【課題】本発明は、反応炉にて成膜を開始した直後から、排気トラップによるリンの捕集効率を高くできる成膜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本願の発明にかかる成膜装置は、リンを含む排気ガスを排出する反応炉と、ハウジングと、該ハウジングの内部に該排気ガスを導入する排気ガス導入口と、該ハウジングの内部から該排気ガスを導出する排気ガス導出口と、該ハウジング内に設けられ該排気ガス中のリンを凝固付着させる金属製の冷却コイルと、を有する排気トラップと、該冷却コイルを冷却する冷却装置と、該ハウジング内部の排気ガスを密閉するように設けられたバルブと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ヒータや透過膜を用いることなく効率よくＶＯＣを再生・回収する。
【解決手段】ＶＯＣ除去液再生・回収装置であって、ＶＯＣ除去液を噴霧するノズルを内部に配した真空容器と、当該真空容器内部を減圧してＶＯＣを真空蒸発させる真空ポンプと、当該真空容器内に蒸発促進気体を導入する気体導入機構と、処理後のＶＯＣ除去液を排出する排液機構と、を含めて構成する。噴霧と真空蒸発の組み合わせにより効率よくＶＯＣを再生・回収することができる。 （もっと読む）

【課題】低コストで処理効率が良い生物学的ガス処理方法及び生物学的ガス処理装置を提供すること。
【解決手段】微生物を担持した導電性微生物担体を有する気液接触部を備えた気液接触塔１内に、酸化分解性被処理成分を含む被処理ガスと循環液とを導入し、前記気液接触部で気液接触させて、前記酸化分解性被処理成分を前記微生物によって酸化分解する生物学的ガス処理方法であって、ラマン分光スペクトルにおける１５８０ｃｍ^−１ピーク強度（Ｐ１）と１３６０ｃｍ^−１ピーク強度（Ｐ２）の比（Ｐ１／Ｐ２）が０．８５以上の高温焼成炭素からなる前記導電性微生物担体に正極とする電圧を印加した状態で、酸化分解性被処理成分の酸化分解を行うことを特徴とする生物学的ガス処理方法、及び、それを行う生物学的ガス処理装置。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理する装置を小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。排ガス処理システムは、水素を選択的に透過させる半透膜を有し、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部４と、膜分離部４によって分離された水素の回収率に関する情報を取得し、水素の回収率を算出する水素回収率取得手段と、水素回収率の変化に応じて膜分離部の透過側圧力を制御する圧力制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】１つ以上の態様において、工業廃液、例えば、半導体及び液晶表示装置の製造プロセスで生成される廃液を処理するのに用いる熱反応器装置を提供する。
【解決手段】コントローラと、コントローラにより制御されるように用いられる反応チャンバ３２と、反応チャンバへの管と、反応チャンバ内の管の第１の端部に配置されたパイロット１６と、反応チャンバ外の管の第２の端部に配置され、コントローラに結合され、コントローラにパイロットが点灯したかどうかの指示を与えるように用いられるセンサと、管の開閉のために操作可能なアクチュエータとを含むシステムを有する。本発明の数多くのその他の態様が開示されている。 （もっと読む）

【課題】水素とトリクロロシランとを反応させてポリシリコンを製造する工程から排出される副生塩化水素含有排ガス中の塩化水素を回収するために使用するパージガスとしての水素ガスを、処理して水素源として利用する方法を提供する。
【解決手段】（１）ポリシリコンの製造工程から排出された排ガスを活性炭層に通すことにより塩化水素を吸着し、（２）塩化水素が吸着保持された活性炭層にパージガスとしての水素ガスを通して吸着された塩化水素を脱着し、（３）脱着された塩化水素及び水素を含むパージ排ガスを、例えばＰｄ／ＳｉＯ_２触媒などの塩素化触媒を充填した塩素化塔に通ぜしめて含有する水素化クロロシランを四塩化ケイ素に転化し、（４）転化された四塩化ケイ素を含むパージ排ガスを水酸化ナトリウム水溶液などの塩化水素吸収液と接触せしめて塩化水素並びに四塩化ケイ素を除去する。この処理方法で得られたパージ排ガスは、ヒュームドシリカ製造などの他の製造工程のための水素源としての利用することが可能である。 （もっと読む）

【課題】太陽電池製造装置から排出されるセレン化水素を熱分解することによって生成される二酸化セレンを確実かつ安全に回収することのできる二酸化セレン回収装置を提供する。
【解決手段】二酸化セレン回収装置１４を、バッファー空間４４の温度を二酸化セレンＧの気化温度以上に維持する温度維持手段４６を備えるバッファー室３４と、二酸化セレンＧを固化温度以下に冷却して処理対象ガスＦから固体状の二酸化セレンＧを分離する二酸化セレン分離室３６と、処理対象ガスＦ中に残留する固体状の二酸化セレンＧを乾式集塵する乾式集塵室３８とで構成し、バッファー室３４と二酸化セレン分離室３６との間、および二酸化セレン分離室３６と乾式集塵室３８との間に通流路５０、６６の断面積を部分的に小さくするバッフル５４、７０を設けることにより上記課題を解決できる。 （もっと読む）

ａ）前記供給物が前記プラズマ中に導入され、酸素ガスの供給が前記少なくとも一種のプラズマ形成ガス、および／または前記プラズマもしくは前記プラズマの近傍にて達成され、それにより原子への分解が誘発されたガスが得られる工程；ｂ）反応囲壁室中において、原子への分解が誘発された前記ガスを熱破壊する第一運転が行われる工程；ｃ）前記第一熱破壊運転を経た前記ガスを空気および／または酸素と混合することにより、前記ガスを熱破壊する第二運転が行われる工程；ｄ）前記混合からの前記ガスの少なくとも一部を冷却することにより、再結合が達成される工程；ｅ）前記ガスが排出される工程。
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【課題】沸点が１２０〜３００℃の範囲内の有機化合物に対し特に優れた吸着性能を有する活性炭素繊維を提供する。
【解決手段】ＢＥＴ比表面積が１５００〜２３００ｍ²／ｇ、全細孔容積が０．７〜１．２ｃｃ／ｇ、細孔直径１ｎｍ以下のマイクロポア細孔容積が全マイクロポア細孔容積の９０〜９２％以上であり、かつ、温度２５℃、相対湿度５２％における水分吸着率が４％以下である活性炭素繊維。このような活性炭素繊維において、好ましくは、カルボキシル基量が０．０４ｍｅｑ／ｇ以下である。 （もっと読む）

【課題】発明は、ディスプレイ又は半導体の製造工程中に低圧工程チャンバで発生する汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】本発明に係る汚染物質除去用プラズマ反応器２１０は、互いに距離をおいて位置する第１接地電極２１及び第２接地電極２２と、第１接地電極２１と第２接地電極２２との間に固定される誘電体３０と、第１接地電極２１及び第２接地電極２２と距離をおいて誘電体３０の外面に位置して交流電源部４０と連結し、これから駆動電圧の印加を受ける少なくとも１つの駆動電極５０とを備える。 （もっと読む）