【課題】粉体の凝集が低減し、安定してエアロゾルが発生するエアロゾル発生装置とこのエアロゾル発生装置を使用した成膜装置を提供する。
【解決手段】粉体３が入れられるエアロゾル室２と、このエアロゾル室２内に設けられた回転部４と、このエアロゾル室２に設けられたガスの導入口８と、このエアロゾル室２に設けられ、エアロゾル化した粉体３が排出される排出口９とを備えたエアロゾル発生装置１において、回転部４が、略水平な回転軸を有する軸部５と、軸部５から放射状に延在する板部６とを備え、板部６は、回転部４の回転方向に貫通孔６ｄを有する。 （もっと読む）

【課題】材料粉末の付着効率を確実に向上させることができ、また、均一な品質の皮膜を形成することができるコールドスプレー装置、方法を提案する。
【解決手段】材料粉末Ａをノズルから高速で噴射して基材Ｂ上に堆積させるコールドスプレー装置１において、基材Ｂを材料粉末Ａの融点以下の第一所定温度に加熱する基材加熱部５０と、基材Ｂ向けて材料粉末Ａを噴射するコールドスプレー部１０と、を備える。 （もっと読む）

粉体スプレーガン用のノズルは、内部フィルタを任意選択的に含む。内部フィルタは、ノズル殻体内の粉体流に空気が加えられることができるようにしている。ノズルは、ノズル殻体内への粉体の主流れ軸線に対して軸線がずれている出口スロットを任意選択的に含み、粉体が出口スロットから流出する前に粉体が障害に当たるようにすることができる。
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【課題】 エアロゾルデポジション装置において、膜形成速度を上げて成膜効率を維持するには、ノズルにエアロゾルを送る際、エアロゾル発生部から供給されるエアロゾル中の粉体濃度を高くすることが望ましい。
【解決手段】 エアロゾルデポジション装置１において、エアロゾル発生部２内に、第１の偏向板１０５と第２の偏向板１０６を設けることで、粉体１０４の収容空間１１０と第１分級空間１１１と第２分級空間１１２を構成し、エアロゾルの流通順と同様、収容空間１１０、第１分級空間１１１、第２分級空間１１２の順に、エアロゾル流れに対して垂直方向の断面積を大きくする。これにより、エアロゾル発生部２内で大粒径や凝集した粉体１０４を分級し、比較的小粒径の粉体１０４を含むエアロゾルをエアロゾル発生部２から供給させる。 （もっと読む）

【課題】高い配量精度において単位時間当たり広範囲な区間で調節可能なパウダー量を放出することができる、パウダー用の配量装置を提供する。
【解決手段】パウダー用の配量装置（１０）は、パウダーのための入口（１２）と出口（６４）を有している。入口（１２）から出口（１４）へ回転可能な配量ディスク（１６）が、焼結材料（２８）からなる配量領域を有しており、その焼結材料には、パウダーを体積測定配量するためのキャビティが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾル発生器内において、フィルタに対してガスが流れる方向の下流側つまりフィルタ上面に解砕片と粉体とを混在させて配置した場合の課題を解決し、エアロゾルの発生効率が継続的に高い構造物の作製方法及び構造物の作製装置を提供する。
【解決手段】 エアロゾル発生器は、微粒子の粉体と混在して配置された解砕片と、解砕片と接触しない第１のフィルタと、第１のフィルタに対してガスが流れる方向の下流側に設置され、解砕片を通過させず、第１のフィルタの孔よりも大きな孔で構成される第２のフィルタとを有する。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾル発生器内において、解砕片と粉体とを混在させて配置し、エアロゾル排出口近傍に所定の大きさの微粒子のみを通過させるフィルタを設けた場合の課題を解決し、ノズルの目詰まりを防ぎ、粒子径が均一な微粒子を排出することで、粒子径が均一で緻密な膜の形成効率が高い構造物の作製方法及び構造物の作製装置を提供する。
【解決手段】 エアロゾル発生器は、微粒子の粉体と混在して配置された解砕片と、解砕片と接触せず所定の大きさの微粒子のみ通過させる第１のフィルタと、この第１のフィルタに対してガスが流れる方向の上流側に、第１のフィルタとの間に隙間を設けて設置され、解砕片を通過させない大きさの孔を有する第２のフィルタを有する。 （もっと読む）

【課題】農薬などの粉粒体の吸湿および固化を防止し、粉粒体を定量的に供給することができ、粉粒状の農薬を温室ハウスなどの施設内に散布する、いわゆるダクト散布法に好適に用いることができる粉粒体供給装置および農薬散布装置、これらを用いた農薬散布方法および病害防除方法を提供する。
【解決手段】粉粒体を保持する保持手段１１と、粉粒体を保持手段１１から放出し外部に供給する放出手段１２と、を備えた粉粒体供給装置１であって、保持手段１１は、所定量の粉粒体を収納する複数の収納空間１１１Ａを備え、放出手段１２は、いずれか一つまたは複数の収納空間１１１Ａを開封して収納された粉粒体を放出させる。 （もっと読む）

【課題】 微粒子の吹きつけによる成膜方法であって、良好な膜質で成膜を行うことが可能な成膜方法と、当該成膜方法を実施する成膜装置を提供する。
【解決手段】 微粒子を成膜対象へ吹き付けることによって、前記微粒子により構成される膜を形成する成膜方法であって、前記微粒子の吹き付けの流れの前記成膜対象への入射角が、第１の角度θ１（但し、−５°<θ１<０）、第２の角度θ２（但し、０<θ２<５°）、第３の角度θ３（但し、―９０°<θ３<−６０°）、および第４の角度θ４（但し、６０°<θ４<９０°）よりなる群より選択される角度とされることを特徴とする成膜方法。 （もっと読む）

【課題】真空中で粉体を扱う環境でありながら、高い量産性を実現しうるマニピュレータ及びこれを用いた成膜装置を提供する。
【解決手段】第１部材と第２部材とが接触部を介して可動に接続され、該接触部及びその動作範囲が気密性を保持できるカバーで被包され、カバーは動作方向に伸縮可能であり、内側の気密領域と外部とが貫通孔で連通されているマニピュレータである。
上記マニピュレータを２つ以上組み合わせて成る多軸マニピュレータである。
上記マニピュレータ又は上記多軸マニピュレータ及び原料粉末供給・噴射手段を気密チャンバー内に配設し、マニピュレータ又は上記多軸マニピュレータが第１部材としてガイド、第２部材としてステージを備え、気密チャンバー内を減圧する機能を備えている成膜装置である。 （もっと読む）