【課題】基板を高速で移動しながら、基板をむらなく均一に乾燥させる。
【解決手段】ノズル２１は、洗浄液を基板１の表面へ供給し、エアナイフ２２ａ，２２ｂは、エアを基板１の表面又は裏面へ吹き付ける。エアナイフ２２ａから吹き付けたエアにより、ノズル２１から供給した洗浄液が、基板１の表面で基板移動方向と反対側に移動する。ノズル２１から供給する洗浄液の量、並びにエアナイフ２２ａから吹き付けるエアの流量及び速度を調整して、洗浄液の移動速度が基板移動速度より遅くなる様にする。これにより、エアナイフ２２ａの下方を通過した基板１の表面全体に、洗浄液の連続した薄い液膜が形成される。基板１の表面に形成された液膜は、ハロゲンランプ３１の下方を通過する際に加熱されて蒸発し、基板１の端から順番に連続して除去される。 （もっと読む）

【課題】水蒸気除去機構への目詰まり等を防止した上で、水蒸気を効率よく除去できる機構を備えたロータリー型ケージ洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄室１０１内に回転可能な支持台を配置し、この支持台上にケージを載置して、このケージを支持台の回転により移動させながら当該洗浄室１０１内で洗浄液によりケージを洗浄するロータリー型ケージ洗浄装置において、前記洗浄室１０１に、水蒸気除去機構１０５を有する排気装置１０７を備え、この水蒸気除去機構１０５が、本体１１０内に前段フィルタ１１１と、後段フィルタ１１２と、これらフィルタ間に位置して前段フィルタ１１１に水を噴射するノズル１１３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】基板に供給される処理液の流量を正確に制御できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置の制御部は、予め複数の洗浄処理部５ａ〜５ｄに対応する処理レシピに基づいて複数の洗浄処理部５ａ〜５ｄの動作手順および動作条件を決定するとともに昇圧ポンプＰ１の吐出量を決定する。制御部は、昇圧ポンプＰ１の吐出量をフィードフォワード制御するために、処理レシピに基づいて昇圧ポンプＰ１の吐出量を実際に昇圧ポンプＰ１を制御する前に決定する。例えば、制御部は、複数の洗浄処理部５ａ〜２ｄの処理レシピに設定された薬液処理のタイミングおよび薬液ノズルの吐出流量に基づいて予め昇圧ポンプＰ１の吐出量を決定する。 （もっと読む）

【課題】下面が平坦面でなく凹凸がある被搬送物を、滞留させることなく確実に水平搬送することのできる被搬送物の水平搬送方法および水平搬送装置を提供する。
【解決手段】下面１２ａに少なくとも１つの凸部を形成しかつ剛性のある被搬送物１２の前記下面１２ａを接触支持して摩擦力により被搬送物１２を水平搬送する搬送表面１０を持った回転駆動軸５を多数平行に配置する。水平搬送途中で被搬送物１２の下面の凸部がその前方の回転駆動軸５の搬送表面１０の回転上昇面１０ａに接して、それら凸部と搬送表面１０の回転上昇面１０ａとの間ですべり接触を生じて被搬送物１２の水平搬送が滞留したときに、回転する回転駆動軸５の搬送表面１０の周方向に設けた切欠部１１の係合作用により、同回転駆動軸５の回転途中で、被搬送物１２の下面の凸部１３Ｂを押し上げて前記すべり接触に係わる回転駆動軸５を乗り越えせしめ、被搬送物の水平搬送を再開せしめる。 （もっと読む）

【課題】基板を傾斜した状態で移動しながら、傾斜した基板の表面を均一に洗浄する。
【解決手段】基板１は、複数のローラ１０上に搭載され、ローラ１０の回転により矢印で示す基板移動方向へ移動される。各ローラ１０は、その一端が他端より高くなる様に傾けて設置されており、これにより複数のローラ１０は、基板１を水平に対して基板移動方向と直交する方向に所定の角度θだけ傾斜した状態で移動する。アクアナイフ１１は、アクアナイフ１１が設置されている基板１の表面と平行な面において、基板移動方向と直交する方向に対して所定の角度Ｔだけ傾けて設けられている。これにより、傾斜した基板１の表面の上側では、傾斜した基板１の表面の下側よりも、基板移動方向における上流でアクアナイフ１１から吐出された洗浄液が供給される。 （もっと読む）

【課題】 ウェットユニットからの液体の防止できる搬送処理装置を提供する。
【解決手段】 減圧チャンバー２０の搬出口２３の上下方向の寸法は、上縁部が基板Wの表面に供給された液体（現像液）に接触しない範囲で低く設定されている。その結果、基板Wが搬出口２３を通過する際には基板W上面と搬出口２３の上縁との間の隙間が小さくなり、且つ減圧チャンバー２０内は陰圧なので、外気が基板W上面を伝って減圧チャンバー２０内に勢いよく入り込み、基板Wの表面に盛られている現像液は、気流によって基板の長辺から流れ落ち、流れ落ちた現像液は回収口２４を介して回収される。 （もっと読む）

【課題】 従来の水道水直結型オゾン水生成器では、常圧の水を流して洗浄殺菌消臭するだけで、水の噴出口のノズル調整での高圧噴射、噴霧等の調整は不可能であり、オゾン水での高圧噴射、噴霧による洗浄殺菌消臭は不可能である。又気液混合部へ水とオゾンを送る場合、ホースが二本必要となり不便である。
【解決手段】 水の噴出口にオゾンを噴きつけ、水の噴出時に生じる空気の対流にオゾンを対流させ、対流することによりオゾンを含んだ水を、噴射又は噴霧し洗浄殺菌消臭をすることができる。又ホース合流装置部によりホースを一本化することができる。 （もっと読む）

【課題】ワークの各面に対して洗浄液の高速噴射がなされ、以て、切粉等の除去のための洗浄を十分且つ効率よく行なうことができ、しかも洗浄液の浄化機能を有しているために、より信頼性の高い洗浄作業を行ない得る機械部品等のワーク洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】内部に高速洗浄ノズルを備えた複数の洗浄槽２、３と、ロボットアーム先端のチャック８でワークをクランプして前記洗浄槽２、３内に運び入れ、前記高速洗浄ノズルに対向させて当該ワークの洗浄を行なうロボット１とを含むワーク洗浄装置において、前記複数の洗浄槽２、３はそれぞれ洗浄液の循環清浄化機能を備え、前記ロボット１は、前記複数の洗浄槽２、３に対し、選択的に前記ワーク洗浄のための動作を行なう。 （もっと読む）

【課題】 広い洗浄可能領域を有し、構造が簡単なノズル装置を提供することである。
【解決手段】 第１通水路（１２ａ）が内部に設けられ、給水源に接続された固定部（１２）と、第１通水路と流体連通する第２通水路（１６）が内部に設けられ、固定部の軸（１２ｂ）を中心として回転するように配置された回転部（１４）とを備え、回転部には、第２通水路から回転部の下面に位置するノズル先端まで延びた少なくとも１つのノズル孔（２０，２２）が設けられ、ノズル孔のうち少なくとも１つ（２０）が、ノズル先端（２０ｂ）の箇所において、ノズル先端が円周上に位置する軸を中心とする所定半径の仮想円（Ｃ₁ ）に対する接線に沿って見たとき、軸に対して角度α傾斜していることを特徴とする回転ノズル装置（１０）が提供される。 （もっと読む）

【課題】荷室にタンクとポンプとポンプ駆動用内燃機関とを設置した洗浄作業用バン型自動車において、洗浄作業中のポンプの作動音や内燃機関の運転音が車外に大きく伝わることを効果的に回避でき、静粛性を求められる作業場所においても洗浄作業を支障なく行えるようにする。
【解決手段】荷室Ｃｒに、タンクＴと、ポンプＰと、ポンプ駆動用の内燃機関Ｅと、内燃機関Ｅから延びる排気管Ｅｘに介装される排気消音器Ｍとが収納、固定され、車体Ｆの、荷室Ｃｒ下方の床部Ｆｆには、ポンプＰの吐出側より延出する圧送管Ａを挿通させて該圧送管Ａを車外に引き出すための圧送管挿通部Ｈａと、排気消音器Ｍより下流側の排気管Ｅｘを挿通させて該排気管Ｅｘの下流端を車外の大気に開放するための排気管挿通部Ｈｂとが設けられる。 （もっと読む）