【課題】
ディスペンサ自体を減圧下にさらすことなく、減圧雰囲気下で液状材料をディスペンスしてボイドを抑制する。
【解決手段】
ステージ２０上に対象物１０が設置された後、ステージ２０上にチャンバ３０が設置される。チャンバ３０は、液状材料５０を格納したキャピラリ３３を有する。チャンバ３０とステージ２０との間に第１の密封空間４０が形成される。また、蓋材６０がチャンバ３０上に設置され、チャンバの吐出部３３に格納された液状材料５０と蓋材６０との間に、第２の密封空間４５が形成される。さらに、第１の密封空間４０を減圧することにより、吐出部３３から対象物１０上に液状材料５０が吐出される。その後、チャンバ３０内は大気に開放され、仮に発生していた場合であってもボイドの縮小が達成される。 （もっと読む）

【課題】基板表面に光硬化性材料を含む塗布液を塗布して光照射することで基板上にパターンを形成するパターン形成技術において、ノズル周辺での塗布液の固着を防止し、しかも、塗布された塗布液に確実に光を照射して硬化させることのできる技術を提供する。
【解決手段】基板Ｗの表面Ｗｆに沿って走査移動方向Ｄｓに移動するノズルＮから、光硬化性材料を含む塗布液を吐出させるとともに、ノズルＮに追随するように移動させた光出射部Ｅから光（例えばＵＶ光）を塗布液に照射する。塗布終了位置に到達するとノズルＮからの塗布液の吐出を停止するとともにノズルＮを基板表面Ｗｆから離間する方向に退避させる。一方、光照射部Ｅについては走査移動方向Ｄｓへの移動を継続することにより、塗布液の終端部にまで確実に光照射を行う。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び基材の安定搬送に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】複数の処理装置と、複数の処理装置の間で基材を搬送する搬送部とを有する。搬送部による基材の搬送経路に臨んで設けられた除電部２０と、搬送部を制御して、処理装置に基材を搬送する際に、除電部を経由する搬送経路Ｒ１〜Ｒ５を辿らせる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】過酷な環境下に置かれる電子部品にも適用することが可能なマーキングを提供する。
【解決手段】電子部品の製造方法は、光硬化性を有しＮ−ビニルカプロラクタムを５質量％以上２０質量％以下の範囲で含有するインク４５を、電子部品である半導体チップ１２へ塗布してマーキングを行なう塗布ステップ（ステップＳ４、Ｓ９）と、塗布されたインク４５へ、硬化率９５％以上に硬化するように光を照射する硬化処理ステップ（Ｓ３〜Ｓ６、Ｓ８〜Ｓ１１）と、硬化処理ステップの後、インク４５を１５０℃以上２００℃以下の温度で加熱する加熱ステップ（ステップＳ１５）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ照射手段が点灯し続けることで生じる不具合を回避できる印刷装置を提供する。
【解決手段】基材１に対して相対移動して、活性光線で硬化する液体の液滴を吐出する吐出ヘッド４９と、吐出ヘッド４９に対して相対移動方向後方側に設けられ基材１上の液滴に活性光線を照射する照射部４８と、照明部４８が点灯を開始して所定時間が経過した後、照明部４８を消灯させるように制御する制御部１４と、を備える印刷装置に関する。 （もっと読む）

【課題】インクミストの除去機構を比較的簡単な構成で実現すること。
【解決手段】記録媒体６との対向面に吸込口１４が形成され且つ冷却用ファン２０が空気を吸い込む領域に排出口１５が形成されたダクト１３をキャリッジ１０の内部に設けた。そのため、ダクト１３内の空気が排出口１５から冷却用ファン２０に吸い込まれることで、記録ヘッド１２周辺の空気が吸込口１４からダクト１３に流入するようになる。それゆえ、インク吐出時にインクミストが発生しても、記録ヘッド１２周辺を漂っているインクミストを含む空気をダクト１３で吸い込むことができる。すなわち、冷却用ファン２０をインクミストの除去にも利用することができ、インクミストの除去機構を比較的簡単な構成で実現できる。 （もっと読む）

【課題】前処理時に媒体にダメージを与えることを防止するとともに良好な印刷品質が得られる印刷方法及び印刷装置を提供する。
【解決手段】樹脂でモールドされた半導体装置３に対し、オゾンを含有する雰囲気で紫外線を照射して表面処理を行う表面処理部９と、半導体装置３の表面に活性光線で硬化する液体の液滴を吐出するノズルを有する吐出ヘッドと、半導体装置３上の液滴に活性光線を照射する照射部と、を備える印刷装置に関する。 （もっと読む）

【課題】印刷モード毎に良好な画像を形成できる液滴吐出装置の制御方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出装置は、放射線硬化型インク組成物の液滴を吐出して記録媒体に付着させるヘッドと、前記記録媒体に付着された前記液滴に活性放射線を照射する照射手段と、を有する液滴吐出装置の制御方法であって、第１放射線硬化型インク組成物を少なくとも使用する第１印刷モードと、前記第１放射線硬化型インク組成物と、前記第１印刷モードでは使用しない第２放射線硬化型インク組成物と、を使用する第２印刷モードと、を有し、前記第１印刷モードおよび前記第２印刷モードを選択して印刷を行い、前記照射手段によって前記液滴に与えられる単位面積あたりのエネルギーは、前記第１印刷モードと第２印刷モードとで異なる。 （もっと読む）

【課題】狭い隙間であっても、容易にメンテナンス作業を実施できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基材に対して所定平面に沿う方向に相対移動して、活性光線で硬化する液体の液滴を吐出する吐出ヘッドと、基材上の液滴に活性光線を照射する照射部４８とを備える。活性光線を透過するカバー部材９２を、所定平面と平行な方向に着脱可能に保持する保持装置９３を備える。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に形成されるムラの発生を抑えるとともに、タクトタイムを短縮できる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に吐出装置３aから塗布液を吐出し、塗布後に塗布基板を乾燥装置５に浮上搬送機構６により搬送する塗布装置１であって、前記浮上搬送機構は振動浮上機構４２を有し、搬送工程において基板上に塗布された塗布膜を前記振動浮上搬送機構により基板に生じる振動により引き起こされるレベリング効果より塗布膜に生じる塗布ムラを解消する。 （もっと読む）