【課題】下部電極間でクロストークが発生することを抑制できるとともに、製造コストの低減が図れる共振装置を提供することにある。
【解決手段】共振装置は、ベース基板１と、ベース基板１の主表面側に形成された下部電極３０、下部電極３０におけるベース基板１側とは反対側に形成された圧電体薄膜４０、および圧電体薄膜４０における下部電極３０側とは反対側に形成された上部電極５０とで構成された複数の共振子２とを備え、隣り合う２つの共振子２の上部電極５０が共通に接続されてなり、ベース基板１は、低音響インピーダンス層１３と、高音響インピーダンス層１４とを、支持基板１１の主表面側を覆う形で、最上層が低音響インピーダンス層１３となるように交互に積層することにより形成された音響多層膜１２を有し、隣り合う２つの共振子２の一方と厚み方向で重なる部位に、ベース基板１を貫通する空洞部１ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】平面サイズが大きくなることなく、低周波で発振する輪郭振動片、輪郭振動デバイスおよび輪郭振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】輪郭振動片１０は振動部１２を有しており、この振動部１２の主面に貫通孔１６または非貫通孔を少なくとも１つ設けている。貫通孔１６または非貫通孔は、振動部１２が輪郭振動したときのバランスが崩れるのを防止するために、振動部１２に均等に配設してある。すなわち貫通孔１６または非貫通孔は、対称になるように振動部１２に配置してある。そして振動部１２に設ける励振電極は、振動部１２の主面に配設してある。 （もっと読む）

【課題】下部電極と圧電体薄膜との積層膜のベース基板からの剥離を防止することが可能な共振装置の製造方法、共振装置およびＵＷＢ用フィルタを提供する。
【解決手段】共振装置の製造にあたっては、ベース基板１の一表面側に下部電極３１の基礎膜となる第１の多孔質金属層３１ａを形成する多孔質金属層形成工程を行ってから、ＰＺＴの成分元素を含む金属アルコキシドを溶媒に溶かした溶液を第１の多孔質金属層３１ａ上に塗布する塗布工程を行い、その後で上記溶媒を除去することによりＰＺＴ薄膜３２ｂの前駆体膜３２ａを形成する仮焼成工程を行い、続いて、前駆体膜３２ａを焼結することによりＰＺＴ薄膜３２ｂを形成する焼結工程を行い、その後、ＰＺＴ薄膜３２ｂの一部からなる圧電体薄膜３２上に上部電極３３を形成する上部電極形成工程を行う。 （もっと読む）

【課題】目的の通過帯域のみを通過させ、目的外の周波数の減衰率を大きくとることができ、しかも小型化が可能な帯域通過フィルタを提供する。
【解決手段】ＢＡＷフィルタ１は、圧電体層１０を上部電極１２および下部電極１１の間に挟み込んだ構造を有し目的の通過帯域に設計されている。平面パターンフィルタ２は、ＢＡＷフィルタ１と共通の基板３に形成され誘電体層２０を介して地導体層２１および帯状の信号導体層２２を積層した伝送線路２３と、信号導体層２２の一部に連続する導体層により形成されたスタブ回路２４とを有しＢＡＷフィルタ１の阻止帯域を減衰させる。ＢＡＷフィルタ１と平面パターンフィルタ２とは信号導体層２２を介して接続される。スタブ回路２４は、信号導体層２２から離間したローディング部２４ａと、一端が伝送線路２３に連続し他端がローディング部２４ａに連続するタップ部２４ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】極めて小型で、例えば数十ｋＨｚ帯の共振周波数を得ることができる圧電振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電振動子１００は，基板２、基板の上方に形成された絶縁層３、および絶縁層の上方に形成された半導体層４を有する基体１と、半導体層の一部からなる支持部４０と、半導体層の一部からなり、一端を支持部に固定し他端を自由にした１本の振動部１０と、振動部の上方に形成され、振動部の屈曲振動を生成する駆動部２０と、を含み、駆動部は、第１電極２２と、第１電極の上方に形成された圧電体層２４と、圧電体層の上方に形成された第２電極２６と，を有する。 （もっと読む）

【課題】音響ミラーを介した共振子間のクロストークの発生を抑制でき且つ製造が容易な高性能の共振装置の製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板１の一表面側に絶縁性薄膜からなる低音響インピーダンス層２１を形成する工程と絶縁性炭素薄膜からなる高音響インピーダンス層２２を形成する工程とを交互に繰り返すことにより音響ミラー２を形成し、音響ミラー２の表面側の全面に各共振子３の下部電極３１の基礎となる導電性層３１ａを形成し、ゾルゲル法により導電性層３１ａの表面側の全面にＰＺＴ薄膜３２ａを形成し、ＰＺＴ薄膜３２ａをパターニングすることでそれぞれＰＺＴ薄膜３２ａの一部からなる複数の圧電体薄膜３２を形成し、導電性層３１ａをパターニングすることでそれぞれ導電性層３１ａの一部からなる複数の下部電極３１を形成し、各ＰＺＴ薄膜３２それぞれの表面側に上部電極３３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 振動腕部等からなる振動本体部に影響を及ぼすことのない部位に切断痕が残る構造の水晶振動体及びこの水晶振動体を組み込み形成してなる水晶振動子を提供することである。
【解決手段】 基部２５及びこの基部２５から延びる振動腕部２６からなる振動本体部と、該振動本体部を支える一以上の支持腕部２７とを備え、該支持腕部２７の前記振動本体部から離れた支持部位（端子電極部）３０に切断痕２８を残してなる水晶振動体２２が、前記端子電極部３０の切断痕２８を避けた部分を介して保持器３１内に固定される。 （もっと読む）

【課題】基板と圧電薄膜との間に絶縁部を必須の構成として設けずに圧電薄膜デバイスの低背化を図る。
【解決手段】圧電振動共振子１には、絶縁性材料からなる基板２と、基板２上に形成された圧電薄膜３と、基板２上に形成されるとともに圧電薄膜３の表裏面３１，３２に対向して形成された上下電極４１，４２とが設けられ、下電極４２が基板２と圧電薄膜３との間に介在される。下電極４２は、上電極４１と圧電薄膜３を挟んで対向する励振電極部４２１と、外部と電気的接続を行う接続電極部４２２とから構成されている。基板２にはキャビティ２３が形成され、キャビティ２３内で下電極４２の励振電極部４２１が露出して配される。下電極４２の励振電極部４２１のうち、少なくともキャビティ２３から露出される部位に、発振周波数調整を行う調整部５１が設けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、音叉型圧電振動片２０の折り取りを適正に行い、かつ、折り取り前に音叉型圧電振動片２０の特性測定を行うことができる構造を提供することにある。
【解決手段】枠体１６に基部２２が連結され、基部２２から一対の振動腕２４が延びる。音叉型圧電振動片２０上には電極４０が形成され、電極４０に電気的に接続するように配線５４が形成されている。枠体１６と基部２２との連結部２８には、第１及び第２の面１２，１４に括れた形状が表れるように対向方向に一対の切り込み３４が形成されている。連結部２８は、第１の面１２において平坦である。第２の面１４には、一対の切り込み間３４で一対の切り込み３４に連続する溝３６が形成されている。配線５４は、第１の面１２で、連結部２８上に形成された部分と、枠体１６上に形成された部分と、が連続するように形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】共振器を構成する各層に対して、不純物の内部混入を抑圧できる素子構造と製造方法を提供する。これにより、膜質向上による高Ｑ化が実現可能な圧電薄膜バルク波共振器および圧電薄膜バルク波共振器フィルタ、薄膜音叉型屈曲振動子を得ることを目的とする。
【解決手段】圧電薄膜と、該圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第１の金属電極膜及び第２の金属電極膜を含み基板上に形成された積層構造と、該積層構造に対応する位置の前記基板に形成された音響絶縁層とを備えて成り、前記基板上に前記第１の金属電極膜が形成され、該第１の金属電極膜上に前記第２の金属電極膜が、前記圧電薄膜を挟んで形成されて成り、前記第２の金属電極膜の上面を覆うように該第２の金属電極膜上に積層された保護膜を有して成ることを特徴とする圧電薄膜共振器。 （もっと読む）

【課題】 小型化に適し、金属バンプと圧電振動片の接合強度ばらつきが生じにくい圧電振動デバイスの製造方法及び圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 ベース３と蓋４とが接合されてパッケージが構成され、前記パッケージの内部の前記ベース上に圧電振動片２が保持されるとともに、前記パッケージの内部が気密封止された圧電振動デバイスの製造方法において、圧電振動片の両主面に励振電極と引き出し電極とが形成され、かつ引き出し電極と圧電振動片の両主面を貫通する貫通孔が形成された圧電振動片を用い、ベース上部に形成され、幅広の底部と幅狭の胴部を具備した一体型の金属バンプに対して前記圧電振動片の貫通孔を挿入し、圧電振動片の貫通孔から突出した前記金属バンプの胴部をボンディングツールにより超音波印加しながら電気的機械的に接合する。 （もっと読む）

【課題】周波数調整層の形成に関する製造工程の簡略化を図ると共に、上部電極の酸化を防止することができる圧電薄膜共振器の製造方法を提供する。
【解決手段】成膜用基板１１１と基板１０５とを貼り合わせた（図３Ｂ、工程ｈ）後、成膜用基板１１１上の振動部１０４に対応する部分に所定のレジストを形成し、Ｄｅｅｐ−ＲＩＥプロセスによってエッチングして成膜用基板１１１の一部を除去する（図３Ｂ、工程ｉ）。これにより、成膜用基板１１１の残った部分（シリコン層）を周波数調整層１０８として機能させる。次に、成膜用基板１１１が除去された電極膜１１３上に所定のレジストを形成し、この電極膜１１３をパターニングして、上部電極１０３を形成する（図３Ｂ、工程ｊ）。 （もっと読む）

【課題】単結晶薄膜等の面内圧電異方性を有する薄膜を圧電体薄膜に採用した場合でも、所望の特性を有する圧電薄膜デバイスを作製することができるようにする。
【解決手段】圧電薄膜フィルタ１は、圧電薄膜共振子１００１，１００２で、対向領域１９６，１９７からの下面電極１４１，１４２の引き出し方向を＋Ｙ方向に揃え、対向領域１９６，１９７からの上面電極１６１，１６２の引き出し方向を−Ｙ方向へ揃えた電極パターンを有している。このような電極パターンを採用すれば、単結晶薄膜等の面内圧電異方性を有する圧電体薄膜１５を採用した場合でも、圧電薄膜共振子１００１，１００２の特性を揃えることができるので、所望の特性を有する圧電薄膜フィルタを作製することが容易になる。 （もっと読む）

【課題】スプリアスを抑制することが可能な圧電薄膜共振器およびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板（４１）の空隙（４６）上または基板との間に空隙が形成されるように設けられた下部電極（４３）と、下部電極上に設けられた圧電膜（４４）と、圧電膜を挟み下部電極と対向する共振領域（５０）を有するように圧電膜上に設けられた上部電極（４５）と、共振領域の周辺に設けられ、横方向に伝搬する波動の波長の０．３５倍から０．６５倍の幅を有し波動の通過する支持領域（５２）と、支持領域の周辺に設けられ、横方向に伝搬する波動を遮断する周辺領域（５４）と、を具備する圧電薄膜共振器およびフィルタである。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の副共振を抑制する。
【解決手段】圧電薄膜共振子１では、下面電極１４、圧電体薄膜１５及び上面電極１６を積層した振動積層体１８の固定領域９１２の下面にキャビティ形成膜１３が形成され、支持基板１１、接着層１２及びキャビティ形成膜１３を積層した支持体１７が自由振動領域９１１の外縁において振動積層体１８を支持している。圧電体薄膜１５の下面には、圧電体薄膜１５を薄肉化する掘り込み１５６が形成されている。掘り込み１５６は、自由振動領域９１１の外縁に自由振動領域９１１の外郭に沿って形成されている。掘り込み１５６は、圧電体薄膜１５を薄肉化することにより、支持体１７に支持されている固定領域９１２の共振周波数の極端な低下を緩和し、圧電薄膜共振子１の副共振を抑制する役割を果たしている。 （もっと読む）

【課題】良好な振動特性を維持しながら信頼性が高い接合を可能とし、安価な水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶振動子１は、振動腕１２と振動腕１２の平面方向周囲を取り囲む枠部１３とを有し、振動腕１２の表裏両面に形成されるＡｕからなる励振電極１５ａ，１５ｂと、励振電極１５ａ，１５ｂから枠部１３の表裏両面に延在される接合電極１６ａ，１６ｂとが設けられる水晶振動片１１と、接合電極１６ａに対向する面に接合金属膜２５が形成される第１蓋体２１と、接合電極１６ｂに対向する面に接合金属膜３５が形成される第２蓋体３１と、が備えられ、第１蓋体２１と第２蓋体３１それぞれの接合金属膜２５，３５の表面が塩素化処理されており、第１蓋体２１と水晶振動片１１と第２蓋体３１とが固体接合されている。 （もっと読む）

【課題】凹部空間内での圧電振動板における導電性接着剤で固定化されていない短辺端部の位置を、凹部空間内表面に接触しないように定常的に保持することが難しく、圧電振動板の一部が凹部空間内表面に接触した場合、それにより圧電振動板の振動運動が阻害してしまい、圧電振動板の振動特性に悪影響を与える虞がある。
【解決手段】素子接続用電極パッド上それぞれに、第１の導電性接着剤と、この第１の導電性接着剤に比べ固化時収縮率が大きい第２の導電性接着剤とを、第１の導電性接着剤を凹部空間底面の他方の短辺寄りに、第２の導電性接着剤を凹部空間底面の一方の短辺寄りに、圧電振動板の長辺と平行の直列形態で同時に塗布する工程と、この上に圧電振動板を配置する工程と、これら導電性接着剤を固化し、圧電振動板と素子接続用電極パッドとを第１の導電性接着剤と第２の導電性接着剤を介して固着導通する工程とを具備する圧電振動板の固着方法。 （もっと読む）

【課題】製造歩留まりの向上を図ることができる圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電振動子１００の製造方法は，基板２、基板の上方に形成された第１層３、および第１層の上方に形成された第２層４を有する基体１を用意する工程と、基体の上方に駆動部２０を形成する工程と、第２層をパターニングして、支持部４０、支持部の内側を基端とし他端を支持部に接しないように設けられた振動部１０、支持部と振動部を連続させる接続部３０、および第１層を露出させる開口部を形成する工程と、開口部により露出した部分から第１層の一部をウェットエッチングにより除去して、少なくとも振動部の下方に空隙部８０を形成する工程と、空隙部を形成した後に、接続部をドライエッチングにより除去する工程と、を含み、駆動部を形成する工程は、基体の上方に第１電極２２を形成する工程と、第１電極の上方に圧電体層２４を形成する工程と、圧電体層の上方に第２電極２６を形成する工程と，を有する。 （もっと読む）

【課題】 小型化を図るとともに、外部端子から圧電振動片の励振電極に確実に導通を図ることが可能な圧電振動子及びその製造方法、並びに、圧電振動子を備えた発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】 圧電振動子１は、略板状で励振電極を有する圧電振動片と、略筒状で、内部に圧電振動片を配設して気密に封止するケース１２と、ケース１２の両端部から外部に突出し、それぞれ圧電振動片の励振電極と接続された一対のアウターリード部２５と、ケース１２及びアウターリード部２５を覆う樹脂体２と、弾性的に拡幅して対応するアウターリード部２５が嵌合された嵌合溝７を有するとともに、外部から導通可能に少なくとも一部が樹脂体２から露出した一対の外部端子３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 耐衝撃性や周波数経年変化等の耐環境性能を向上させ、且つ動作信頼性の高い水晶振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 平面視矩形形状の水晶振動素子２の表裏面に形成された第１のパッド電極と第２のパッド電極は、水晶振動素子２の長辺方向に延びる直線上に平面視で並列して配置され、第１と第２の導電性樹脂接合材Ｓ１，Ｓ２を介してセラミックパッケージ１の内底部上に形成された第１の導通パッド１３と第２の導通パッド１４と一対一で導通接合される。 （もっと読む）