本発明に係る水素ガス分離装置は，中空室を有する基体と，原料ガスが導入されるガス導入室と水素ガスが導出されるガス導出室とに中空室を仕切るガス透過層とを備えている。ガス透過層は，プロトン伝導性及び電子伝導性を有するプロトン−電子混合伝導性セラミックスを基材として形成されている。
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【課題】均一加熱と効率的な動作が可能な酸素ポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】酸素イオン導電性基板４の両面に電極膜５ａ、５ｂが形成された酸素ポンプ素子６と、耐熱性基板１１ａ、１１ｂ上に抵抗発熱体１２ａ、１２ｂが形成された加熱手段１０ａ、１０ｂと、前記電極膜５ａ、５ｂと電気的に接続された導電手段８と、前記酸素ポンプ素子６と前記加熱手段１０ａ、１０ｂを電気的に絶縁する通気性絶縁材９ａ、９ｂとで構成し、前記酸素ポンプ素子６の電極膜５ａ、５ｂと前記加熱手段１０ａ、１０ｂの抵抗発熱体１２ａ、１２ｂを相対する構成に配置することにより、抵抗発熱体１２ａ、１２ｂが酸素ポンプ素子６を均一加熱することが可能で、効率的な動作が可能となる。 （もっと読む）

新規な反応チャンバは不快なにおいをもつガス、有毒な要素をもつガスを処理するためのものである。チャンバはエネルギーをもつ電子で前記ガスを処理するためのもので、チャンバ容積の中央にある伸長電子ソースを使用し、電子ソースはチャンバ内で電子ソースから放射方向に放出される。ガスは、その流れるガスが一様で効率的に曝されるように電子ソースの領域に流れ込み、その電子ソースの領域から流れ出る。
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【課題】針状電極(pin electrode)と 酸化チタニウムを塗布した板状電極（plate electrode）からなる電極に対し、直流高電圧を印加し、プラズマ放電を発生させ、さらに、電極間に発生する波長が400nm以下の紫外線を利用して、光触媒作用を示す酸化チタニウムを活性化させ、光触媒の示す酸化作用とプラズマ放電の両者により臭気物質をより完全に分解させることで、高効率に臭気物質を分解する。
【解決手段】針状電極に負電位の、光触媒を塗布した板状電極に正電位の直流電圧を印加し、発生する波長400nm以下の紫外線により光触媒を活性化しながら、プラズマ放電とともに臭気物質を分解する方法。 （もっと読む）

【課題】 露光装置において供給するガスに含まれる不純物の除去効率を高め、露光光照射領域及びその近傍への堆積物を防ぐことで、露光装置の結像性能低下を防ぎ、露光装置の長寿命化を達成する。
【解決手段】 露光装置内に供給されるガスに含まれる不純物を紫外線照射により事前に析出させ除去する不純物除去機構を備える気体の浄化方法において、前記不純物除去機構の下流に、水分除去機構または／及び極性ガス除去機構が備えられる構成をとる。 （もっと読む）

【課題】安定供給かつ効率的に消費・生成することができる水と、放電とを利用して、脱臭や殺菌を行うことができる空気浄化装置を提供することを目的とする。
【解決手段】放電電極１と、対向電極２と、前記電極間にパルス高電圧を印加し放電を発生させるパルス高電圧印加装置３と、ペルチェ素子４と、ヒートシンク５とで構成している空気浄化装置で、前記ペルチェ素子４で冷却される前記放電電極１の周辺に、溜水部である窪み６を配設することにより、前記放電電極１に結露した水を窪み６内に溜めることができ、室内環境が変化して低湿度環境になったときに窪みにたまった結露水で安定的に水は供給される。 （もっと読む）

【課題】
ホルムアルデヒド、ＶＯＣなどの汚染分子を効率的に除去することができる気体清浄装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の気体清浄装置は、導電性基体１上に複数の導電性繊維４を設けたフィルターと、導電性基体１に電圧を加えることによって導電性繊維４の周囲に電界を形成する電界形成手段とを備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】性能低下を的確に検出して性能回復を図り、排気気体中の未処理ガス成分が大きく変動しないようにして、不快感を与えないガス脱臭装置を提供することを課題とする。
【解決手段】被処理ガスの処理前のガス濃度を検出する第１ガス濃度検出手段８と、被処理ガスの処理後のガス濃度を検出する第２ガス濃度検出手段９と、第１ガス濃度検出手段と第２ガス濃度検出手段とによって検出された濃度に基づいて、除去率を算出し、初期の状態の除去率と比較して脱臭処理性能が低下した状態に達したか否かを判定する判定手段と、被処理ガスの脱臭処理性能低下を回避し脱臭処理性能を回復する制御を実行する性能回復手段１３とを備える。性能回復手段１３は、判定手段によって脱臭処理性能が低下したと判定した場合、放電電源部１２が放電部５へ印加する電圧を高くしてオゾンや活性分子等の発生量を増加させ性能低下を回避し性能を回復する。 （もっと読む）

本発明は、フッ素を発生し、そして再循環するための装置および方法に関する。本出願人は、フッ素分離器が、単独でまたはプラズマ発生器との組み合わせのいずれかで使用され、フッ素の使用地点で薄膜加工のために十分な量のフッ素を生成し得ることを確認した。上記フッ素分離器は、凝縮器、膜分離デバイス、固体電解質を含むフッ素イオン伝導体、または上記のものの組み合わせの形態を取り得る。いくつかの実施形態においては、フッ素含有反応生成物は、フッ素分離器に通される。他の実施形態においては、分離されたフッ素は、単独でまたはさらなるフッ素含有供給原料と一緒に、プラズマ発生器に通される。上記フッ素分離器は、フッ素が再循環され、廃棄生成物が上記系から除去されることを可能にする。
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【課題】複数の固体電解質を介して両側に区分された空間を十分にガスシールするとともに、酸素ポンプ素子の急激な熱衝撃に対しても連結された金属箔部材同士を安定して結合させることを目的とする。
【解決手段】複数の酸素イオン伝導性の固体電解質７と、酸素イオン伝導性の固体電解質７の両面に形成された正負両極を構成する電極膜８、９と、前記正極側の電極膜外周部あるいは負極側の電極膜外周部と接合された金属箔部材１５とを備え、複数の前記酸素ポンプ素子の電極は直列回路に構成され、複数の金属箔部材１５はガラスセラミック層２４を介して連結されている酸素ポンプ素子とする。これにより、複数個が直列回路に連結された場合にも十分な絶縁を維持するとともに急激な熱衝撃に対してもクラックあるいは剥離を生じることなくガスシールを維持することができる。 （もっと読む）