【課題】ディスペンサに詰まりが生じた場合にディスペンサを交換することなく詰まりを解消する。
【解決手段】光透過性の吐出部１０Ａを有し吐出部１０Ａ先端の吐出口１０Ａ１から塗布材を吐出するディスペンサ１０と、吐出部１０Ａに照射可能なレーザ光を出射するレーザ光源１１と、レーザ光源１１から出射したレーザ光を吐出部１０Ａに照射させる光学系１２を備える。吐出部１０Ａの特定位置にレーザ光を照射させ、特定位置の吐出部１０Ａ内に存在する詰まり原因を流動化させることでディスペンサ１０の詰まりを解消する。 （もっと読む）

【課題】耐熱性の低いワークに対して、紫外線を照射して硬化させる場合に、従来無駄となっていた赤外線等のエネルギーを有効に利用して工程全体の消費エネルギーを低減できるとともに、ワークに対するダメージが生じるのを防ぐことができる紫外線照射装置及び紫外線照射方法を提供する。
【解決手段】少なくとも紫外線を含む光を射出する光源３１と、前記光源３１から射出された紫外線を前記ワークＷ側へと反射して、当該ワークＷ上に第１照射領域を形成するとともに、紫外線よりも長波長の光を透過する第１の反射部材３１と、前記第１の反射部材３１を透過した紫外線よりも長波長の光を前記ワーク側へと反射して、当該ワーク上に第２照射領域を形成する第２の反射部材３２と、を備え、前記第２照射領域が、前記第１照射領域よりも前記所定方向Ｄに対して上流に離間して形成した。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドに対するメンテナンス頻度を適正に行い、吐出特性を安定化させる。
【解決手段】機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドの周囲の湿度を測定する湿度測定部と、前記吐出ヘッドを保守するメンテナンス部と、測定された前記湿度に基づいて、前記吐出ヘッドに対する前記メンテナンス部の駆動頻度を制御する制御部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】基板の箇所毎に気流の流れ具合を微調整して、塗布膜の乾燥ムラを少なくできる減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】減圧乾燥装置１は、塗布膜を形成した基板１４を収容するチャンバー１０と、チャンバー１０の天面の排気口１１に接続された減圧配管１２と、チャンバー１０内で基板１４と排気口１１の間に配置されるものであって、複数の通気孔１７が形成された分散板１６を備える。複数の通気孔１７のうち、少なくとも一部の通気孔１７は開度可変である。開度可変とされた通気孔１７は、絞り機構１８により開度を変える。分散板１６は、複数の区画１９ａ、１９ｂ、１９ｃを設定し、区画毎に通気孔１７を複数ずつ配置し、区画毎に通気孔１７の開度を設定するという構成が可能である。 （もっと読む）

【課題】紫外線ランプの寿命末期まで出射部から出射する紫外線の紫外線強度を一定にすることが可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線ランプ１と、紫外線ランプ１からの紫外線を出射する出射部２と、紫外線ランプ１と出射部２との間の光路に配置され出射部２から出射する紫外線の紫外線量を調整可能な第１シャッター４と、紫外線ランプ１と第１シャッター４との間に配置され紫外線ランプ１から放射された紫外線の紫外線強度を検出する紫外線センサ６と、紫外線ランプ１と紫外線センサ６との間で紫外線ランプ１と第１シャッター４との間の光路に配置され紫外線ランプ１から出射部２へ向う紫外線の紫外線量を調整し紫外線の紫外線強度を変更可能な第２シャッター９と、紫外線センサ６で検出された紫外線の紫外線強度に基づいて紫外線ランプ１から出射部２へ向う紫外線の紫外線強度が一定になるように第２シャッター９を制御する制御部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】画質の向上を図る。
【解決手段】光の照射によって硬化する液体を吐出するノズル列を有し、移動方向に移動するキャリッジと、ノズル列と対応してキャリッジに設けられ、光を照射する照射部と、キャリッジを移動方向に移動させつつ、ノズル列から液体を吐出させるとともに、照射部から光を照射させる吐出照射動作と、媒体を搬送方向に搬送させる搬送動作とを交互に実行するコントローラーと、を備え、ノズル列は、搬送方向の端部と、端部よりも搬送方向の内側の中央部であって、当該中央部のノズルで形成されたドットに照射される光量ばらつきが、端部のノズルで形成されたドットに照射される光量ばらつきよりも小さい中央部とを有し、コントローラーは、上端印刷又は下端印刷を行う際に、第一の吐出照射動作における中央部のノズルを、第一の吐出照射動作よりも後の第二の吐出照射動作における端部のノズルよりも優先して用いる。 （もっと読む）

【課題】塗料の無駄、及び空調のためのエネルギーを抑えながら、携帯端末用筐体の塗装を可能にするための、携帯端末用筐体の塗装システム及びそれを用いた携帯端末用筐体の塗装方法を提供すること。
【解決手段】搬送ライン２の途上に、インクジェット方式でワークを塗装するインクジェット装置７と、霧化塗料をワークに向けて噴射してワークを塗装する塗装ブース８と、ワークに吐着した塗料を硬化するＵＶ硬化装置１２を配設し、搬送ライン２上を搬送されているワークについて、平面部分をインクジェット装置７内においてインクジェット方式で塗装し、側面部分を塗装ブース８内において塗料噴射手段１１で塗装し、インクジェット方式によりワークの平面部分に吐着されたインクと塗料噴射手段１１によってワークの側面部分に吐着された塗料をＵＶ硬化装置１２内においてＵＶ照射によって硬化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗料の無駄、及び空調のためのエネルギーを抑えながら、インクジェット方式で携帯端末用筐体の塗装を可能にすること。
【解決手段】鉛直方向に回動自在の第１ステージ１０と水平方向に回動自在の第２ステージ１１を有したワーク供給テーブルを具備するワーク搬送装置５と、ワーク搬送装置５の軌道の途上に配設されたインクジェット装置１２及びＵＶ硬化装置１６と、装置全体の作動を制御する制御部２１を具備し、インクジェット装置１２は上下動自在のプリンタヘッド１４を具備し、ワーク搬送装置５によって移動しているワークにプリンタヘッド１４からインクを着弾させることでワーク平面を塗装し、第１ステージ１０及び第２ステージ１１を所定角度回動することでプリンタヘッド１４に対してワークを所定角度だけ傾けるとともにプリンタヘッド１４を所定長だけ上昇することで、ワークの側面を塗装可能にした。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布膜を効率よく形成し、基板処理のスループットを向上させる。
【解決手段】ウェハ処理装置において、ウェハＷの表面Ｗ_１に紫外線を照射し、当該表面Ｗ_１を洗浄する（図１８（ａ））。その後、ウェハＷの表面Ｗ_１全面に密着剤Ｂを塗布し（図１８（ｂ））、当該密着剤Ｂを焼成した後（図１８（ｃ））、密着剤Ｂをリンスして、ウェハＷ上に密着膜Ｂ_Ｆを成膜する（図１８（ｄ））。その後、ウェハＷの密着膜Ｂ_Ｆ上に光重合開始剤を有するレジスト液Ｒを塗布する（図１８（ｅ））。その後、ウェハＷ上のレジスト液Ｒに所定の光量の紫外線を照射し、当該レジスト液Ｒを、ウェハＷ上で拡散せず、且つ凝集しないような流動性を有する半硬化状態にする。そして、ウェハＷ上に半硬化状態のレジスト膜Ｒ_Ｆを成膜する（図１８（ｆ））。 （もっと読む）

【課題】 長尺基材上に、樹脂材料と溶剤を含有する塗工液を塗工して形成した塗工膜の極薄化が可能であると共に、安定的かつ効率よく積層体を生産可能な手段の提供。
【解決手段】 樹脂材料と溶剤とを含む塗工液を移動している支持体上に塗工して塗工膜を形成させる塗工膜形成工程の後に当該支持体上に形成された前記塗工膜を乾燥させる方法であって、前記塗工膜の少なくとも最表面を乾燥させる予備乾燥工程と、前記予備乾燥工程後に前記塗工膜中の前記溶剤を揮発させる本乾燥工程と、を含む塗工膜の乾燥方法において、前記塗工膜形成工程後前記予備乾燥工程前に、前記塗工膜平面略垂直方向から前記塗工膜に対して微弱な気流を均一に吹き付けるプレ乾燥工程を更に有することを特徴とする方法。 （もっと読む）