【課題】現像後のレジストパターンのディフェクトの発生を抑制できるホトレジスト組成物が得られる技術を提供する。また、異物経時特性（保存安定性）に優れるホトレジスト組成物が得られる技術を提供する。そして、さらに好ましくは、処理前後で感度やレジストパターンサイズの変化が起こりにくいホトレジスト組成物が得られる技術を提供する。
【解決手段】樹脂成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）と、有機溶剤（Ｃ）とを含むホトレジスト組成物を、臨界表面張力が７０ｄｙｎｅ／ｃｍ以上の第１の膜を備えた第１のフィルタを通過させる工程を有し、且つ前記第１のフィルタを通過させる工程の前後の一方又は両方に、さらに、該ホトレジスト組成物を、ポリオレフィン樹脂またはフッ素樹脂製の第２の膜を備えた第２のフィルタを通過させる工程を有することを特徴とするホトレジスト組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 有機性廃水を生物処理して得られる生物処理水を活用しつつ、淡水等の浄化水を効率良く得ることができる海水淡水化方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 逆浸透膜装置を用いたろ過処理によって海水を淡水化する海水淡水化方法であって、
有機性廃水を生物処理して得られる生物処理水を希釈水として、塩濃度が１．０〜８．０質量％である海水に混合する混合工程と、該混合工程により得られた混合水を前記逆浸透膜装置に供給してろ過処理する混合水処理工程とを実施して海水を淡水化することを特徴とする海水淡水化方法を提供することにある。 （もっと読む）

スラリー中に所望のより小さい粒子を残留させながらスラリーの粒度分布の高粒度テールを除去するための方法。この方法には、第１および第２の側面を有し、１０００ｎｍ未満の平均数平均繊維径を有するポリマー繊維を含む少なくとも１つの層を有するファブリックの少なくとも１枚のシートで形成されている濾材を提供するステップが関与する。次にファブリックの１つの面に対しスラリー流が供給される。この流れは、前記濾材の第１の側面に対して、０．１ミクロン未満の最大寸法を有する第１の粒子セットと０．４５ミクロン超の最大個別寸法を有するより大きい粒子の第２のセットとを含む多数の粒度を有する。このスラリー流は、前記濾材を通してその第２の側面まで通過させられ、こうしてスラリー中のより大きい粒子の少なくとも一部分が前記濾材の第１の側面上に保持される。第１の粒子セットに対するファブリックの濾過効率は０．０５未満であり、第２の粒子セットに対する濾過効率は０．８超である。
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【課題】 有機性廃水を生物処理して得られる生物処理水を活用しつつ、淡水等の浄化水を効率良く得ることができる海水淡水化方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 逆浸透膜装置を用いたろ過処理によって海水を淡水化する海水淡水化方法であって、
有機性廃水を生物処理して得られる生物処理水を希釈水として海水に混合する混合工程と、該混合工程により得られた混合水を前記逆浸透膜装置に供給してろ過処理する混合水処理工程とを実施して海水を淡水化することを特徴とする海水淡水化方法を提供することにある。 （もっと読む）

【課題】 独立栄養性脱窒菌と反応させて脱窒処理を行うにあたり、槽外への流出防止と槽内濃度の維持管理を容易に行う生物脱窒装置を提供する。
【解決手段】 原水の供給管３を連結した生物脱窒槽１に独立栄養性脱窒菌のグラニュール２を充填し、グラニュール２層の内部に排出管４と連通した排出フィルター５を浸漬すると共に、原水を下向流で供給する。グラニュール２の槽外への流出は極めて少なく、槽内の高濃度化を維持管理できる。活性障害が起こらずに効率的な脱窒処理を行うことができる。 （もっと読む）

サンプル調製またはバイオマス培養または処理等の処理及び随意的にはサンプル精製用の容器が提供される。ある実施例において、リアクターはバイオリアクターであって、発生する固形物を原因とし得る詰まりを低減または排除する正接流れフィルタを模した攪拌セル装置を含む。ある実施例において、前記固形物は関心生体分子に結合するポリマー及び不純物を含む如き、析出物または凝縮物またはビードを含む。方法発明様相に於いて、開示する各実施例は、細胞培養液から得た関心生体分子の精製及び分離ステップを含む。当該方法には、容器内でのサンプル調製または処理の実施、バイオマス培養、培養液からの関心生体分子の析出または凝縮による固形物発生攪拌による当該固形物の沈降防止、関心生体分子の溶出及び濾過による等の精製、を含む。 （もっと読む）

【課題】現像後のレジストパターンのディフェクトの発生を抑制できるホトレジスト組成物が得られる技術を提供する。また、異物経時特性（保存安定性）に優れるホトレジスト組成物が得られる技術を提供する。そして、さらに好ましくは、処理前後で感度やレジストパターンサイズの変化が起こりにくいホトレジスト組成物が得られる技術を提供する。
【解決手段】樹脂成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）と、有機溶剤（Ｃ）とを含むホトレジスト組成物を、孔径が０．０４μｍ以下のナイロン膜からなる第１の膜を備えた第１のフィルタを通過させる工程を有し、且つ前記第１のフィルタを通過させる工程の前後の一方又は両方に、さらに、該ホトレジスト組成物を、ポリオレフィン樹脂またはフッ素樹脂製の第２の膜を備えた第２のフィルタを通過させる工程を有することを特徴とするホトレジスト組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】基材上に配置して乾燥後、比較的低温で焼成しても導電性に優れ、不純物の少ない導電部材を得ることが可能な分散性の高い銅微粒子分散水溶液を提供する。
【解決手段】一次粒子の平均粒径１〜１５０ｎｍの銅微粒子が少なくともその表面の一部が分散剤で覆われて水溶液中に分散されている、銅微粒子分散水溶液の製造方法であって、（ｉ）銅イオンを分散剤の存在下で、ｐＨ調整剤によりｐＨ９．２以上に調整したアンモニア水溶液中でアンモニアとの反応により、水溶性の銅アンミン錯体を得る工程（工程１）、（ｉｉ）前記工程１で得られた銅アンミン錯体を含む還元反応水溶液中において、電解還元反応により、少なくとも表面の一部が分散剤で覆われた銅微粒子を形成する工程（工程２）、を含み、前記還元反応の系において、銅、炭素原子、水素原子、酸素原子、及び窒素原子以外の原子を含む化合物を含まないことを特徴とする、銅微粒子分散水溶液の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、ａ．少なくとも１つの低分子量のヒドリドシラン、ｂ．少なくとも１つの溶剤およびｃ．少なくとも２０個のＳｉ原子を有する化合物の群および／または均質触媒系の群から選択された少なくとも１つの不純物を含む精製すべき溶液が、浸透膜を使用しながら少なくとも１つの膜分離工程を有する横流型メンブラン法に掛けられるような、低分子量のヒドリドシラン溶液を精製する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】塩類等を含有する原水を浄化し飲料用水、農業用水、あるいは工業用水等の淡水にするための移動式の浄水器を提供すること、及び、前記移動式の浄水器を、特に乾燥地帯での井戸水等の浄化に用いる場合の環境適応型の浄化方法を提供すること。
【解決手段】移動式の浄水器において、例えば、逆浸透膜（ＲＯ膜）、限外濾過膜（ＵＦ）又はナノフィルトレーション膜（ＮＦ膜）又は精密濾過膜（ＭＦ）からなる中空糸膜モジュールを、垂直方向に配置してなる縦型の浄水器が自動二輪車に搭載されており、該浄水器の送水ポンプが該自動二輪車のエンジンを利用して駆動するように構成されている移動式の浄水器。エンジン用の燃料としてヘンプオイルを使用することにも特徴がある。 （もっと読む）