【課題】優れた振動特性を発揮することのできる振動片を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出し、Ｘ軸方向に複数並んで設けられた振動腕２８、２９、３０と、振動腕２８、２９、３０に設けられ、振動腕２８、２９、３０をＺ軸方向に屈曲振動させる圧電体素子２２、２３２４とを有している。また、各振動腕２８、２９、３０は、屈曲振動により圧縮または伸長する第１の面２８１、２９１、３０１と、第１の面２８１、２９１、３０１が圧縮したときに伸長し、伸長したときに圧縮する第２の面２８２、２９２、３０２とを有している。また、振動腕２８、２９は、第１の面２８１、２９１側に圧電体素子２２、２３が設けられており、振動腕３０は、第２の面３０２側に圧電体素子２４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動腕の破損を生じ難くし、周波数変化を起こり難くすることができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動子１は、基部１１と、振動腕１２と、支持部１３と、を有する水晶振動片１０と、水晶振動片１０を収容するパッケージ２０と、を備え、振動腕１２は、基部１１側に位置する腕部１５と、腕部１５より先端側に位置する第１錘部１６と、腕部１５と第１錘部１６との間に位置する第２錘部１７と、を有し、第１錘部１６の幅Ｗ３は腕部１５の幅Ｗ１より広く、第２錘部１７の幅Ｗ２は腕部１５の幅Ｗ１より広く且つ第１錘部１６の幅Ｗ３より狭く、パッケージ２０は、水晶振動片１０の支持部１３を支持するマウント電極２４ａ，２４ｂが設けられた内底面２４に凹部２４ｃを有し、凹部２４ｃは、平面視において、第１錘部１６が収まる大きさであると共に、縁２４ｄの一部が第２錘部１７と対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上及び材料ロスの低減を図ることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】凹部形成工程では、金属ピン３７が配置される貫通孔２１，２２と、貫通孔２１，２２から第１面４０ａに向けて貫通孔２１，２２に対して漸次拡径する拡径部４１と、をベース基板用ウエハ４０の厚さ方向に沿って形成し、充填工程では、拡径部４１にもガラスフリットを充填する。 （もっと読む）

【課題】リッド及びベースをＡＴカットの水晶ウエハとの熱膨張率の差異が小さい水晶デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】水晶デバイスの製造方法が、ＡＴカット振動片とＡＴカット振動片の周囲を囲み且つＡＴカット振動片を支持する外枠とを有するフレームを複数含むＡＴカット水晶ウエハ７０を用意する工程と、リッドを複数含む水晶リッドウエハ６０を用意する工程と、ベースを複数含む水晶ベースウエハ８０を用意する工程と、ＡＴカット水晶ウエハ、水晶ベースウエハ及び水晶リッドウエハを接合する接合工程と、を備える。ＡＴカット水晶ウエハ、前記水晶ベースウエハ及び水晶リッドウエハは、３〜４インチサイズであり、水晶ベースウエハ及び水晶リッドウエハは、水晶の結晶軸であるＺ軸から２４度００分以上３２度２８分以下の範囲で切り出されている。 （もっと読む）

【課題】第１基板の反りを低減して、歩留まりを向上させるとともに、パッケージの機械的強度を向上させることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】充填工程と第２研磨工程との間に、矯正治具によりベース基板用ウエハ４０を厚さ方向両側から挟み込んだ状態で、加熱する矯正工程を有し、矯正治具は、ベース基板用ウエハ４０とガラスフリット３８との熱膨張係数差に基づくベース基板用ウエハ４０の反りの向きと、逆向きに反っている。 （もっと読む）

【課題】ガラスフリットを凹部内に隙間なく充填して、キャビティ内の気密性の維持及び貫通電極の機械的強度の向上を図ることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】貫通電極形成工程は、ベース基板用ウエハ４０の第１面４０ａに貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、貫通孔内に金属ピン３７を挿入する金属ピン配置工程と、貫通孔と金属ピン３７との間にガラスフリット３８を充填する充填工程と、貫通孔内に充填されたガラスフリット３８を焼成して、硬化させる焼成工程と、ベース基板用ウエハ４０の少なくとも第２面４０ｂを研磨して金属ピン３７を第２面４０ｂに露出させる研磨工程とを有し、充填工程に先立って、ベース基板用ウエハ４０及び金属ピン３７の少なくとも一方に親油化処理を施す親油化処理工程を有している。 （もっと読む）

【課題】振動部の熱弾性損失を抑制しつつ、同相モードの振動も抑制し、高精度で信頼性の高い振動片を提供する。
【解決手段】基部１４と、基部１４から延設された連結部１５と、互いに平行に延びる複数の第１軸上に、連結部１５を基端として延設され、第１面と該第１面に対向する第２面と前記第１面および前記第２面を連結する側面とを有し、前記第１面および前記第２面に対して法線方向に屈曲する複数の振動腕１６（１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）とを備え、複数の振動腕１６は、駆動時に互いに隣り合う振動腕１６が反対方向に屈曲振動し、屈曲方向が相反する前記振動腕１６のうちのいずれか一方の根元付近の連結部１５に配置される矯正部１８を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動腕を振動させる振動変位エネルギーの損失を抑制し、安定した振動特性を維持することが可能な屈曲振動片を提供する。
【解決手段】屈曲振動片である水晶振動片１は、基部２と、基部２から延長して形成された振動腕３と、積層構造体９と、を備え、積層構造体９は、第１電極である励振電極１２と、第２電極である励振電極２２と、励振電極１２および励振電極２２との間に配置された圧電体層６と、を含み、少なくとも振動腕３に形成され、圧電体層６は、基部２の側に位置する端部が傾斜部４を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動部の熱弾性損失を抑制しつつ、ねじれ方向の力も抑制し、振動特性、およびＱ値の良好な振動片を提供する。
【解決手段】基部１４と、基部１４から延設され、振動面の法線方向に屈曲振動を成す複数の振動腕１６（１６ａ〜１６ｃ）とを有する振動片１０であって、複数の振動腕１６のうちの少なくとも最外側に配置された振動腕１６には、振動腕１６における主振動と異なる特性の振動を抑制する突起部１８が形成されていることを特徴とする。また、振動腕１６は、屈曲方向と交差する方向に沿った第１面と、前記第１面に対向する第２面とを有し、前記第１面に励振電極（第１層励振電極２２および第２層励振電極４０）を備え、第２面に突起部１８を備えるようにすることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させることができる屈曲振動片、この屈曲振動片を備えた振動子及びこの屈曲振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１１と、基部１１から延びる一対の振動腕１２，１３と、を備え、振動腕１２，１３は、互いに対向する両方の主面１０ａ，１０ｂに、振動腕１２，１３の長手方向に沿って形成された溝部１８を有し、振動腕１２，１３の基部１１との接続部に、平面視において、振動腕１２，１３から基部１１に近づくに連れて、溝部１８から外形までの間隔が広くなる傾斜部１９が設けられ、溝部１８は、傾斜部１９にかかる底部１８ｃの少なくとも一部に、溝部１８の長手方向に沿った第１側面１８ａとの連結部１８ｄから、底部１８ｃを挟んで第１側面１８ａと対向する第２側面１８ｂとの連結部１８ｅまでの範囲で、励振電極２０，２１が形成されない無電極領域を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】内部応力の集中を回避し、信頼性の高い振動片、振動子、発振器を提供する。
【解決手段】基部１０と、前記基部から延出する腕部２０，３０，４０とを備える振動片であって、前記腕部１０の一方の主面に配置される圧電素子を備え、前記圧電素子は圧電体膜７０ａ、７０ｂ、７０ｃと、前記圧電体膜の一方の側に設けた第１電極膜５０と、前記圧電体膜の他方の側に設けた第２電極膜６０と、を備え、前記圧電素子は、前記第１電極膜を前記主面の側に配置され、前記圧電体膜の前記基部の側の端部が、前記腕部の平面内に有る振動片。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で圧電振動子を配線することができる発振装置を提供する。
【解決手段】電気音響変換器１００は、導電性高分子材料からなる第一導電体１４１により弾性振動板１２０の表面の第一配線層１３１が圧電振動子１１０の表面電極層１１２と導通しており、導電性高分子材料からなる第二導電体１４２により弾性振動板１２０の表面の第二配線層１３２が圧電振動子１１０の裏面電極層１１３と導通している。このため、簡単な構造で圧電振動子１１０を配線することができる。 （もっと読む）

【課題】 上側と下側との平板を同一構造にしてコストを低減する圧電振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動デバイスの製造方法は圧電振動片と圧電振動片を支持する外枠とを有する圧電フレームを複数含み少なくとも一対の第１貫通孔が形成された圧電ウエハを用意する工程（Ｓ１０１）と、励振電極を形成し引出電極及び第１側面電極を形成する第１電極形成工程（Ｓ１０３）と、第１面と第２面とを有する平板を複数含み少なくとも一対の第２貫通孔が形成された平板ウエハを２枚用意する工程（Ｓ１１１）と、外部電極及び第２側面電極を形成する第２電極形成工程（Ｓ１１３）と、非導電性の封止材を環状に配置する封止材配置工程（Ｓ１２）と、圧電ウエハと２枚の平板ウエハとを封止材で接合する接合工程（Ｓ１３）と、接合工程後に第１面、第１貫通孔及び第２貫通孔に接続電極を形成する第３電極形成工程（Ｓ１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】接続部である電極配線が、蒸着等によって、確実に形成可能な構成を有する屈曲振動片を提供する。
【解決手段】水晶振動片（屈曲振動片）１は、基部２と、基部２から延長して形成された３本の腕部３と、励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、励振電極２２ａ，２２ｂ，２２ｃと、励振電極１２および励振電極２２の間に配置された圧電体層６と、を含み励振電極１２を腕部３の側にして腕部３に形成された積層構造体９と、奇数番目の腕部３の励振電極１２ａ，１２ｃおよび偶数番目の腕部３の励振電極２２ｂに接続されて基部２に形成された電極端子１０と、偶数番目の腕部３の励振電極１２ｂおよび奇数番目の腕部３の励振電極２２ａ，２２ｃに接続されて基部２に形成された電極端子２０と、を有し、圧電体層６は、少なくとも電極端子２０が形成される領域にまで延長して形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電体膜の段差部へ第２電極を延伸して確実に形成することが可能な圧電振動片を提供する。
【解決手段】水晶振動片（屈曲振動片）１は、基部２と、基部２から延長して形成され屈曲振動をする振動腕３と、励振電極（第１電極）１２と、励振電極（第２電極）２２と、励振電極１２および励振電極２２との間に配置された圧電体層６と、を含み、励振電極１２を振動腕３の側にして少なくとも振動腕３に形成された積層構造体９と、を有し、励振電極２２は、積層構造体９からさらに延伸し、圧電体層６の端部の段差部７を含んで基部２にまで形成され、段差部７では振動腕３に形成された励振電極２２より幅の広い拡幅部４を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供
すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機
器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方
向に直交するＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８上に設けられ、エネルギ
ー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８
の共振周波数を調整する第１の質量部５１および第２の質量部５４とを有し、第１の質量
部５１は、振動腕２８の第１の面２８１上に設けられ、第２の質量部５４は、振動腕２８
の第２の面２８２上に設けられ、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向
から見たときに、互いに重ならない部分を有する。 （もっと読む）

【課題】 薄い寸法構成の圧電アクチュエータを用いた振動装置を提供する。
【解決手段】 一端部を台座４に固定した板状の圧電アクチュエータ１と圧電アクチュエータ１の他端部にダンパ３を介して接続した錘２を有する。 （もっと読む）

【課題】優れた信頼性および温度特性を有する圧電振動子および発振器を提供すること。
【解決手段】圧電振動子１は、配線基板２１１と、圧電振動片３と、圧電振動片３を配線基板２１１に固定する接着剤４とを有している。また、圧電振動片３は、厚み滑り振動をする圧電基板３１と、圧電基板３１に設けられた一対の励振電極３２、３３とを有し、一対の励振電極３２、３３は、それぞれ、導電性ワイヤー５１、５２によって配線基板２１１に電気的に接続されている （もっと読む）

【課題】ガラスフリットの内部での空隙部の発生を抑制して、キャビティ内の気密性の維持及び貫通電極の機械的強度の向上を図ることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】貫通孔２１，２２内に充填されたガラスフリット３８を焼成して、硬化させる焼成工程を有し、焼成工程は、圧力が大気圧よりも低く設定された減圧雰囲気下で行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、熱膨張による影響を低減させた表面実装型の水晶デバイスを提供する。
【解決手段】 電圧の印加により振動する励振部（１３２）と励振部の周囲を囲む枠部（１３３）とを有し、Ｘ軸、Ｙ’軸、Ｚ’軸により規定されるＡＴカット水晶材により形成される水晶素子（１３０）と、枠部の一主面に接合されＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸により規定されるＺカット水晶材により形成されるベース（１１０）と、枠部の他主面に接合されＺカット水晶材で形成されるリッド（１２０）と、を備え、水晶素子のＺ’軸とベース及びリッドのＸ軸又はＹ軸との方向が一致している。 （もっと読む）