ガス洗浄装置及びガス洗浄方法が提供される。本発明によるガス洗浄装置は、 反応ガスが流入される反応管と、反応管と連結され、流入された反応ガスをプラズマ化させる反応器と、反応器内のプラズマに水を注入するための水注入部とを備え、別途のヒーターを使用せず、プラズマの熱源を利用して水を蒸気化させるため、非常に経済的なガス洗浄が可能である。さらに、プラズマ化した反応ガスが排出される最適の領域で水を直接蒸気化させて反応ガスを洗浄するため、ガス洗浄の効率も向上する。
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【課題】本発明の目的は、石炭ボイラ排ガス中の二酸化炭素を回収する際に、二酸化炭素を化学吸収する吸収液の劣化を抑制し、火力発電プラントの発電効率の低下を抑制する火力発電プラントにおける石炭ボイラ排ガス中の二酸化炭素回収装置を提供する。
【解決手段】本発明の化石燃料を燃料とする火力発電プラントにおける石炭ボイラ排ガス中の二酸化炭素回収装置は、石炭ボイラから排出した排ガス中の硫黄化合物を除去する脱硫装置を設置し、脱硫装置の下流側に排ガスを吸収液に接触させて排ガス中の二酸化炭素をこの吸収液で吸収させて回収する二酸化炭素吸収塔を直列に設置し、各二酸化炭素吸収塔の吸収液に吸収された二酸化炭素を分離して吸収液を再生し、再生した吸収液を各二酸化炭素吸収塔に循環するように供給する再生塔をそれぞれ設置し、各再生塔で分離された二酸化炭素を圧縮させる酸化炭素圧縮機を再生塔の下流側に設置して構成した。 （もっと読む）

特徴は、ポートを通じるガスの流れを制御するよう動作可能な、流動液体を含むバルブを含む。特定の特徴は、ガスを反応させるよう動作可能なチャンバを含み、一部の特徴において、ガスは、流動液体から成る外皮内に実質的に閉じ込められる。特定の実施態様は、ポートを通じるガス流を制御する流動液体から成るバルブでチャンバ内へのガスの進入を制御する。相当な量の固形反応生成物を生むガスを反応させるよう動作可能な反応チャンバを含むシステムを含む、様々なガスアベートメントシステムが記載される。ガス流を制御するための方法が開示される。システム及び方法は、湿式スクラビングし、反応させ、選択的にガス流を更に湿式スクラビングするという順次的なステップを含む。
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【課題】ガス中のシロキサンを選択吸着・分解処理することにより産業廃棄物を低減することができるシロキサン処理方法およびシロキサン処理装置を提供する。
【解決手段】シロキサン含有ガスをオゾン分解特性の吸着剤に接触させて該吸着剤にシロキサンを吸着させる工程と、前記吸着剤にオゾンを接触させて吸着したシロキサンを分解する工程と、を交互に行なう。 （もっと読む）

【課題】フッ化物ガスの分解処理温度を低下させることができるフッ化物ガスの分解処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】反応容器１０内に、酸化カルシウム、シリコン及びハロゲン化アルカリ金属からなる分解処理剤Ａが装填された反応室１４を設け、フッ化物を含む被処理ガスを前記反応室に供給するとともに、反応容器の周囲に設置された電気炉１７によって反応室を所定温度に加熱することによりフッ化物を分解処理し、処理ガスを排出する。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスを大量に含んだ排ガスを除害処理したときでも逆火のおそれがなく、かつ、従来の入口スクラバに比べて排ガスの洗浄効果を高めることができる排ガス除害装置を提供する。
【解決手段】半導体製造装置から排出される、可燃性ガスを含む排ガスＦを洗浄する洗浄水Ｗを貯留する洗浄水タンク２０と、下流端２２ｂが洗浄水タンク２０に貯留された洗浄水Ｗ中に開口され、排ガスＦを洗浄水タンク２０の導入する排ガス導入ダクト２２とを有する排ガス洗浄器１２、および排ガス洗浄器１２で洗浄された排ガスＦを受け入れ、排ガスＦ中の熱分解性ガスを熱分解する熱分解炉１４で排ガス除害装置１０を構成することにより、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ高回収率で可塑剤を回収することができる可塑剤回収システムおよび可塑剤回収方法を提供する。
【解決手段】第１冷却コイル２７が気化した可塑剤を含む空気と、可塑剤を遠心分離した後の空気とを循環熱媒体を介して熱交換する。第２冷却コイル２９が第１冷却コイル２７を経た空気を、冷凍機により冷却された冷媒を介して冷却する。遠心分離機３１が第２冷却コイル２９でで冷却された空気から、凝縮した可塑剤を遠心分離する。ケーシング１１が第１冷却コイル２７および第２冷却コイル２９で凝縮した可塑剤および遠心分離機３１で分離した可塑剤を受ける。 （もっと読む）

【課題】循環ポンプを用いることなく、排ガスに含まれる加水分解性あるいは水溶性の腐食性ガスや固形成分を吸着する水を噴霧し、腐食液や固形成分によるトラブルを極小化することのできるスクラバを提供する。
【解決手段】スクラバ16は、排ガスFを通流させる内部空間Gを有するケーシング46と、排ガスFに水Wを噴霧する水噴霧手段48と、ケーシング46の下部に配設され、水噴霧手段48で噴霧する水Wを貯留し、水噴霧手段48から噴霧された水Wを回収する水タンク50とを備えており、水噴霧手段48は、一端がケーシング46の内部空間Gにおいて開口され、他部よりも断面積が小さい絞り部64がその一部に形成された水噴霧管60と、一端が絞り部64内あるいは絞り部64の下流端近傍における水噴霧管60内に開口され、他端が水タンク50に接続されており、排ガスFに噴霧する水Wを水噴霧管60に供給する水供給管62とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は半導体製造装置および排気トラップ装置に関し、冷却コイルに生成した未反応ガスの堆積物によって排気ガス通過経路が閉塞することを防止する半導体製造装置および排気トラップ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の排気トラップ装置は、ハウジングと、前記ハウジングの内部に排気ガスを導入する排気ガス導入口と、前記ハウジングの外部に排気ガスを導出する排気ガス導出口と、前記ハウジングの内部に設けられた冷却コイルと、前記冷却コイルに冷媒を供給する冷媒供給手段と、前記冷却コイルを加熱する加熱手段と、を備えることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるフルオロカーボン、ハイドロフルオロカーボン、フッ化硫黄等のフッ素化合物の分解処理において、フッ素化合物を分解処理剤により効率よく分解処理するとともに、フッ素化合物の分解処理剤が破過した際に、これを容易に検知することが可能な分解処理システムを提供する。
【解決手段】 分解処理剤の下流側に酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤、さらに該処理剤の下流側にフッ化水素の検知手段を配置し、該上流側の分解処理剤を破過したフッ素化合物が下流側に流出する場合に、該フッ素化合物が、水蒸気の存在下、該下流側の処理剤に含まれる酸化アルミニウムと接触することにより生成するフッ化水素を、該検知手段により検知して該分解処理剤の破過を検知する分解処理システムとする。 （もっと読む）