パーツウォッシャー１０は、キャビネット１２と、プラットフォーム１４と、液体ディストリビュータ１６と、連結装置１８と、駆動システム２０とを有する。プラットフォーム１４は、キャビネット１２の内部に配置され、洗浄されるべき物品を支持する。ディストリビュータ１６は、キャビネットの内部でプラットフォームの一方の側に向いて設置され、プラットフォーム１４の回転軸に対してほぼ半径方向に向けて液体を放つ少なくとも１つのアウトレット２６を備える。連結装置１８は、ディストリビュータ１６が少なくとも２つの自由度で動くように、ディストリビュータ１６をキャビネット１２の内部に連結している。より詳しくは、連結装置１８は、ディストリビュータ１６の、傾き、回転、上下の動きの組み合わせを含む複合の動きを可能とする。
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吹付ディスペンサーによりフォームの形態で洗浄すべき表面に適用される、硬表面のための水性洗剤が開示される。この洗剤は、脂肪アルコールスルフェートおよび／または脂肪酸サルコシネートならびにイソプロパノールおよびブチルグリコールを含有する。本発明の洗剤は、硬表面、特にガラスの縞形成のない洗浄のための方法において使用することができる。洗浄フォームの分解を、硬表面を洗浄するための適切な使用中に、はじけ音の形態で聴くことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、２つの比較的小さなスキッドのみが使用されるため、ドア清掃には比較的長い時間がかかること、さらに、シールワイパ領域への高圧清掃に基づき、シールドワイパが損傷する等の従来技術において発生する不利点を回避することにある。
【解決手段】本発明は、コークス炉の炭化室の炉ドア（２）を清掃するための清掃装置（１）であって、前記炉ドア（２）がドアストッパ（３）と、ドアストッパ領域及びノズル（６）の清掃除去のための機械的除去装置（５）を有する少なくともシールワイパ領域（１０）の高圧清掃のための高圧清掃装置（７）とともに、少なくとも１つの外側回転シールワイパ（４）とを有する清掃装置に関する。前記シールワイパ領域ができる限り負荷がかからない簡単且つ安価な清掃を提供するために、本発明によれば、前記高圧清掃装置（７）が前記シールワイパ領域（１０）の清掃のための回転ノズルを有する。 （もっと読む）

【課題】 被洗浄物上のパーティクルの大きさに拘らず、より効率的且つ高い洗浄効果を得ることが可能な部品洗浄装置、及び、部品洗浄方法を提供する。
【解決手段】 二次要素としての窒素（不活性ガス）が付加された洗浄液としての純水を洗浄ノズルから基板に向けて噴射することによって、基板を洗浄する部品洗浄装置であって、制御手段は、洗浄工程において、純水流量又は窒素流量のうち少なくとも一方を周期的に変動させることにより、純水に窒素が所定の割合で付加される第１洗浄状態と、純水に付加される窒素の割合が第１洗浄状態よりも低い第２洗浄状態とを交互に変換しながら洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】 低コストで汚染物質を除去でき、しかも、洗浄対象物を損傷しない洗浄ノズル及びそれを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】 断面円形のスロート部１１の下流側に流れ方向に拡径するダイバージェント部１３を備えたノズル本体１８と、ノズル本体１８に供給される圧縮空気１５の流れと同方向に洗浄液２０を吐出する洗浄液供給管２１とを有する洗浄ノズル１０であって、洗浄液供給管２１の吐出口２２が、ノズル本体１８の内側壁面２３から離れたスロート部１１の近傍に配置され、しかも、圧縮気体１５がスロート部１１で音速となっている。 （もっと読む）

【課題】ミストとなる洗浄液の利用効率を向上させることができる基板洗装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る基板洗浄装置は、基板１を載置するステージ１０と、ステージ１０に載置された基板１の上方に位置し、該基板１の上面全面を覆うカバー部材２０と、カバー部材２０に設けられ、ミスト化した洗浄液をガス中に分散させたミスト分散ガスを基板１に吐出する吐出口２２ａと、を具備し、吐出口２２ａからミスト分散ガスが吐出された状態において、カバー部材２０の下面と基板１の上面との間の空間１ａは、ミスト分散ガスで充填される。 （もっと読む）

【課題】 作業操作性の良いパターン修正装置を提供する。
【解決手段】 このパターン修正装置では、洗浄液４５の入った洗浄タンク４６を洗浄エリアに設け、塗布ノズル３０が詰まったときは、たとえばステージ１０，１２を駆動させて塗布ノズル３０を洗浄液４５中に浸漬させ、超音波振動子４７により超音波を印加して塗布ノズル３０を洗浄する。したがって、塗布ノズル３０を堆積装置５から取り外すことなく洗浄液４５で洗浄して、修正作業を再開することができる。 （もっと読む）

【課題】化学的洗浄剤を使用することなく、短時間で高い洗浄効果を達成し、EGT、SFC及びCO_２を減少し得る洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】電解アルカリ水の蒸気をエンジンに吹き付けて汚れを浮かせた後、温水を吹き付けて該汚れを除去ずることによって、極めて短時間で高い洗浄効果を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】乾燥室を効率的に加熱できる洗浄乾燥装置及び洗浄システムを提供する。
【解決手段】被処理体を加熱された洗浄液によって洗浄する洗浄室Ｓ１と，被処理体を乾燥させる乾燥室Ｓ２とを備えた洗浄乾燥装置２において，洗浄室Ｓ１に洗浄液を供給する洗浄液供給路４２ａを備え，被処理体を入れるバスケット２３を乾燥室Ｓ２内で回転させるバスケット回転機構９０を備え，乾燥室Ｓ２の内部には，加熱された洗浄液を送液する送液管４５を設けた。 （もっと読む）

【課題】 基板を回転させながら該基板を洗浄処理する際に、基板を汚染させることなく良好に洗浄処理することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 保持ピンの当接部１０２の高さ位置を第２高さ位置Ｐ２に位置決めして、保持ピンにより未処理基板Ｗの表面Ｗｆを下方に向けたフェースダウン姿勢で保持しながら、基板Ｗの裏面Ｗｂを上面洗浄ブラシ３１で基板Ｗを回転させながら洗浄処理する。続いて、保持ピンの当接部１０２の高さ位置を第３高さ位置Ｐ３に位置決めして、基板Ｗを第１高さ位置Ｐ１で支持ピン６により支持するとともに、遮断板５を処理位置ＰＬに位置決めして遮断板５の対向面５ａと基板Ｗとの間に形成される空間ＳＰに窒素ガスを供給することで基板Ｗを支持ピン６に押圧保持させる。このように基板Ｗを保持した状態で基板Ｗを回転させて基板Ｗの端面を端面洗浄ブラシ４１で洗浄処理する。 （もっと読む）