【課題】種々の原料粉末を使用できるとともに、優れた原料利用率で薄膜を形成できる成膜装置及びこれを用いた成膜方法を提供すること。
【解決手段】被成膜面近傍を膜原料粉末噴射手段４の近傍よりも低圧雰囲気に制御でき、膜原料粉末７を多孔体である被成膜体１０へ噴射して、薄膜を形成する成膜装置である。膜原料粉末噴射手段４を配設する成膜室１と、減圧手段を配設する低圧室２を有する。低圧室２を成膜室１内に設ける。
ＣＳ法、ＡＤ法、ＧＤ法、Ｃｏｍｂｕｓｔｉｏｎ−ＣＶＤ法などを採用する。成膜室から低圧室へ連通するキャリアガス量・圧力を監視し被成膜面の成膜状態を判断する。 （もっと読む）

本発明は物品の表面に被覆を施す技術、特に無機粉末を用いて被覆を施すガスダイナミックコーティング方法に関するものであって、この方法は機械工学の様々な分野で利用することができる。圧縮ガスが加熱器（１）に供給され、粒子がノズル壁に固着するのを防止するために必要な温度まで加熱される。加熱されたガスは超音速ノズル（２）に入り、そこでノズルの収束部分、スロート（３）、および発散部分を順次通過し、超音速まで加速する。スプレーされる粉末は、粉末噴射コンポーネント（５）を介して該超音速ガス流に導入される。粉末粒子はノズルの加速部分（７）で高速ガス流によって加速され、次に基板表面に向けられる。本発明の要旨は、粉末噴射点の下流に位置し粉末を加速するためのノズル部分のパラメータを開示することであり、当該パラメータは、高温の圧縮ガスを使用し、かつ、硬質粒子を含む粉末を使用する可能性を保存しながら、スプレー粉末の堆積効率を向上させるものである。
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【課題】 ノズルから噴射される微粒子の量を調整し、安定で均一性の高い成膜を得る。
【解決手段】 成膜材料の粒子を含むエアロゾルを形成するエアロゾル形成手段と、該エアロゾル形成手段により形成されたエアロゾルを噴射するノズルと、を有する成膜装置において、前記エアロゾル形成手段が、成膜材料の粒子の量を検出する検出手段と、形成するエアロゾルに含まれる、成膜材料の粒子の量を、前記検出手段の検出結果に基づいて、制御する手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】バックラッシュをなくすよう薬剤の散布量を調量するギヤを制御する手段を設けた動力散布機の調量機構を提案するものである。
【解決手段】薬剤タンク１の下部の開口部に散布量を調節するシャッター２７を設け、該シャッター２７の開閉をギヤ式伝動機構を介して調量操作部材と連結して調量を行う散布機であって、前記ギヤ式伝動機構をシャッター２７の回動軸２９に固定するシャッター駆動ギヤ３７と、調量操作部材に連結される操作ギヤ３５より構成し、該シャッター駆動ギヤ３７に弾性部材４５を連結し、シャッター閉方向または開方向に付勢した。 （もっと読む）

粉末スプレー塗装ガンとそのガンハウジング。スプレーガンハウジング（２）が、粉末放出チューブ（２０）が取り付けられている銃床（４）と、粉末吸入チューブ（１０）が取り付けられているグリップ（６）とを構成するプラスチック製の一体状の本体である。
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粉体塗装カートが２つの側部ポスト（１２、１４）を具備し、該側部ポストの上端には把持装置（１６）が設けられ、該把持装置は制御機器取付部（３０）によって互いに連結され、前記ポストは、その下端部において、異なる複数の粉体容器の１つを支持するベース部（１５）に連結されている。
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本発明は、粉末材料を空気輸送する方法及び装置に関し、円筒形のチャンバは、密封可能な入口によってリザーバに結合され、密封可能な出口によって送出ラインに結合されていて、該チャンバは、リザーバからの材料で充填され、これと交互に、かかる材料を空にされ、そのために、チャンバの出口を閉じてチャンバの入口を開き、チャンバに負圧を与えることによって、ガス透過性のフィルタエレメントで形成された境界壁を介して、リザーバからチャンバへ材料を吸引し、次に、チャンバの入口を閉じてチャンバの出口を開き、チャンバに加圧ガスを与えることによって、チャンバに既に吸引されている材料をチャンバから送出ラインへと押し出す。フィルタエレメントの耐用寿命を長くするために、また、フィルタエレメントの汚染を容易に避けるために、本発明によって提案されるフィルタエレメントは、中空の円筒状にデザインされて、チャンバの少なくとも一部分を取り囲んでいる。
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【課題】柔らかい材質の粉末コーティング時にノズルが塞がる現象を最少化し、高硬度材質の粉末コーティング時にノズルの摩耗を防止することができて、ノズルを長時間使用できるので大量生産への適用が容易であり、長時間高品質のコーティングを実施できるコールドスプレー用ノズル及びこれを利用したコールドスプレー装置を提供する。
【解決手段】コールドスプレー用ノズル及びこれを利用したコールドスプレー装置は、断面積が収斂する収斂引入部２と、前記収斂引入部の収斂端部に連結されるスロート部４と、前記スロート部の端部に連結される出口部６とからなる中空型のノズル部１０及び前記収斂引入部の内部に位置し、その端部噴射口１２が前記スロート部またはこれを過ぎた出口部内に位置するように配置される噴射チューブ２０を含み、前記出口部での粉末の出口端流速が３００〜１，２００ｍ／ｓになるようにする。 （もっと読む）

本発明は、装置の大型化を伴わず、しかも被散布体上への落下物が生じることなしに、大型の被散布体上に液晶用スペーサなどの微粉体を散布することが可能な微粉体の散布装置を提供することを目的とする。 この目的を達成するために、本発明に係る微粉体の散布装置は、被散布体と所定間隔離間して配置され、前記被散布体に対してガス体の気流とともに微粉体をその先端から放出する散布ノズル管と、前記被散布体と前記散布ノズル管とを相対的に３次元的に移動させる移動制御手段と、この移動制御手段により制御される前記散布ノズル管の支持部並びに前記被散布体の支持部とを有する微粉体の散布装置であって、前記散布ノズル管が、前記被散布体の鉛直上方への射影面外に設置されてなることを特徴とする。なお、前記被散布体がその支持部により所定回転速度で回転するように構成されてなることが好ましい。
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本発明は、電気モータ（２４）によって調整可能である絞り弁（２２）と、この絞り弁の調整にしたがってその回路を交互に切断およびスイッチ入れするための接触構成要素（４６、４８、５０）を備えている電気回路（４４）とを備える、圧縮空気絞り弁装置に関する。この発明の絞り弁装置が粉末溶射被覆装置のために使用されることが好ましい。
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