【課題】 圧電振動素子を導電性接着剤上に搭載するまでの経過時間を管理する必要がなく、生産性を向上させることができる圧電デバイスの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の圧電デバイスの製造方法は、圧電振動素子が素子搭載部材の主面に配置される圧電振動素子配置工程と、素子搭載部材の凹部空間の開口側に位置する前記圧電振動素子の主面に形成された引き出し電極と圧電振動素子搭載パッドとにかけて導電性接着剤を塗布する導電性接着剤塗布工程と、硬化炉の内部空間に素子搭載部材を収容し、導電性接着剤を加熱硬化させ、圧電振動素子搭載パッドと圧電振動素子とを導通固着する圧電振動素子固着工程と、蓋部材と素子搭載部材とを接合するための蓋部材接合工程とを含むことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】耐圧性を高めて気密を維持した表面実装振動子を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、底壁１ａ及び枠壁１ｂからなるとともに断面視凹状として平面視矩形状とした容器本体１内に少なくとも水晶片２を収容して、前記枠壁１ｂ上面となる容器本体１の開口端面に金属カバー３の周回する外周部を接合し、前記水晶片２を密閉封入してなる水晶デバイスにおいて、前記金属カバー３は前記外周部を平坦として前記開口端面に接合し、前記金属カバー３の中央領域は前記容器本体１の開口端面から外側に向かって突出する錘体状とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の変動を防ぐ圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の圧電デバイスの製造方法は、２個一対の圧電振動素子搭載パッドが一方の主面に設けられているシリコンからなる素子搭載部材の一方の主面の外周を囲繞するように設けられている封止部材と、２個一対の圧電振動素子搭載パッドの長辺を跨って設けられている支点用バンプとを感光性ポリマー材により形成する封止部材及び支点用バンプ形成工程と、導電性接着剤によって前記２個一対の圧電振動素子搭載パッドに圧電振動素子を搭載する圧電振動素子搭載工程と、硬化炉の内部空間に素子搭載部材を収容し、導電性接着剤を加熱硬化させ、圧電振動素子搭載パッドと圧電振動素子とを導通固着する圧電振動素子固着工程と、蓋部材と素子搭載部材の封止部材とを接合する蓋部材接合工程とを含むことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】少ないエネルギーで素子を加熱することができ、かつ、パッケージ外への熱伝導が抑制された、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる圧電デバイス１００は、パッケージ１０と、パッケージ１０内に収納された圧電素子２０と、パッケージ１０内に収納されたヒーター素子３０と、を有し、圧電素子２０は、基部２２および基部２２から延出した梁部２４を有し、基部２２によって片持梁状または両持梁状に固定され、ヒーター素子３０は、支持部３２および支持部３２によってパッケージ１０から離間して支持される発熱部３４を有し、発熱部３４は、支持部３２によって片持梁状または両持梁状に固定され、発熱部３４および梁部２４は、互いに離間している。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、落下に対する破損を防止できる特性が優れる圧電フレーム及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電フレーム（１００）は、基部の一端側から所定方向に伸びる一対の振動腕を有する圧電振動片（２０）と、圧電振動片を囲む圧電外枠（３０）と、振動腕の両外側において基部から所定方向に伸びる一対の支持腕（２４）と、支持腕と圧電外枠とを接続する接続腕（４０）とを同じ平面内に備え、接続腕が平面内で曲がり易い構造を有している。 （もっと読む）

【課題】振動腕を加工することなく周波数調整を行うことができる音叉型圧電振動片を備える圧電フレームを提供する。
【解決手段】圧電フレーム２１は、基部の一端側から第１方向に伸びる少なくとも一対の振動腕を有し、この一対の振動腕に励振電極を有する音叉型圧電振動片と、振動腕の両外側において第１方向に伸びる一対の支持腕と、音叉型圧電振動片を囲む外枠部２２と、一対の支持腕と外枠部とを接続する所定幅を有する接続部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 透明ベースの外部端子側から切断可能である電気回路素子の接続電極の配線の一部を形成した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス（１００）は、励振電極が形成された圧電振動片（２１）と圧電振動片を囲む外枠部（２２）とを有する水晶フレーム（２０）と、圧電振動片を発振させる電気回路素子（ＩＣ）と、一方の面に形成され電気回路素子と接続される接続電極と、一方の面とは反対面に形成された外部端子とを有し外枠部の一方の面に接合する透明ベース（３０）と、外枠部の他方の面に接合するリッド（１０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】通信信号を安定して出力することができる通信モジュールを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の通信モジュールは、圧電発振器搭載パッドと第１の集積回路素子搭載パッドが設けられているモジュール搭載部材と、第１の集積回路素子搭載パッドに搭載されている第１の集積回路素子と、圧電発振器搭載パッドに搭載される圧電発振器であって、素子搭載部材と素子搭載部材の一方の主面に搭載されている圧電振動素子と前記素子搭載部材の他方の主面に搭載されている第２の集積回路素子と圧電振動素子を気密封止するための蓋部材と、を備えている圧電発振器と、圧電発振器と第１の集積回路素子とを被覆するように設けられている樹脂層と、モジュール搭載部材の他方の主面に前記圧電発振器の発振周波数を調整するための周波数調整用書込端子と、を備えていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の変動を防ぐ圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】四角形の圧電素板に励振用電極を被着形成し、その励振用電極から前記四角形の圧電素板に対して対角に位置するように引き出し電極が形成されている圧電振動素子と、圧電振動素子の引き出し電極に対向する位置に２個一対の搭載部が設けられ、前記２個一対の搭載部にそれぞれ２個一対の圧電振動素子搭載パッドが設けられている素子搭載部材と、圧電振動素子を気密封止する蓋部材と、を備え、圧電振動素子搭載パッドは、第１の金属層と第２の金属層とを積層して一体で設けられ、前記第１の金属層の厚みが３０μｍ〜１００μｍであることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 小型化に対応し圧電振動素子の振動漏れや剥がれを防ぎ、圧電振動素子の素子搭載部材への搭載が容易とする。
【解決手段】 圧電振動素子と、この圧電振動素子を搭載する圧電振動素子搭載パッドと外部端子とを有する素子搭載部材と、それぞれの圧電振動素子搭載パッドに設けられる接合用パッドと、圧電振動素子の周囲を気密の環境に維持するための蓋部材とを備え、接合用パッドが、ポリイミド又はシリコンからなる樹脂シートと、この樹脂シートの両主面に設けられる接着膜と、樹脂シートと接着膜とを貫通する導体部とを備え、接合用パッドが導体部と圧電振動素子との間に介在することで圧電振動素子搭載パッドと圧電振動素子とを電気的に接続することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型化に対応し圧電振動素子の振動漏れや剥がれを防ぎ、圧電振動素子の素子搭載部材への搭載が容易とする。
【解決手段】 圧電振動素子と、この圧電振動素子を搭載する圧電振動素子搭載パッドと外部端子とを有する素子搭載部材と、それぞれの圧電振動素子搭載パッドに設けられる接合用パッドと、圧電振動素子の周囲を気密の環境に維持するための蓋部材とを備え、接合用パッドが、ポリイミド又はシリコンからなる樹脂層と、この樹脂層の両主面に設けられる接着膜と、樹脂層と接着膜とを貫通する導体部とを備え、接合用パッドが導体部と圧電振動素子との間に介在することで圧電振動素子搭載パッドと圧電振動素子とを電気的に接続することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期的に高い信頼性を有した圧電振動子、圧電発振器、電子機器、及び圧電振動子の製造方法の提供。
【解決手段】圧電振動子２００は、キャビティ１を有するパッケージ１１０と、キャビティ１内に形成された複数の電極パッド２０と、シリコーン系導電性接着剤を含み、複数の電極パッド２０上に各々形成された第１接着部３１及び第２接着部３２により、一端を支持された圧電振動素子１００と、を備え、圧電振動素子１００が、互いに対向する第１面４１と第２面４２とを有する圧電基板４０と、第１面４１に形成されて第１接着部３１と電気的接続の第１電極膜５０ａと、第２面４２に形成されて第２接着部３２と電気的接続の第２電極膜５０ｂと、を有し、圧電振動素子１００の第１接着部３１及び第２接着部３２による支持領域と、第１接着部３１及び第２接着部３２にて支持されていない可動領域４２とで、可動領域４２にフッ素樹脂膜６０が形成される。 （もっと読む）

【課題】等価回路定数の容量比γを小さくして、温度補償型の発振器に組み込んだ場合でも周波数可変感度を大きくとれる水晶振動子を実現すること。
【解決手段】略矩形状の水晶基板と、前記水晶基板の両主面に形成される励振電極３１、３３と、励振電極３１、３３から水晶基板の一方の短辺側に延出される引出し電極３２、３４と、を備えた水晶振動子において、励振電極３１、３３は略矩形状をなすとともに、引出し電極３２、３４は励振電極３１、３３の一方短辺から延出されており、励振電極３１、３３の角部のうち、励振電極３１、３３の一方短辺と引出し電極３２、３４との接続部に形成される角部以外の全ての角部を、円弧状に切り欠く。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の固着部に加わる歪に起因する振動阻害が抑制され、安定した周波数特性が得られる圧電振動子の提供。
【解決手段】両主面１５，１７に励振電極１６，１８が形成された振動部１２と、振動部１２に連接し励振電極１６，１８から引き出された引き出し電極１６ａ，１８ａが両主面１５ａ，１７ａにそれぞれ形成された基部１３とを有する水晶振動片１０と、水晶振動片１０が固着されるベース２１とを備え、水晶振動片１０の引き出し電極１６ａ，１８ａが、平面視において水晶振動片１０の外周に沿って形成され、基部１３における、Ｘ軸方向と交差するＺ軸方向に沿った外周辺部１９の略中心で、一方の引き出し電極１８ａが、固着部材３０を介してベース２１に固着され、他方の引き出し電極１６ａが、ワイヤー４０を介してベース２１に固着されている。 （もっと読む）

【課題】 振動漏れが少なくまた外的要因の影響が少ない安定した圧電フレームを提供する。
【解決手段】 圧電フレーム（２０）は、基部（２３）の一端側からＹ方向に伸びる少なくとも一対の振動腕（２４）を有し、この一対の振動腕（２４）に励振電極（４３，４４）を有する音叉型圧電振動片（２１）と、振動腕の両外側においてＹ方向に伸びる一対の支持腕（２５）と、音叉型圧電振動子を囲む外枠部（２２）と、基部（２３）の他端側（２３ｂ）から音叉型圧電振動片（２１）の全長の半分以上離れた位置で一対の支持腕（２５）と外枠部（２２）とを所定方向と交差する方向に接続する接続部（２６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 断線のおそれもなく安定した周波数をもつ圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイスを提供することである。
【解決手段】 圧電振動片の製造方法は圧電体ウエハから圧電振動片（２０）を形成する。その製造方法は、圧電振動片（３０）の形状を形成する形成工程（Ｓ１１０）と、圧電振動片の表面にＣｒの第１の金属膜を成膜する第１金属膜成膜工程（Ｓ１１４）と、第１の金属膜を酸化させる酸化工程（Ｓ１１６）と、酸化された第１の金属膜に、さらにＣｒの下地膜を成膜する下地膜成膜工程（Ｓ１１８）と、下地膜上にＡｕの第２の金属膜を成膜する第２金属膜成膜工程（Ｓ１２０）と、第１及び第２の金属膜に電極パタ−ンを形成する電極パタ−ン形成工程（Ｓ１２４）と、圧電振動片の所定箇所において電極パタ−ンの第２の金属膜を除去する除去工程（Ｓ１３０）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】コストを低減した圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電デバイス１００は、第１面に窪み部２２を有し窪み部２２とは反対側の第２面に貫通する貫通孔ＴＨを有するベース２０と、圧電振動片３０が載置される台座電極２４と、貫通孔を封止する封止電極２８と、第２面に形成される外部電極２６と、ベースに接合されたリッド１０と、を備え、台座電極２４、封止電極２８及び外部電極２６が一体に形成される。 （もっと読む）

【課題】 薄型化に限界があり、発振回路の発熱などの影響によって圧電振動片の周波数がシフトし、所望の周波数からずれることがある。
【解決手段】圧電発振器（１０）圧電振動片（１１４）を収容し、底面に一対の第一電極部（１１１）が設けられた圧電振動子（１１）と、圧電振動子（１１）と同一の平面に並んで配置され、回路素子が実装された回路モジュール（１３）と、圧電振動子（１１）と回路モジュール（１３）とを電気接続するとともに、一対の第二電極部（１２２）が設けられたリードフレーム（１２）とを備える。 （もっと読む）

【課題】 従来よりもスプリアスが少なく、寄生容量を抑えたバルク音響波共振子を提供する。
【解決手段】 第１主面と第２主面とを有する圧電体層と、前記圧電体層の前記第１主面に配置された第１電極と、前記圧電体層の前記第２主面に、前記圧電体層を挟み前記第１電極と対向するように配置された第２電極と、前記第２電極の前記圧電体層に接する面と反対側の面に配置される第３電極であって、平面視で、前記第２電極と接する第１領域と、前記第１領域から延び前記第２電極の配置された領域から突出する第２領域とを有する第３電極と、を備えるバルク音響波共振子である。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子をパッケージに載置する際に、圧電振動子側面がパッケージに接触して特性の劣化を生じるおそれがあるので、それを防止する。
【解決手段】パッケージ１の一方の主面に凹部を持ち、凹部内に段部３，４が対向する辺に沿って形成され、該段部３，４に圧電振動子２を載置し固着材で固着される圧電振動子２の支持構造において、一方の段部３と該凹部の内壁との間に切り欠き部５が形成され、他方の段部４には前記切り欠き部５の該パッケージ１の対角線方向に切り欠き部６が設けられた圧電振動子２の支持構造である。 （もっと読む）