【課題】レジスト剥離物とテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＡＡＨ）とを含む現像廃液を長期に亘り安定かつ効率的に再生処理する。
【解決手段】レジスト剥離物とＴＡＡＨとを含有する現像廃液に酸を添加してｐＨ８〜９．５に調整した後、ＭＦ膜モジュール１で膜分離処理し、透過液を分画分子量２００〜９００のナノフィルトレーション（ＮＦ）膜モジュール２により通液温度４０〜８０℃で膜分離処理し、透過液を活性炭塔３で処理する。ＮＦ膜の通液温度を４０〜８０℃とすることにより、被処理液の粘性を下げ、操作圧力を抑えて透過液量を高める。ＮＦ膜の透過液量を高めると、ＮＦ膜の透過液側にレジスト剥離物がリークするが、このレジスト剥離物は後段の活性炭処理で除去することができ、ＴＡＡＨ純度の高い再生液を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】特段の好気性処理を不要としながらも、嫌気性処理槽の大型化を招かず、また、濾過機構の性能の低下を招くことがない排水処理システムを提供する。
【解決手段】排水処理システム１は、有機性排水から液分と固形分を分離する固液分離装置２と、固液分離装置２で分離された液分を嫌気性処理し、汚泥から濾過機構３を通過した処理水を得る第一嫌気性処理槽４と、固液分離装置２で分離された固形分を嫌気性処理する第二嫌気性処理槽５と、第二嫌気性処理槽５での汚泥を第一嫌気性処理槽４に供給する汚泥供給機構６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】バラスト水は、海水または淡水中の微生物等を死滅若しくは排除する必要があるが、加熱、紫外線照射、薬品等を用いても、完全に除去することは困難である。
【解決手段】海水取入れ口から原水切替弁を介してポンプに連結され、前記ポンプの出水口から第１戻し経路切替弁に連結された送水路と、前記第１戻し経路切替弁から微細気泡発生装置とろ過膜を介して第２戻し経路切替弁に連結されたろ過路と、前記第２戻し経路切替弁から貯留タンクまで連結された出水路とを含む給水経路と、前記第２戻し経路切替弁から前記第１戻し切替弁までを連通させた戻し経路と、前記貯留タンクから前記原水切替弁まで連通させた供給路と、前記微細気泡発生装置から前記ポンプまでの間に設定された排水弁と、前記排水弁から放水端まで連結された排水路を有するバラスト水製造装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】分離膜のファウリング状態を正しく評価でき、分離膜の適切な洗浄が可能な分離膜のファウリングの評価方法を提供する。
【解決手段】膜分離槽４内に浸漬配置され、槽内の活性汚泥から透過液を得る膜分離装置６に備えた分離膜のファウリング評価方法であって、膜分離槽４内の活性汚泥を１８００〜６０００Ｇの重力加速度で遠心分離して得られる上澄み液中の有機物濃度と、前記分離膜の透過液中の有機物濃度とをそれぞれ測定し、前記上澄み液中の有機物濃度の測定値と前記透過液中の有機物濃度の測定値との差若しくは比率、または差若しくは比率の変化率に基づいて前記分離膜のファウリング状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】濾過膜モジュールを有する水処理システムにおいて、濾過膜モジュールの一次側領域を短時間で濃度ムラが小さくフラッシングするための水処理システムのフラッシング方法を提供すること。
【解決手段】被処理水を送出するポンプ８と、送り込まれた被処理水を膜分離処理して透過水と濃縮水を製造する濾過膜モジュール４とを備えた水処理システム１において、ポンプ８を停止して、濾過膜モジュール４における被処理水の膜分離処理を停止させた状態で、ポンプ８のサクション側の水圧により濾過膜モジュール４の一次側領域に被処理水を送り込んで、所定量の濃縮水を被処理水に置換しながら系外へ排出する第１フラッシング工程と、ポンプ８を駆動して、濾過膜モジュール４の一次側領域の水を、循環ラインＬ６ｂを経由して供給ラインＬ３に循環・攪拌しながら、系外へ排出する第２フラッシング工程を含むように構成する。 （もっと読む）

【課題】無機物および有機物のうち、少なくとも一方の成分を含有する被処理液を膜ろ過法で処理するに当たり、少量のサンプルを用い、短時間で、簡便に、かつ精度良く各被処理液に好適なろ過膜を選択する方法、ろ過膜の洗浄手段の選択方法、及びろ過膜の前処理手段の選択方法を提供すること。
【解決手段】被処理液を処理する液体処理プロセスに適用するろ過膜の選択方法であって、複数のろ過膜それぞれについて、被処理液中に含有される無機物および有機物のうち、少なくとも１種以上の成分の吸着量を測定し、成分の吸着量が最少となるようなろ過膜を、液体処理プロセスのろ過膜として選択することを特徴とするろ過膜の選択方法。 （もっと読む）

【課題】 運転の効率を高めるとともに効果的に膜を洗浄することの可能な膜ろ過システムを提供すること。
【解決手段】 実施形態によれば、膜ろ過システムは、原水を一時的に貯水する原水槽と、原水をろ過する膜モジュールと、原水槽の原水を膜モジュールに供給する原水ポンプと、膜モジュールでろ過された処理水を貯水する処理水槽と、処理水を洗浄水として膜モジュールに供給する逆洗水ポンプとを具備する。そして膜モジュールの洗浄工程において、原水の回収率の設定値に基づいて、膜ろ過運転の差圧上昇率別の、膜ろ過透過流速と回収率の特性曲線を用いて、洗浄工程の差圧上昇率および膜ろ過透過流速を選択する。 （もっと読む）

【課題】被処理水のろ過処理と共に、ろ過膜の損傷を監視する膜ろ過システム及びろ過膜損傷検知方法を提供する。
【解決手段】内部に配置されたろ過膜１０ａにより一次側領域１０ｂと二次側領域１０ｃとに区分され、一次側領域１０ｂから供給された被処理水中の分離対象物質をろ過膜１０ａによりろ過する膜ろ過装置１０と、前記被処理水中にモニター用微粒子を添加して、前記モニター用微粒子を添加した被処理水を一次側領域１０ｂで循環させる循環水ライン３２と、一次側領域１０ｂからろ過膜１０ａを介して二次側領域１０ｃへ透過した処理水中の微粒子数を測定する微粒子計１４と、を備える膜ろ過システム１を用いる。 （もっと読む）

【課題】 温水洗浄排水の保有する熱エネルギーを有効利用することができる省エネルギー膜ろ過システムを提供する。
【解決手段】 原水をろ過するろ過膜を有する膜モジュール41,42と、膜モジュール内に温水を供給してろ過膜を洗浄する温水器6と、温水器から膜モジュールまでの間に設けられた逆洗浄ラインL6,L61,L62と、膜モジュールから排出される洗浄後の温排水が流れる温排水ラインL7,L71,L72と、温排水ライン内を流れる温排水と熱交換可能に設けられ、温排水が保有する熱エネルギーを電気エネルギーに変換するための熱電変換素子を有する熱電変換器7と、熱電変換器で得られた電気エネルギーを利用して駆動され、前記ろ過膜を洗浄する洗浄機器8と、を有する。 （もっと読む）

【課題】被処理水のろ過処理と共に、ろ過膜の損傷を監視する膜ろ過システム及びろ過膜損傷検知方法を提供する。
【解決手段】内部に配置されたろ過膜１０ａにより一次側領域１０ｂと二次側領域１０ｃとに区分され、一次側領域１０ｂから供給された被処理水中の分離対象物質をろ過膜１０ａによりろ過する膜ろ過装置１０と、前記被処理水中に磁性体微粒子を添加して、前記磁性体微粒子を添加した被処理水を一次側領域１０ｂで循環させる循環水ライン３２と、一次側領域１０ｂからろ過膜１０ａを介して二次側領域１０ｃへ透過した処理水中の微粒子数を測定する微粒子計１４と、を備える膜ろ過システム１を用いる。 （もっと読む）