【課題】静電容量の増加を防止することができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１００は、両主面Ｍｅ、Ｍｉに一対の励振電極１０２ａが形成される圧電振動片１０１及び圧電振動片を囲み一主面Ｍｉに励振電極から引き出された一対の引出電極１０３ａ、１０３ｂが形成される枠体１０４を有する圧電振動フレーム１０と、圧電振動フレームの枠体の一主面に接合される第１端面Ｍ１と第１端面の反対側の実装面Ｍ３と実装面から第１端面まで伸びて形成され引出電極に接合する一対の実装端子１２５ａ、１２５ｂと第１端面の全周の内側に形成され第１端面から凹んだ第１段差部１２３とを有する第１板１２と、第１板の第１段差部に配置され圧電振動フレームと第１板とを接合する接合材ＬＧと、を備える。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、およびこれを用いた圧電振動子、電子デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１１の一方の主面から、前記主面とは反対側の他方の主面に向けて凹陥した第１の凹陥部１７Ａと、前記第１の凹陥部１７Ａの底部１７Ａａに配置された振動部と、前記振動部の外周縁と一体的に接続され前記振動部の厚みより厚い厚肉部１６と、を備える圧電振動片１０であって、前記厚肉部１６に接続され、基板上で一点支持されるマウント部２０を有し、前記圧電基板１１の他方の主面から、前記第１の凹陥部１７Ａの底部１７Ａａに向けて凹陥した第２の凹陥部１７Ｂを設け、前記振動部は、前記第１の凹陥部１７Ａの底部１７Ａａ及び第２の凹陥部１７Ｂの底部１７Ｂａにより構成され、前記振動部と前記厚肉部１６との境界には、前記圧電基板１１の両主面共に、前記厚肉部１６の厚み方向に段差を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面実装型電子部品の外部電極の耐衝撃性を向上させる。
【解決の手段】脆性材料で形成された基板１と、基板１を備えたパッケージと、パッケージに設置された電子素子８と、基板１上に形成された外部電極４と、を備える電子部品１００において、外部電極４は、基板１上に形成された下地金属層１２と、下地金属層１２上に形成されたはんだ付け金属層１３と、はんだ付け金属層１３上に形成された保護金属層１４とで構成され、はんだ付け金属層１３は、Ｎｉ及びＣｏの合金で形成されるとともに、Ｃｏの添加量が０．０１重量％から５重量％の範囲内であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、主面の外周に階段領域を設けた圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 メサ型の圧電振動片の製造方法は、圧電基板に金属膜を形成する工程（Ｓ１０１）と、圧電材ウエハに貫通溝を形成して圧電基板の外形を形成する貫通溝形成工程（Ｓ１０６）と、金属膜の表面にフォトレジスト膜を形成する工程（Ｓ２０２）と、第１メサ段部の平面形状にレジストパターンを形成する工程（Ｓ２０３）と、レジストパターンに被覆されていない金属膜をエッチングして金属膜パターンを形成する工程（Ｓ２０４）と、金属膜パターンを保護膜として圧電基板をエッチングして第１メサ段部を形成する工程（Ｓ３０１）と、金属膜パターンを金属膜パターンの側面よりエッチングする工程（Ｓ３０２）と、側面がエッチングされた金属膜パターンを保護膜として圧電基板をエッチングして第２メサ段部を形成する工程（Ｓ３０４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 周波数を可変する発振器のインダクタンスを水晶デバイスの内部に形成し、且つ効率的な周波数調整を行うことができる水晶デバイスを提供する。
【解決手段】 水晶デバイス（１００）は、表裏面にそれぞれ第１励振電極（２５）及び第２励振電極（２６）を有する板状の水晶板（２０）と、実装面に第１実装端子（５１）及び第２実装端子（５２）を有し水晶板を収納するパッケージ（１０）と、第１励振電極から第１実装端子までを配線する第１配線電極（３２）と、第２励振電極から第２実装端子までを配線する第２配線電極（３３）と、を備える。そして、第１配線電極（３２）と第２配線電極（３３）とが交番電流が印加された際に同じ電流向きになるように螺旋状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】レーザーによる基板のダメージを抑えつつ、基板の表面に形成された薄膜を、基板を透過したレーザーにより効率的に加工する。
【解決手段】レーザー１を透過させる基板１１と、加工対象物である第一の薄膜１３との間に、レーザー１を透過可能な中間層１２を介在させた状態で、第一の薄膜１３が形成された側とは反対側の基板１１の表面にレーザー１を照射して透過させ、透過したレーザー１を第一の薄膜１３に焦点を結ぶように照射することで、第一の薄膜１３と第二の薄膜１４を加工する。基板１１と第一の薄膜１３との間に中間層１２が介在していることで、その厚みの分だけレーザー１の焦点位置（第一の薄膜１３の位置）が基板１１から遠ざかり、基板１１がレーザー１の高密度領域に晒されることがなくなるため、レーザー１による基板１１へのダメージと、それに伴うレーザー１の基板１１への吸収（減衰）が抑制される。 （もっと読む）

【課題】小型圧電振動素子をパッケージに実装する際に、励振電極がパッケージの上下面に接触しない手段を得る。
【解決手段】圧電振動素子１００は、圧電基板１０と、圧電基板１０の両主面に対向配置された励振電極２０と、引出電極２２と、パッド２４と、を備えている。圧電基板１０は、中央に位置する励振部１４と、励振部１４より薄肉で励振部１４の周縁に形成された周辺部１２と、を有している。励振部１４の対向する２つの側面は夫々無段差状の平面であり、励振部１４の他の対向する２つの側面は夫々厚み方向に段差部を有している。圧電振動素子１００が励振されたときに振動変位が十分に減衰する領域の両主面上には、前記圧電基板の主面方向と直交する突起部１１を少なくとも一個備えている。 （もっと読む）

【課題】製造効率を向上できるとともに、割れや欠け等の発生を抑えて歩留まりを向上できるウエハ外周面の研磨方法、圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】一対の研削テーブル２０５によりウエハＷを厚さ方向両面側から挟持するウエハセット工程と、研磨部材２０２を、長手方向がウエハＷの厚さ方向に沿うように配置して、ウエハＷの外周面Ｗ１に当接させる当接工程と、研削テーブル２０５によりウエハＷを回転させつつ、研磨部材２０２を長手方向に沿って往復走行させ、ウエハＷを研磨する研磨工程と、を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現しつつ、品質を高め、生産性を向上させることができる表面実装水晶振動子を提供する。
【解決手段】矩形のセラミックベース１の角部に形成された貫通孔の壁面にスルー端子５ｘが形成され、セラミックベース１の表面に水晶片２を両端で保持する両持ちタイプの水晶保持端子４の引出端子が対角のスルー端子５ｘに接続すると共に、セラミックベース１の裏面ではスルー端子５ｘに接続する実装端子５ａが形成され、更に金属カバー３のセラミックベース１上に溶融樹脂８を介して接合する開口端面が傾斜面を備えたフランジ３ａとした表面実装水晶振動子である。 （もっと読む）

【課題】製造工程の時間短縮化や低コスト化を図れ、且つ実装する素子の高精度な位置決めが可能な電子デバイス及び当該電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】電子デバイス１００において、キャビティ５０の底面５１を、平面視における面積が蓋部６１よりも小さくなるように形成し、第一の素子３をキャビティ５０の内部に収容する際（キャビティ５０の上方より底面５１に向けて移動する際）、一の側面５２と当該一の側面５２と隣接する他の側面５２とで形成される複数の稜部５３のうち少なくとも何れか３つの稜部５３に当接させることで、キャビティ５０内の目標とする位置に位置決めした状態で収容できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】小型、低背であると共にＣＩ値の小さな圧電振動子であり、且つパッケージに搭載するときの歩留まりを改善する手段を得る。
【解決手段】圧電基板１０と、圧電基板１０の両主面の振動領域１４に対向配置した励振電極２０と、引出電極２２と、角隅部に配置したパッド２４と、を備えた圧電振動素子である。圧電基板１０は、中央に位置する励振部１４と、励振部１４より薄肉で励振部１４の周縁に形成された周辺部１２と、を有し、励振部１４の全ての側面は夫々厚み方向に段差部を有している。圧電振動素子が励振されたときに振動変位が十分に減衰する領域の両主面上に、圧電基板１０の主面方向と直交する突起部１１を少なくとも一個備えている。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、及びこれを用いた圧電振動子の提供。
【解決手段】ＡＴカット水晶により形成され、振動部２２を有する薄肉部２１と、周縁で該薄肉部より厚い厚肉部１７とを備えた圧電振動片１０で、該振動片は、＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向への回転を正の回転角とし、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°〜＋６０°の範囲で回転し得られるＺ′′軸と、Ｘ軸をＹ′軸回りにＺ′軸と共に回転し得られるＸ′軸と、に各々平行な縁辺を有し、厚肉部１７には、縁辺方向に緩衝部１４を介してマウント部１２が横並びに連結され、緩衝部１４は、マウント部１２と厚肉部１７間にスリット１６を有し、マウント部１２は、マウント部１２と緩衝部１４と厚肉部１７との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、面取り部１８を有し、スリット１６の長手方向の少なくとも一部は直交方向と平行である。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、及びこれを用いた圧電振動子、電子デバイスの提供。
【解決手段】水晶の結晶軸の、Ｘ軸とＺ′軸に平行な面でＹ′軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶で形成され、振動部２２を有する薄肉部２１と、薄肉部２１より厚い厚肉部１７とを備えた圧電振動片１０であって、圧電振動片１０は、＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向への回転を正の回転角とし、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°から＋６０°の範囲で回転して得られるＺ′′軸と、Ｘ軸をＹ′軸回りにＺ′軸と共に回転し得られるＸ′軸と、に各々平行な縁辺を有し、厚肉部１７には、縁辺の方向に緩衝部１４を介してマウント部１２が横並びに接続され、緩衝部１４は、マウント部１２と厚肉部１７間にスリット１６を有し、マウント部１２は、マウント部１２と緩衝部１４と厚肉部１７との並ぶ方向に対して直交方向の両端部に、切欠き部１２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの接合時にウエハ間で発生するアウトガスを外部に放出しやすくすることができるとともに、接合されたウエハを良好に切り出して、歩留まりを向上できるウエハ、およびそのウエハを用いたパッケージ製品の製造方法を提供する。
【解決手段】リッド基板用ウエハ５０に、このリッド基板用ウエハ５０の径方向中心５０ａを通り、径方向に延びる複数の仮想直線Ｖ１、Ｖ２上に沿ってそれぞれ溝部２２を形成し、これら溝部２２を径方向に分割構成し、各溝部２２が互いに接触しないように配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラスフリットの焼成後に生じるベース基板との段差を平坦化して、キャビティの内部と外部の導通性を確保することができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】ガラスフリット３８の焼成後に、少なくともベース基板用ウエハ４０の第１面４０ａ側に生じるガラスフリット３８の凹み３２ｃを埋めるように、成膜材料３９を成膜する成膜工程を有し、成膜工程は、スパッタ法または化学気相成長法を用いて成膜材料３９を成膜することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 振動部の振動特性が悪化しない圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電振動片は、長辺と短辺とを含む矩形形状の第１面（２０ａ）、その反対側の第２面（２０ｂ）、及び第１面と第２面とを結ぶ側面（２０ｃ〜２０ｆ）を有する圧電振動片（２０）であって、第１面の中央部に形成された第１励振電極（２１ａ）と、第１励振電極から短辺の側面のみを通って第２面の外周部に引き出された第１引出電極（２２ａ）と、第１励振電極に向かい合って第２面に形成された第２励振電極（２１ｂ）と、第２励振電極から第２面の外周部にのみ引き出された第２引出電極（２２ｂ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型で且つ耐衝撃性のある圧電振動子（音叉型圧電振動子）を得る。
【解決手段】圧電振動素子１の圧電基板８は、一対の振動腕１５ａ、１５ｂと、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０と、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広の錘部２０ａ、２０ｂと、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心に沿って形成された溝部１７ａ〜１８ｂと、各振動腕１５ａ、１５ｂに夫々形成された励振電極３０〜３６と、を備えている。各錘部２０ａ、２０ｂは、厚肉部２１と、薄肉部２２ａ、２２ｂと、薄肉部の表裏面上に形成された錘用電極膜２４ａ、２４ｂと、薄肉部２２ａ、２２ｂの外周、或いは薄肉部の面積内に錘用電極膜２４ａ、２４ｂを形成しない厚肉の突設部を備えている。 （もっと読む）

【課題】実装時の振動部への応力を緩和させた圧電振動片、及びこれを用いた圧電振動子の提供。
【解決手段】ＡＴカット水晶で形成され、振動部２２を有する薄肉部２１と、周縁で、該薄肉部より厚い厚肉部１７とを備えた圧電振動片１０であって、該振動片は、＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向へ回転して正の回転角とし、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°〜＋６０°で回転のＺ′′軸と、Ｘ軸をＹ′軸回りにＺ′軸と共に回転したＸ′軸と、に各々平行な縁辺を有し、厚肉部は、縁辺で緩衝部１４を介してマウント部１２が横並び接続とされ、緩衝部は、マウント部と厚肉部間にスリット１６を有し、マウント部は、緩衝部と厚肉部間の並びに直交する切欠き部１８を有し、スリット１６の長手方向は直交方向に平行で、該マウント部の直交方向幅を、スリットの長手方向幅より狭く、スリットの長手方向の両端部は、マウント部の両端部より緩衝部の直交方向の外周寄りにある。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ると共に、周波数温度特性を改善した圧電振動素子を得る。
【解決手段】圧電振動素子１は、圧電振動素子１の圧電基板８が、複数の振動腕１５ａ、１５ｂ、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広で錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心に沿って形成された溝部１７ａ〜１８ｂ、を備えている。各錘部２０ａ、２０ｂは、振動中心に沿っての両側に対称に配置され且つ大きな質量を備えた質量部２１を備えており、圧電振動素子１に励振される屈曲−捩じり結合振動のうちの屈曲振動を主振動とし、その周波数温度特性が温度に関し三次特性となるように、圧電基板８の厚さ及び切断角度と、各質量部２１及び溝部１７ａ〜１８ｂの形状と、を夫々適切に設定する。 （もっと読む）

【課題】角型ウエハにマスク材膜を成膜する際の膜厚のムラを抑制できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片の製造装置、圧電振動片、この圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器、および電波時計を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜８５ａ（マスク材膜）をスピンコート法により成膜するフォトレジスト膜成膜工程を有し、フォトレジスト膜成膜工程は、ウエハ保持部７２の中心軸を回転中心Ｋとして角型ウエハ６５を回転させて行い、スピンチャック７０は支柱部７６を備え、整流板８８は支柱部７６が挿通される挿通孔８９ａを有し、整流板８８の上面８８ａには、角型ウエハ６５の第２面６５ｂに向かって気体を吹き出す吹き出し孔９６が、角型ウエハ６５の外縁６６よりウエハ保持部７２の径方向の内側であって挿通孔８９ａの内周面よりも径方向の外側に複数形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）