【課題】未硬化のプリプレグシートに孔を形成し、前記孔に導電性ペーストを充填し、銅箔等と一体化してなる多層プリント配線基板において、前記プリプレグシートの面積を大きくした場合、前記プリプレグシートを吸着ステージに吸着させる場合に、皺が発生する場合がある。
【解決手段】未硬化の複合プリプレグシート１０に孔２１を形成し、これを吸着ステージ１４の上に吸着する際に、前記複合プリプレグシート１０の４辺の複数個所を吸着治具１１を用いて固定し、前記複合プリプレグシート１０の一部を積極的に下側に凸の形状とし、前記複合プリプレグシート１０の下に凸の頂点に対応する前記吸着ステージ１４を局所的に真空引きしておき、まず最初に前記複合プリプレグシート１０の凸の頂点と、吸着ステージ１４の一部を真空吸着させた後、更に前記複合プリプレグシート１０を前記吸着ステージ１４に接するようにさせる。 （もっと読む）

【課題】ウェハの表面にレジスト液を塗布する塗布処理において、塗布液の省液化を図る。
【解決手段】先ず、ウェハがスピンチャックに保持される（Ｓ１）。その後、ウェハＷが回転され（Ｓ２）、その回転されたウェハの表面に液体窒素が供給される（Ｓ３）。この液体窒素の供給は、冷却用ノズルから液体窒素を吐出した状態で、冷却用ノズルをウェハの表面の外周部上から中央部上まで移動させることにより行われる。この液体窒素の供給により、ウェハを周辺エアの露点温度以下に冷却し、ウェハの表面に水分を結露させることができる。その後、ウェハの表面にレジスト液が塗布される（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法においてエアロゾル微粒子の吐出量を正確に計測する方法を提供する。
【解決手段】微粒子をガス中に分散したエアロゾルを、真空チャンバー３内でエアロゾル吐出ノズル２の吐出開口部２ａから基材上に噴射して成膜を行なうエアロゾルデポジション法による成膜工程において、微粒子が通過しない微細な孔を持つ捕集フィルター１０を吐出開口部２ａを覆って取り付け、エアロゾル吐出ノズル２から吐出される微粒子を所定時間捕集するステップと、捕集フィルター１０を取り外し捕集された微粒子重量から吐出量を計測するステップとを備えてなり、上記捕集フィルター１０は、真空チャンバー３内を 1000 Pa 以下に減圧したときのガス通気量が 1 Ｌ／分 以上であり、捕集フィルター１０の微細な孔は粒子径 0.1μm 以上の微粒子を通過させない孔である。 （もっと読む）

【課題】浸漬処理における空気溜まりの発生を最少化するワークの最適姿勢を、トライ＆エラーを繰り返すことなく自動的に求める。
【解決手段】１回のシミュレーションにおける重力方向の設定毎に、エアポケットの発生個数等のエアポケットの発生状況を評価する指標データを算出し、計算刻み角度（Δφ，Δθ）に対応して区分した評価用メッシュに割り付けて可視化する。そして、ノード値が「０」の領域（エアポケットが発生しない領域）がある場合、ノード値「０」の領域を周囲から囲い込んで絞り込み、最適なワークの姿勢（最適なワークの釣下げ角度）を求め、その位置を識別表示する。 （もっと読む）

【課題】未硬化のプリプレグシートに孔を形成し、孔に導電性ペーストを充填し、銅箔等と一体化してなる多層プリント配線基板において、プリプレグシートの面積を大きくした場合、プリプレグシートを吸着ステージに吸着させる場合に、皺が発生する場合がある。
【解決手段】未硬化の複合プリプレグシート１０に孔２１を形成し、これを吸着ステージ１４の上に吸着する際に、複合プリプレグシート１０の４辺の複数個所を吸着治具１１を用いて固定し、複合プリプレグシート１０の一部を積極的に下側に凸の形状とし、複合プリプレグシート１０の下に凸の頂点に対応する吸着ステージ１４を局所的に真空引きしておき、まず最初に複合プリプレグシート１０の凸の頂点と、吸着ステージ１４の一部を真空吸着させた後、更に複合プリプレグシート１０を吸着ステージ１４に接するようにさせると同時に、吸着ステージ１４の独立した吸着ゾーン１５も真空引きする。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドを駆動制御して精度よく液滴を着弾させることができる液状体の吐出方法、この液状体の吐出方法を適用した配線基板の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ発光素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の液状体の吐出方法は、吐出ヘッドを駆動し、複数のノズルごとに吐出された液滴の着弾位置情報を取得する検査工程（ステップＳ１）と、主走査により基板上に液滴を配置する第１配置パターンに対して、着弾位置情報に基づいて飛行曲がりを主走査の方向において補正した第２配置パターンを生成する配置パターン生成工程（ステップＳ２）と、第２の配置パターンに基づいて飛行曲がりが生じているノズルに対して吐出タイミングあるいは吐出速度を変えて吐出する吐出工程（ステップＳ３）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 塗布ヘッドのヘッド面における正確な真直度を測定する。
【解決手段】 連続的に走行する非磁性支持体上に磁性層を形成するための塗布ヘッドの真直度の測定方法において、塗布ヘッドのエッジ面と表面部材の任意の一面とを同時に研削することにより、表面部材にエッジ面と同一の面を形成する位置合わせ工程と、表面部材の前記エッジ面と同一の面と、エッジ面の真直度を測定するための測定子の先端面とを研磨することにより、測定子の先端面に前記エッジ面と平行となる面を形成するラップ工程と、ラップ工程により形成された測定子の先端面と、エッジ面とを接触させることにより、エッジ面の真直度を測定するエッジ面測定工程からなることを特徴とする塗布ヘッドの真直度の測定方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】同一駆動系で駆動される保持ブロックにシリンジを複数個設けた場合に、各シリンジに設けられたニードルの相互の配列ピッチを微細に調整可能として、複数枚取りの分割基板等の塗布対象物に対する液滴塗布を高精度で能率的に実行可能とする。
【解決手段】塗布対象物に対して、直交３軸であるＸＹＺ軸方向に相対的に移動自在なシリンジ保持ブロック５０と、これに設けられた複数のシリンジ３１Ａ，３１Ｂと、シリンジ３１Ａ，３１Ｂの先端部にそれぞれ設けられたニードル３２Ａ，３２Ｂとを備え、シリンジ３１Ａ，３１Ｂは、ＸＹ軸方向に相対位置調整自在であり、シリンジ３１Ａ，３１Ｂはシリンジ保持ブロック５０のＸＹＺ軸方向の移動により同時に駆動される構成である。 （もっと読む）

溶解装置と、該溶解装置に接続されたコンポーネントとして１つまたは複数の加熱可能な搬送ホースならびに１つまたは複数の加熱可能な塗布弁とを備える熱糊塗布装置において、前記コンポーネントは機械により読み出し可能および有利には機械により書き込み可能なデータ担体を有する。
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【課題】
製膜中に塗布工程を有する延伸シートの製造時にコート層および基材シートの厚みを精密に調整するシートの製造方法を提供する。
【解決手段】
シート幅方向で塗液を塗布した領域だけでなく、塗液を塗布していない基材のみの領域でもシートの厚みを制御する。 （もっと読む）