【課題】液状体として、例えば有機ＥＬ装置に用いられる発光層を形成する殆ど透明なものを用いた場合、液状体が塗布された領域とそれ以外の領域とのコントラストが取れないため、液状体が塗布された領域の面積や体積を測定することは極めて困難になるという課題があった。
【解決手段】溶媒中に溶質を含む機能液、または前記溶媒のみを含む透明な液状体を浸透させた塗布領域を観察するための液滴吐出評価方法であって、受容層を備える透明な基板の前記受容層側に前記液状体の液滴を吐出し、前記受容層に前記液状体を浸透させる塗布工程と、前記液状体中の前記溶媒を残した状態で、前記基板の一方の面から前記基板に光を照射し、前記基板を透過させ、他方の面側から前記塗布領域を観察する観察工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】塗布環境の変化を抑制すること。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記塗布部によって前記液状体の塗布を行う塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバーと、前記チャンバー内の雰囲気中における前記溶媒の濃度が閾値を超えたときに前記液状体を前記チャンバー内の雰囲気から隔離させる隔離部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルの目詰まりによるヘッド交換を回避する。
【解決手段】複数種類の液体を種類毎に収容する複数の収容部と対応した複数のノズル列であって、それぞれ、列方向にノズルが並び対応する収容部から液体が供給される複数のノズル列の各ノズルから液体を吐出させるための吐出動作を行うことと、吐出動作によって各ノズルから液体が吐出されるか否かを検出することと、或るノズル列に液体を吐出しないノズルが有ることを検出した場合、或るノズル列が吐出すべき液体を、或るノズル列とは別のノズル列に対応する収容部に収容することと、或るノズル列が吐出すべき液体を、前記別のノズル列が吐出するように制御することと、を有する。 （もっと読む）

【課題】受容層を備えたメディアにノズルから液状体を吐出し、着弾面積を元に相対的な体積差を求める方法では、メディアの表面状態により広がり具合が変わり、着弾面積の絶対値はメディアの位置、測定するときの湿度等で揺らぐため、そのままではノズル間での相対的な吐出量ばらつきを測定することが難しいという課題があった。
【解決手段】各々加圧部を備える複数のノズルと被吐出物とを相対的に移動させる走査ステップと、前記走査ステップ毎に吐出エネルギーを段階的に変化させて前記加圧部に与え、前記複数のノズルから液状体を液滴として前記被吐出物に吐出するステップと、前記被吐出物に着弾した前記液滴の着弾面積を求めるステップと、を含む。吐出エネルギーを段階的に変化させることで、吐出エネルギーと着弾面積との関係が高い相対精度で得られ、吐出量ばらつきの測定精度が向上した。 （もっと読む）

【課題】不良品の発生を抑制しつつ塗布作業の効率を高める。
【解決手段】シートＷのＸ方向及びＹ方向それぞれに複数並んで形成されている画素部Ｇに対して塗布液を吐出するノズル９が、Ｙ方向に並んで複数設けられている塗布ヘッド７と、シートＷに対して塗布ヘッド７をＸ方向及びＹ方向に移動させる駆動装置１２と、Ｙ方向に並ぶ画素部Ｇに対してノズル９から塗布液を同時に吐出させる単位塗布動作を実行する制御を行う塗布動作制御部１４と、画素部Ｇを撮像するカメラ５を有し画素部Ｇの座標を取得する座標取得部２４と、取得した座標に基づいて、Ｙ方向に並ぶ複数の画素部Ｇのうち、前記単位塗布動作によって正規の位置に塗布液の滴下が可能となる画素部数を算出する演算部１５とを有している。 （もっと読む）

【課題】各吐出ノズルにおける着弾位置のズレを抑制することができる。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド３の着弾検査により得られた２以上の吐出ノズル２２の実着弾位置情報を、機能液滴吐出ヘッド３のＩＤ番号に付して取得する着弾情報取得工程と、機能液滴吐出ヘッド３と同一ＩＤ番号の機能液滴吐出ヘッド３の、ヘッドプレート２に対する設計上の位置である設計位置情報を取得する設計位置情報取得工程と、取得した設計位置情報に、着弾位置情報を加味して、機能液滴吐出ヘッド３のアライメント位置情報を生成するアライメント位置情報生成工程と、生成したアライメント位置情報に基づいて、機能液滴吐出ヘッド３をヘッドプレート２にアライメントするアライメント工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】各吐出ノズルによる着弾位置のズレを抑制することができる。
【解決手段】ノズルプレート１５の形状検査により得られた吐出ノズル２２のノズル形状情報を取得する形状情報取得工程と、取得したノズル形状情報に基づいて、吐出ノズル２２の着弾位置を推定して想定着弾位置情報を生成する想定着弾位置情報生成工程と、機能液滴吐出ヘッド３の、ヘッドプレート２に対する設計上の位置である設計位置情報を取得する設計位置情報取得工程と、設計位置情報に、想定着弾位置情報を加味して、機能液滴吐出ヘッド３のアライメント位置情報を生成するアライメント位置情報生成工程と、アライメント位置情報に基づいて、機能液滴吐出ヘッド３をアライメントするアライメント工程と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】口金近くに設置された基板上の異物を検知する異物検知装置が気流等の外乱で検知精度が低下することを防止する。
【解決手段】シート状基板と相対的に移動することにより基板を走査し、基板表面に塗布液を吐出する塗布装置において、塗布液の吐出装置の走査方向上流側に配置され、基板上の異物を検知する検知装置を少なくとも有し、前記検知装置はレーザー光を基板表面と平行に照射する投光装置と、前記投光されたレーザー光を受光する受光装置と、少なくとも前記投光領域直下の空気流れを遮蔽する装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドのマニホールド内での粒子の沈降を防止することができる粒子含有層付きフィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】粒子を含有する塗布液Ｆをストックタンク３２内に準備する。ストックタンク３２から塗布液Ｆを実質的に送液量が一定となるよう送液し、スロットダイ１２に供給する。スロットダイ１２から塗布液Ｆを連続走行するウエブに供給する。スロットダイ１２から塗布液Ｆの一部を往復動ポンプ５０により吸込み量を実質的に一定として吸い込み、往復動ポンプ５０から脈動流を吐出する。往復動ポンプ５０の吐出側の圧力を吸込み側の圧力より常に高くなるよう圧力調整する。 （もっと読む）

【課題】従来の膜形成方法では、膜の平坦性を向上させることが困難である。
【解決手段】塗布される液状体に含まれる材料でフィルター膜３が形成される膜形成基板であって、基板４と、前記液状体に対して撥液性を示し、基板４の基板面４ａ側において、前記液状体が塗布される領域である画素７を囲んだ状態で設けられた第１隔壁５と、第１隔壁５よりも前記液状体に対して親液性を示し、第１隔壁５に積層して設けられた第２隔壁６と、を有する、ことを特徴とする膜形成基板。 （もっと読む）