電振動子のベース基板とリッド基板の接合幅Ｌの値を小さくする。
【解決手段】ベース基板用ウエハ４０に、２つの貫通電極７を備えたベース基板２を複数形成し、各ベース基板２に、圧電素子片４をマウントする。また、リッド基板用ウエハ５０には、凹部３ａを備えたリッド基板３を複数形成し、接合膜３５を形成する。このベース基板用ウエハ４０とリッド基板用ウエハ５０とを突き合わせ、陽極接合することで複数の圧電振動子１からなるウエハ体６０を作製する。その後、リッド基板用ウエハ５０側に、各圧電振動子１の切断線に沿って、レーザを照射して切れ目を入れ、反対側から鋭利な押圧刃８３０で押圧することで、順次切断する。このようにレーザによる切れ目を反対側から押圧することで切断面を綺麗に割ることができる。 （もっと読む）

【課題】二枚のウエハ（ベース基板用ウエハおよびリッド基板用ウエハ）の接合時に両ウエハ間で発生したガスを外部に放出し易くする。
【解決手段】真空チャンバ６１内に配設した下治具３１および上治具３３によってベース基板用ウエハ４０とリッド基板用ウエハ５０とを積層方向の両側から挟みこんで積層させて、圧電振動片４を封止した複数個のキャビティを有するウエハ接合体６０を形成し、ウエハ接合体６０を複数個のキャビティ毎に切断して、複数個のパッケージを形成するパッケージの製造方法であって、リッド基板用ウエハ５０は、積層方向に貫通する貫通孔２１を有し、下治具３１は、貫通孔２１と真空チャンバ６１内とを連通する連通孔３１ａを有し、陽極接合によってウエハ接合体６０を形成するときに貫通孔２１と連通孔３１ａとを連通させる。 （もっと読む）

【課題】数μｍ以下の厚みの非常に薄い水晶薄膜を安定して製造できる水晶デバイスの製造方法、及びこの製造方法で製造した水晶デバイスを提供する。
【解決手段】水晶単結晶基板１に水素イオンを注入して、表面１Ａから一定深さの部分をアモルファス化させて、水晶単結晶基板１内にアモルファス層１３Ａ〜１３Ｃを形成する。アモルファス層を形成する深さは、イオンや原子の注入条件（注入エネルギーやドーズ量）により決まり、注入条件に応じて１μｍ〜数μｍの深さにばらつきのない平坦な層が形成される。アモルファス層の側面が露出するように、表面１Ａから複数の溝１４Ａ〜１４Ｄを形成し、これらの溝にエッチング液を導入してエッチングを行う。水晶のアモルファスは、水晶結晶よりもエッチング速度が速いので、エッチングによりアモルファス層１３Ａ〜１３Ｃを除去することで、水晶単結晶基板１から水晶薄膜１５Ａ〜１５Ｃが分離される。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、およびこれを用いた圧電振動子、電子デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１１の一方の主面から、前記主面とは反対側の他方の主面に向けて凹陥した第１の凹陥部１７Ａと、前記第１の凹陥部１７Ａの底部１７Ａａに配置された振動部と、前記振動部の外周縁と一体的に接続され前記振動部の厚みより厚い厚肉部１６と、を備える圧電振動片１０であって、前記厚肉部１６に接続され、基板上で一点支持されるマウント部２０を有し、前記圧電基板１１の他方の主面から、前記第１の凹陥部１７Ａの底部１７Ａａに向けて凹陥した第２の凹陥部１７Ｂを設け、前記振動部は、前記第１の凹陥部１７Ａの底部１７Ａａ及び第２の凹陥部１７Ｂの底部１７Ｂａにより構成され、前記振動部と前記厚肉部１６との境界には、前記圧電基板１１の両主面共に、前記厚肉部１６の厚み方向に段差を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、落下衝撃に対する強度低下を最小限に抑えて振動漏れを防止することにある。
【解決手段】圧電振動片の基部１０には、表裏面に括れた形状が表れるように１つの直線に沿って対向方向に一対の切り込み１４が形成されている。基部１０は、一対の切り込み１４を挟んで両側に位置する第１及び第２の部分１６，１８と、一対の切り込み１４の間で第１及び第２の部分１６，１８を接続する接続部２０と、を含む。一対の振動腕１２が、第１の部分１６から表裏面に平行に延びる。接続部２０は、表裏面に直交するとともに１つの直線を含む断面において、矩形の両側に三角形を接続した形、矩形の両側に半円を接続した形、ひし形及び円形からなるグループの形状のうちいずれか１つの形状である。 （もっと読む）

【課題】製造効率を向上できるとともに、割れや欠け等の発生を抑えて歩留まりを向上できるウエハ外周面の研磨方法、圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】一対の研削テーブル２０５によりウエハＷを厚さ方向両面側から挟持するウエハセット工程と、研磨部材２０２を、長手方向がウエハＷの厚さ方向に沿うように配置して、ウエハＷの外周面Ｗ１に当接させる当接工程と、研削テーブル２０５によりウエハＷを回転させつつ、研磨部材２０２を長手方向に沿って往復走行させ、ウエハＷを研磨する研磨工程と、を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型で且つ耐衝撃性のある圧電振動子（音叉型圧電振動子）を得る。
【解決手段】圧電振動素子１の圧電基板８は、一対の振動腕１５ａ、１５ｂと、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０と、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広の錘部２０ａ、２０ｂと、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心に沿って形成された溝部１７ａ〜１８ｂと、各振動腕１５ａ、１５ｂに夫々形成された励振電極３０〜３６と、を備えている。各錘部２０ａ、２０ｂは、厚肉部２１と、薄肉部２２ａ、２２ｂと、薄肉部の表裏面上に形成された錘用電極膜２４ａ、２４ｂと、薄肉部２２ａ、２２ｂの外周、或いは薄肉部の面積内に錘用電極膜２４ａ、２４ｂを形成しない厚肉の突設部を備えている。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、及びこれを用いた圧電振動子の提供。
【解決手段】ＡＴカット水晶で形成され、振動部２２を有する薄肉部２１と、周縁で、該薄肉部より厚い厚肉部１７とを備えた圧電振動片１０であって、該振動片は、＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向へ回転して正の回転角とし、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°〜＋６０°で回転のＺ′′軸と、Ｘ軸をＹ′軸回りにＺ′軸と共に回転したＸ′軸と、に各々平行な縁辺を有し、厚肉部は、縁辺で緩衝部１４を介してマウント部１２が横並び接続とされ、緩衝部は、マウント部と厚肉部間にスリット１６を有し、マウント部は、緩衝部と厚肉部間の並びに直交する切欠き部１８を有し、スリット１６の長手方向は直交方向に平行で、該マウント部の直交方向幅を、スリットの長手方向幅より狭く、スリットの長手方向の両端部は、マウント部の両端部より緩衝部の直交方向の外周寄りにある。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ると共に、周波数温度特性を改善した圧電振動素子を得る。
【解決手段】圧電振動素子１は、圧電振動素子１の圧電基板８が、複数の振動腕１５ａ、１５ｂ、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広で錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心に沿って形成された溝部１７ａ〜１８ｂ、を備えている。各錘部２０ａ、２０ｂは、振動中心に沿っての両側に対称に配置され且つ大きな質量を備えた質量部２１を備えており、圧電振動素子１に励振される屈曲−捩じり結合振動のうちの屈曲振動を主振動とし、その周波数温度特性が温度に関し三次特性となるように、圧電基板８の厚さ及び切断角度と、各質量部２１及び溝部１７ａ〜１８ｂの形状と、を夫々適切に設定する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの接合時にウエハ間で発生するアウトガスを外部に放出しやすくすることができるとともに、接合されたウエハを良好に切り出して、歩留まりを向上できるウエハ、およびそのウエハを用いたパッケージ製品の製造方法を提供する。
【解決手段】リッド基板用ウエハ５０に、このリッド基板用ウエハ５０の径方向中心５０ａを通り、径方向に延びる複数の仮想直線Ｖ１、Ｖ２上に沿ってそれぞれ溝部２２を形成し、これら溝部２２を径方向に分割構成し、各溝部２２が互いに接触しないように配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）