【課題】エアロゾルデポジション法による成膜において、厚さ及び品質が均一な膜を形成できる成膜装置を提供する。
【解決手段】この成膜装置は、原料粉をガス中に分散させることによりエアロゾルを生成するエアロゾル生成部と、基板が配置される成膜室６と、エアロゾル生成部において生成されたエアロゾルを成膜室に搬送するエアロゾル搬送管５と、成膜室に配置され、エアロゾル搬送管を介して搬送されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル７と、該ノズルと基板との相対的位置を変化させるために、ノズル又は基板の位置を移動させる基板ステージ８と、成膜を中断してエアロゾル搬送管内を清掃するように各部を制御する制御部１０とを有する。 （もっと読む）

本発明は、汚染した物体をドライアイスで洗浄するための方法に関し、物体はその表面の少なくとも一部に、汚染物が付着する機能層を有し、
（ａ）機能層はその下に位置する物体表面に付着している力よりも弱い力で、汚染物が機能層に付着し、
（ｂ）機能層は好ましくは物体よりも小さな熱伝導率を有し、
（ｃ）機能層は室温で、ドライアイスとの接触時に発生する温度差に耐える。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法による成膜において、厚さが均一な膜を効率良く形成できる成膜方法を提供する。
【解決手段】略一定のペースで供給される原料粉をガスによって分散させることによりエアロゾルを生成する工程（ａ）と、工程（ａ）において生成されたエアロゾルをノズルから基板に向けて噴射することにより、基板上に原料粉を堆積させる工程（ｂ）とを含み、工程（ｂ）が、ノズルと基板との内の少なくとも一方を移動させることにより、基板にエアロゾルを吹き付けることによって基板上に堆積する原料粉に対し、異なる軌道を通って原料粉を重ねて堆積させることにより、原料粉の厚さのばらつきが互いに相殺されるように、ノズルと基板との相対位置を制御しながら行われる。 （もっと読む）

【課題】粉末粒子を被覆する動的吹き付けシステムのノズルアッセンブリを提供する。
【解決手段】動的吹き付けシステムのノズルアッセンブリは、先細部、スロート部及び末広部を備え、各々は、高圧加熱ガスの流れに浮遊した粉末粒子の混合物を通過させるための通路を画定するように協働する。ノズルアッセンブリは、末広部に取り付けられ、且つ、ノズルアッセンブリの末広部から所定の長さで末端部まで延在する延長部を更に備える。延長部は、高圧加熱ガスの流れにより粉末粒子に発揮された引きずり力が、より長い期間に亘って粉末粒子に作用することを可能にし、これによって粉末粒子を以前には達成できなかったより高速度にまで加速することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法において粗大なセラミックス凝集粉等を容易に除去し、一次粒子の発生割合を容易に増やすことができ、得られる被膜の硬度や、成膜速度および成膜効率に優れる被膜形成方法および被膜形成装置を提供する。
【解決手段】原料セラミックス微粒子をガス中に分散させてエアロゾルとするエアロゾル発生装置１１と、捕集チャンバー３と、真空チャンバー５と、該真空チャンバー５内に配設されたエアロゾル噴射ノズル１２とを備える被膜形成装置１であって、捕集チャンバー３は、エアロゾル発生装置１１と、噴射ノズル１２との間に設けられ、エアロゾル発生装置１１から供給されるエアロゾル中の粗大なセラミックス微粒子を捕集チャンバー３の底部に沈降させて捕集し、噴射ノズル１２に供給されるエアロゾル中のセラミックス微粒子の平均粒子径が、0.1μm〜2μm である。 （もっと読む）

【課題】エア量を増やさなくても、紛体塗料への帯電量を増大させる。
【解決手段】紛体静電塗装装置は、供給路１３，１４，１５内にエアとともに送り込んだ紛体塗料を、供給路１３，１４，１５の内壁への接触に起因する摩擦力によって帯電させ、ノズル１６から被塗物に向けて噴出するようになっている。第１供給路１３内に、その供給路１３内における紛体塗料の移動方向と交差する方向に変位しつつ紛体塗料と接触することで、紛体塗料を帯電させる可動帯電部材２０を設けたので、第１供給路１３内に移動する紛体塗料は、第１供給路１３の内壁に接触することによって帯電するのに加え、可動帯電部材２０との接触によっても帯電する。 （もっと読む）

【課題】ＡＤ法においてエッチング効果等により膜成長を阻害する要因となる粗大な凝集粉等を解砕し、一次粒子の発生割合を容易に増やすことができ、成膜速度および成膜効率に優れる被膜形成装置および該装置を用いる被膜形成方法を提供する。
【解決手段】セラミックス等の微粒子をガス中に分散させてエアロゾルとするエアロゾル発生装置９と、真空チャンバー３と、真空チャンバー３内に配設されたエアロゾル噴射ノズル２とを備え、エアロゾルデポジション法によりエアロゾル噴射ノズル２からエアロゾルを基材５上に噴射し衝突させて成膜を行なう被膜形成装置であって、上記エアロゾル噴射ノズル２から基材５に対する垂線に対称となる噴射角度でエアロゾルを噴射させ、基材５との衝突前に微粒子同士を衝突させる。 （もっと読む）

【課題】
粉体の供給に定量供給が可能な容積型のポンプとして、尚一層の安定供給を可能にし、必要に応じて供給量を容易に調整できる装置を提供するもので、特に多種多色の粉体塗料に使用する場合に、供給装置の清掃が容易で、塗料替えの作業性を向上する。

【解決手段】
吸引、吐出を内容積の減圧、加圧の変化によって行う容積型の粉体ポンプにおいて、移動体によって調整されて定量の容積を維持するポンプ室に粉体の入口、出口通路を接続し、移動体にはフィルタ部を介して前記ポンプ室に通じる吸気通路と圧送通路を接続する。それぞれ交互に開閉する弁手段によって流通が制御され、前記出口通路が閉止した時には圧送通路が閉止し、前記入口通路が閉止した時には前記吸気通路が閉止するように開閉制御させる。移動体は、ねじ部材等の進退手段を使用して室内を移動し内容積を任意に変更調節できる。また圧送通路には清掃気流口を設けて清掃の容易化を図る。
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【課題】農薬等の粉粒体を定量的に吐出することができ、粉粒状の農薬を温室ハウス等の施設内に散布する、いわゆるダクト散布法に好適に用いることができる粉粒体吐出装置、この粉粒体吐出装置を備えた農薬散布装置および農薬散布方法を提供する。
【解決手段】吐出口４を有し粉粒状の農薬３を収納する容器２と、吐出口４の内面に当接する側面の一部に陥没部２０３を有する吐出体２０と、この吐出体２０の陥没部２０３が容器２の内外に位置するように吐出体２０を吐出口４に対し進退させる駆動部とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】金属粒子の混入による絶縁被膜の絶縁特性低下を抑制する。
【解決手段】本実施形態の絶縁被膜形成方法で使用するノズル１は、絶縁被膜を形成する絶縁材料と同質の物質（アルミナ）で形成された２枚の板状部材２，３を貼り合わせて構成されている。高速で通過する絶縁材料の微粒子によってエアロゾルが通過するノズル１の第２の流路表面が削り取られ、削り取られた粒子の一部が絶縁材料の微粒子とともに対象物表面に噴射されて被膜を形成する。しかしながら、ノズル１が絶縁材料と同質の材料たるアルミナで構成されているから、対象物表面に形成される絶縁被膜に絶縁特性を低下させるような不純物（例えば、金属粒子）が混じることがなく、金属製のノズルを用いる従来例とは違い、金属粒子の混入による絶縁被膜の絶縁特性低下を抑制することができる。 （もっと読む）