【課題】エアロゾルの濃度、エアロゾルを構成する粒子の粒子径及びエアロゾルの流量を調整することが可能なエアロゾル生成器及びそれを備える成膜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】生成容器１と、生成容器１の内部空間を仕切り、その上に粉体８が載置される透孔部材４と、生成容器１の透孔部材４より下側の部分に開口するように形成され、粉体８を流動化するキャリアガスを導入するためのキャリアガス導入路１５と、生成容器１の透孔部材４より上側の部分に開口するように形成され、粉体８がキャリアガスに分散されることにより形成されたエアロゾルを導出するためのエアロゾル導出路１７と、生成容器１の壁を貫通し、その開口が粉体８の粉面と透孔部材４との間に位置しかつ開口から粉体８の粒子の凝集物を解砕する解砕ガスを噴出するように形成された解砕ガス流路１６と、を備える、エアロゾル生成器。 （もっと読む）

【課題】散布ノズルの先端およびノズル周辺部に付着した粒子の凝集体を適切に除去することにより、粒子充填済基板の不良率を低下させる情報表示用パネルの製造方法および粒子充填装置を提供する。
【解決手段】本発明の情報表示用パネルの製造方法は、フィーダー１１から配管１３（１３−１，１３−２）および該配管の先端に接続した散布ノズル１２を経てチャンバー１９内に載置した基板１７のセル内に表示媒体とする粒子群１５を散布充填する粒子充填工程を連続して行う際に、各粒子充填工程の合間に、チャンバー１９内の散布ノズル１２の先端近傍に開口を配置可能な清掃用ノズル２０の前記開口から散布ノズル１２に向けて乾燥気体ブローを行うことにより、散布ノズル１２の先端およびノズル周辺部に付着した粒子の凝集体を除去する。 （もっと読む）

【課題】材料粒子を流動ガスに分散させることによりエアロゾルを生成するエアロゾル生成器において、生成容器へガスを導入することにより、材料粒子の凝集体の解砕及び材料粉体の撹拌を効率的に行う技術を提案する。
【解決手段】エアロゾル生成器に、材料粒子の粉体が収容される生成容器５７と、生成容器５７内に収容されて堆積している材料粒子の粉体の中に該生成容器５７の内周の略中心を円心とする円周方向成分を有する方向に向けてガスを噴出する一又は複数の噴出口４５ａと、噴出口４５ａに間欠的にガスを供給する第一ガス供給機構４０とを、備える。 （もっと読む）

【課題】脆性材料からなる粉体をガス中に分散させたエアロゾルを基板に噴霧し、材料粉体の構造物を基板上に形成させるエアロゾルデポジション装置を提供する。
【解決手段】エアロゾル濃度安定化容器２１の内壁において、エアロゾルが導入される入口近傍の内壁面、エアロゾルが最初に衝突する面近傍の内壁面、およびエアロゾルが排出される出口近傍の内壁面の少なくともいずれかの箇所を、算術平均表面粗さＲａを０．２５以下とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル内部の噴射材による閉塞または損耗を低減し、かつ、噴射材の定量供給性を改善したエアロゾルデポジション法による微粉末堆積成膜装置およびその成膜方法ならびに成膜部材を提供する。
【解決手段】ノズルの入口部に続く円錐状の先端部以降からノズル出口部までの間に粉末供給口を設ける。 （もっと読む）

【課題】使用するガスの種類に拘わらず加工面に弧状衝撃波の発生を抑制し、成膜用の粉末粒子が微紛（平均粒子径１〜５０μｍ）であっても各種粒子堆積成膜法において適切に被膜形成ができる成膜用ノズル、および該成膜用ノズルを用いた被膜形成方法、ならびにその被膜を形成した部材を提供する。
【解決手段】成膜用ノズルの先端部に、粉末粒子と高圧ガスの混合気体を噴射する噴射口と、該噴射口の近傍に高圧ガスの一部のみを放出する開口部を設ける。 （もっと読む）

開示されている堆積装置は堆積ヘッドと構造的に一体化された１以上の噴霧器を備えている。堆積ヘッド全体が交換式であり、材料を再充填できる。堆積ヘッドは複数のノズルを有することができる。また、三次元材料堆積用の堆積装置は、傾斜不能な噴霧器に取り付けられた傾斜可能な堆積ヘッドを備えている。異なる複数の材料を同時的または順番に堆積させる方法及び装置も開示されている。 （もっと読む）

【課題】粉体収容室に収容された材料粒子の凝集を適切に低減して、エアロゾルを長期間に亘り安定的に生成できるエアロゾル生成装置およびエアロゾル生成方法を提供する。
【解決手段】材料粒子Ｍをキャリアガスに分散させることによりエアロゾルを生成するエアロゾル生成装置１０１は、材料粒子Ｍの粉体８を収容するための粉体収容室９を有する本体５と、本体５の外部から粉体収容室９にキャリアガスを供給するためのキャリアガス供給手段（１１、１２、１５）と、粉体収容室９における、粉体８の粉面８Ａよりも下方の位置に入口開口４０Ａを有し、粉面８Ａよりも上方の位置に出口開口４０Ｂを有する粉体流路４０と、粉体流路４０内の粉体８を、粉体流路４０の入口開口４０Ａから出口開口４０Ｂへ向かう方向に移送する移送手段４１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】液状材料を安定して噴霧供給し得る造粒・コーティング方法および装置を提供する。
【解決手段】容器内に投入された粉体に衝突させるように、空気流を供給することにより該粉体を流動化させ、この流動化した粉体に対し、二流体式スプレーノズル方式によりスプレーガスを用いて溶媒、溶液、分散液またはスラリーからなるスプレー液のミストを噴霧する造粒・コーティング方法において、前記スプレー液に二相流を形成するためのスプレーガスをあらかじめ混合し、この混合物からスプレーノズル内流路中で二相流を形成させて流速を加速した後、さらに該二相流とスプレーガスとを衝突させることにより該二相流をミスト化して噴霧することを特徴とする造粒・コーティング方法。 （もっと読む）

本発明は、或る全体流量を有するキャリヤガスの中に粉材料を導入して噴霧する方法に関する。本発明による方法は、加圧されたキャリヤガスの流れを準備し、加圧されたキャリヤガスを音速まで加速させ、加圧されたキャリヤガスを膨張させ、キャリヤガスの上記流れの圧力よりも低い圧力の値を有する負圧ゾーンを形成し、或る量の粉材料が、膨張させたキャリヤガスによって同伴させられる。加速させたキャリヤガスのうちの或る量を、膨張の前にバイパスさせ、それを負圧ゾーンの中に、上記全体の流量を変化させることなしに再導入して、加速させたキャリヤガスのうちの上記或る量を調節したり、加速させたキャリヤガスのうちの上記或る量をバイパスさせなかったりすることによって、上記低い圧力を調節する。
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