【課題】異常放電の発生を抑えつつ、ガス処理能力の低下を補いながらガス処理を継続し、未処理のガスが残らないようにする。
【解決手段】異常放電検知部１６Ａおよび１６Ｂを設ける。制御部１７は、異常放電検知部１６Ａからガス処理ユニットＧＵ１での異常放電を知らせる検知信号Ｓ１Ａを受けて、ガス処理ユニットＧＵ２での異常放電が発生していないことを確認のうえ、ガス処理ユニットＧＵ１への高電圧Ｖ１の電圧値を下げ、ガス処理ユニットＧＵ２への高電圧Ｖ２の電圧値を上げる。異常放電検知部１６Ｂからガス処理ユニットＧＵ２での異常放電を知らせる検知信号Ｓ１Ｂを受けて、ガス処理ユニットＧＵ１での異常放電が発生していないことを確認のうえ、ガス処理ユニットＧＵ１への高電圧Ｖ１の電圧値を上げ、ガス処理ユニットＧＵ２への高電圧Ｖ２の電圧値を下げる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、上流側と下流側のプラズマの発生状態をバランスさせる。
【解決手段】電極９（９−１，９−２）をハニカム構造体４−２および４−３の外側において、このハニカム構造体４−２および４−３の処理対象ガスＧＳの通過方向の上流側の端部から下流方向へ（２／３）・Ｌ程度の範囲を避けた領域に配置する。これにより、空間１０の上流側部分でのプラズマの発生状態が緩和（低下）され、上流側で発生するプラズマにより失われる水分が抑えられ、その分、下流側でのプラズマの発生状態が強くなり、上流側と下流側のプラズマの発生状態がバランスする。 （もっと読む）

【課題】隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマを発生させ、全体のガス処理能力を更に高める。部品点数を削減して製造・組立のコスト・時間を削減する
【解決手段】ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２のグランド電極９−１，９−２を一体化し共通電極９とする。ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２の高圧電極８−１の印加極性を正、高圧電極８−２の印加極性を負、高圧電極１０−１の印加極性を正、高圧電極１０−２の印加極性を負とする。これにより、対向する高圧電極間に大きな電位差が生じ、隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマが発生し、ガス処理が行われるようになる。また、ガス処理ユニット間で、グランド電極が一体化（共通化）され、部品点数が削減される。 （もっと読む）

【課題】隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマを発生させ、全体のガス処理能力を更に高める。
【解決手段】ガス処理ユニットＧＵ１の第１の電極８−１と第２の電極９−１との間に、電極８−１をグランド電極、電極９−１を高圧電極として、高電圧電源５からの高電圧を印加する。また、ガス処理ユニットＧＵ２の第１の電極８−２と第２の電極９−２との間に、電極８−２を高圧電極、電極９−２をグランド電極として、高電圧電源５からの高電圧を印加する。これにより、対向する電極間に電位差が生じ、隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマが発生して（エリアＡＲ１，ＡＲ２でもプラズマが発生する）、ガス処理が行われるようになる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、上流側と下流側のプラズマの発生状態をバランスさせる。
【解決手段】ハニカム構造体４間の空間１０（１０−１，１０−２）を形成する各ハニカム構造体４間の間隔Ｇ（Ｇ１，Ｇ２）を処理対象ガスＧＳの通過方向の上流側から下流側に向かって狭める。例えば、ハニカム構造体４−２，４−３を傾斜させて配置することにより、間隔Ｇ（Ｇ１，Ｇ２）を処理対象ガスＧＳの通過方向の上流側から下流側に向かって狭める。これにより、間隔Ｇ（Ｇ１，Ｇ２）がプラズマの発生条件のよい上流側では広くなり、プラズマの発生条件の悪い下流側では狭くなり、上流側と下流側のプラズマの発生状態がバランスする。 （もっと読む）

【課題】隣接するガス処理ユニットのうち、下流側のガス処理ユニットでのガス処理能力を高め、全体のガス処理能力を更に高める。
【解決手段】上流側のガス処理ユニットＧＵ１のハニカム構造体４間の間隔（間隙）Ｇに対して下流側のガス処理ユニットＧＵ２のハニカム構造体４を対向させる。これにより、間隙Ｇを通ってきた処理対象ガスＧＳに含まれる水分が下流側のガス処理ユニットＧＵ１のハニカム構造体４に吸着され易くなる。また、間隙Ｇを通過した処理対象ガスＧＳは、下流側のガス処理ユニットＧＵ２のハニカム構造体４の上流側の面に当たって流速が弱められるとともに、流れ方向も変えられ、下流側のガス処理ユニットＧＵ２内を通過する時間が長くなる。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体に直接水分を補給して、更なるガス処理能力の向上を図る。
【解決手段】ハニカム構造体４−１〜４−４を水分補給のための対象ハニカム構造体とし、ハニカム構造体４−１および４−４のガス流対向面４ｂに細管１４の給水口１４−１および１４−２を接して設け、ハニカム構造体４−２および４−３のガス流対向面４ｂに細管１５の給水口１５−１および１５−２を接して設け、毛細管現象又は送風ファンの負圧現象によりタンク１６，１７内の水分を細管１４，１５を通してハニカム構造体４−１〜４−４に直接補給する。 （もっと読む）

本発明は、ガス状流体の除去方法であって、（ａ）コロナ放電を生成するように配置された第１の電極と、複数の導電性糸で作製されたヘイズ透過性の電気伝導性篩を備える第２の電極との間に、電場を印加するステップと、（ｂ）液体を霧化して、第１の電極と第２の電極との間に液体ヘイズを提供するステップであって、液体がガス状流体の溶媒である、ステップと、（ｃ）第１の電極に対して、第２の電極の背後に基質を配置するステップとを含む方法を提供する。
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【課題】ガスクラスターをイオン化価数ごと選別する荷電粒子選別装置を提供する。
【解決手段】イオン化したガスクラスターを選別するための荷電粒子選別装置において、前記ガスクラスターの進行方向に配列された電界を印加するための３つ以上の電界印加部と、前記ガスクラスターを選別するためのスリットと、を有し、前記電界印加部は２枚の電極から構成されており、前記電極に交流電圧を印加することにより、イオン化したガスクラスターを偏向させるものであって、隣接する前記電界印加部においては、異なる位相の交流電圧が印加されており、前記スリットは、前記ガスクラスターが入射した方向の延長線上に開口部を有するものであることを特徴とする荷電粒子選別装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】イオン化したガスクラスターを適切に偏向することが可能な荷電粒子選別装置を提供する。
【解決手段】イオン化したガスクラスターを選別するための荷電粒子選別装置において、前記ガスクラスターの進行方向に配列された電界を印加するための電界印加部と、前記ガスクラスターを選別するためのスリットと、を有し、前記電界印加部は２枚の電極から構成されており、前記電極に交流電圧を印加することにより、イオン化したガスクラスターを偏向させるものであって、前記電極は、開口部又は間隙を有することを特徴とする荷電粒子選別装置を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）