【課題】フォトマスクの大型化に伴う撓みによる洗浄ムラを解消した、とくにフォトマスクの中心部付近と外周部において均一な洗浄効果が得られる洗浄ブラシを用いた回転式フォトマスク洗浄装置の提供。
【解決手段】フォトマスクを洗浄する装置であって、少なくともフォトマスク保持部と、フォトマスクを保持しつつ回転させる回転機構と、回転機構制御部と、アームに取り付けられた回転ブラシ部と、回転ブラシ位置制御部を具備していることを特徴とするフォトマスク洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】ロールからベアリングを取り外すことなく洗浄できるロール洗浄装置を提供する。
【解決手段】上面が開口して、左右一対のベアリング１６，１６を支持するベアリング支持部１７，１７が載置されると共に、水が入った外洗浄槽１８と、外洗浄槽１８の水に浸され、かつ、上面が開口してロール１２の下部が浸されるように有機溶剤が入った内洗浄槽２０と、外洗浄槽１８の底面に配された超音波振動子と、回転軸１４に連結され、ロール１２を回転させるモータ２６とを有する。 （もっと読む）

【課題】清掃ブラシの耐久性を向上させたエレベータのロープ清掃装置を提供する。
【解決手段】調速機ロープ７を挟んで両側にそれぞれ設けられた一対の清掃ブラシ１１，１１の先端が調速機ロープ７の外周面にそれぞれ当接しているとともに、それら両清掃ブラシ１１，１１の回転軸１５，１５が当該回転軸１５，１５と調速機ロープ７の両者に直交する方向で調速機ロープ７に対してオフセットしていて、調速機ロープ７が長手方向に移動するのに伴って両清掃ブラシ１１，１１がいわゆる連れ回りの形態をもって回転することにより、それら両清掃ブラシ１１，１１の調速機ロープ７に対する当接位置が連続的に変化し、両清掃ブラシ１１，１１の偏摩耗が防止される。 （もっと読む）

【課題】 浴槽の内壁を手作業で洗浄する時、洗浄機本体の移動時における移動操作を自在なものとして、その自由度を向上させることができる。また、洗浄機本体の支持アームを簡単な構造で形成して簡素化すると共に、この支持アームを湾曲鋼帯により形成することで、支持強度を増強させることができる浴槽洗浄機を提供する。
【解決手段】 洗浄機本体１のハウジング６の前面外部に突出させて浴槽の内壁を洗浄する回転自在な回転ブラシ２と、この回転ブラシ２を前記ハウジング６の内部に固設して回転駆動するモータ３と、前記ハウジング２の背面後方に突出させて洗浄機本体１を把持移動させる把持柄４と、前記ハウジング２の下端面より下方に突出させて洗浄機本体１の重さを支持する支持アーム５とを有する浴槽洗浄機において、前記支持アーム５は、長手縦方向を湾曲する湾曲鋼帯により屈曲補強して形成すると共に、前記把持柄４の内部に収納するように構成されていることを特徴とする浴槽洗浄機。 （もっと読む）

【課題】 基板の周端部の傾斜部を含めて確実に洗浄や研磨の処理を実施することができるばかりか支持手段も複雑でなく自身の耐久性にも優れた処理手段を有する基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板を支持する基板支持手段と、所定の径を有するとともに先端に形成した中心に凹部を形成する平面を処理部としたＰＶＡスポンジからなる処理手段と、基板支持手段に支持させた基板の軸線に対してその処理手段をその軸線が直角になるように処理部を基板の周縁部に向けて所定位置に支持する処理手段の支持手段と、処理手段の支持手段に付設されて処理手段の回転手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】配線基板の表面に付着した異物を配線基板に再付着させることなく、良好に除去することが可能な配線基板の異物除去装置および異物除去方法を提供すること。
【解決手段】
第１の電圧に帯電された帯電ブラシ３のブラシ面を配線基板１の表面に摺動させることにより、配線基板１の表面の異物８を帯電ブラシ３に付着させて除去するようになした。配線基板１の表面に強固に付着した異物８や配線基板１の表面に形成された微小な凹部内に入り込んだ異物８も帯電ブラシ３により掻き出されるとともにクーロン力により帯電ブラシ３に吸着されるので、異物８が飛散したり配線基板１に再付着したりすることがなく、配線基板１の異物８の除去を良好に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、金属箔加工装置や印刷装置等の対象設備に適用して、搬送される長尺材料や製品の表面に付着する塵埃を簡単且つ速やかに除去することが可能な粘着ロールクリーニング装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の粘着ロールクリーニング装置は、長尺の材料又は搬送される製品の表面から部分的に塵を捕捉するために、ラバーロールをその表面に圧接し、次にそのラバーロールに付着した塵を粘着ロールに粘着させて取り除くものであり、粘着ロールをラバーロールに圧接する駆動源は、装置本体の上部に設けたトグル状のクランパーにより人力にて駆動する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 バケツやこれに近似した容器に付着している汚れをブラシローラにより洗浄する際に、効率よく洗浄液を供給する洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 洗浄装置１は、一円筒形状の周囲と頭頂部にブラシを有し、鉛直方向に配置された回転軸の軸中に頭頂部へ水を案内する通路を有する内周洗浄用のブラシローラ２０と、鉛直な回転軸を有する一対の外周洗浄用ブラシローラ３０、４０を有している。ブラシローラ３０、４０を相反する方向へ回転され、ブラシローラ２０の回転軸をブラシローラ３０、４０に対して近接離間可能に支持する腕部材２７とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 ロールの回転中にロール片が回転ずれを起こすことを防ぐと共に、安価に製作することができるロールを提供する。
【解決手段】 鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状からなる被洗浄面に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体を除去、搾取、洗浄する為のロール１において、前記ロール１はロール部２及び台座３を有し、前記ロール部２は少なくとも１つ以上のモジュール部７が前記台座３の外周面に形成されてあると共に、前記モジュール部７は積層された複数のロール片１４が接合され、一体化されて形成されてある。 （もっと読む）

本明細書で説明される諸実施形態は、ブラシ洗浄モジュールに利用できるローラアセンブリに関する装置および方法に関する。一実施形態では、ローラアセンブリが説明される。このローラアセンブリは、基板の周辺部に沿って基板の主要面と接触するように適合された少なくとも２つのほぼ平行に対向する側壁を有する環状溝を含み、対向する側壁のそれぞれは、基板の周辺部の厚さ未満の予圧寸法を有する圧縮性材料を含む。
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