【課題】人手による清掃作業を頻繁に行わなくても、レンジフードの隅々まで十分に洗浄することができて、レンジフードの清掃作業の手間を大幅に削減することができるミスト洗浄装置付きレンジフードを提供する。
【解決手段】径が０．１〜５０μｍ程度のミストを発生させるミスト洗浄装置５を備え、このミスト洗浄装置５で発生されたミストがレンジフード３内に吐出されるように構成されている。この場合、ミスト洗浄装置５はミスト発生器８を有し、このミスト発生器８はレンジフード３内に配置された換気扇４に連動してミストを発生する。 （もっと読む）

【課題】小型軽量で取り扱いが容易であって効率的な洗浄作業を可能とする有効適切な蒸気洗浄機を提供する。
【解決手段】蒸気ボイラーユニット、燃料装置ユニット、制御ユニット、外装ユニットからなる。制御ユニットは、制御装置とバッテリー装置からなる。制御装置は、燃焼装置をオンオフ制御する蒸気圧力調整器と、蒸気圧が予め設定した最適蒸気使用圧以下に低下した際に警報を発する最適蒸気使用圧制御器とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板にダメージを与えることなく、イオン注入時にマスクとして用いられたレジストを良好に剥離（除去）することができる基板処理方法および基板処理装置を提供すること。
【解決手段】スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面にレジスト剥離液としてのＳＰＭを供給するためのＳＰＭノズル１２と、スピンチャック１１に保持されたウエハＷの表面に加熱された純水と加熱された窒素ガスとを混合して生成される液滴の噴流を供給するための二流体ノズル１３とが備えられている。二流体ノズル１３からウエハＷの表面に液滴の噴流が供給されることにより、レジストの表面の硬化層が破壊された後、ＳＰＭノズル１２からウエハＷの表面に高温のＳＰＭが供給されて、ウエハＷの表面からレジストが剥離される。 （もっと読む）

【課題】 網板にへばり付いた被洗浄食品を剥離させると共に、被洗浄食品を均一に分散させ、これにより浮遊ゴミを確実に除去させることができ、かつエアー噴出間からの気泡を均一に浴びせて洗浄効果を十分に向上させることができるようにした食品洗浄装置の提供。
【解決手段】 搬送洗浄路３の途中に移送方向に対して直交す方向に仕切板７が昇降可能に設けられ、この仕切板の下部に搬送洗浄路の水流を遮る遮断面部７１が形成され、上部に被洗浄食品Ａを受け止めながら浮遊ゴミ等を水流と共に通過させる網部７０が形成され、仕切板の手前側に気泡噴出空間７５を保持して網板７６が設けられ、この気泡噴出空間の下部に、気泡を網板に沿って上昇させるようにエアーを噴出させる剥離用エアー噴出管９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ハンガーロープ等に施された塗装をより効率的に、かつ斑なく剥離させる。
【解決手段】洗浄装置は、ロープ１に装着される装置本体１０を有し、この装置本体１０をロープ１に沿って移動させつつロープ１に対して洗浄液を吹き付けることによりロープ１を洗浄する。装置本体１０にはロープ１を囲むように複数の吹き付け装置２０が設けられている。各吹き付け装置２０は、ロープ１への対向面２２ａを有し、かつ高圧エアによりロープ１とほぼ直交する枢軸２１ａ回りに回転駆動されるロータリーヘッド２２を備えている。ヘッド２２の前記対向面２２ａには、ロープ１に洗浄液を吹き付ける複数の洗浄用ノズルが設けられており、ロープ１洗浄時には、ヘッド２２を回転させながら各洗浄用ノズルから洗浄液を噴射させる。 （もっと読む）

【要 約】
本発明は、平面状、薄型で破損しやすい基板のための連続方法での湿式化学処理（浄化、エッチング、ストリッピング、塗装、脱水）のための方法及び装置であって、基板運搬並びに湿式処理が媒体を吸収するローラによって行なわれる方法及び装置に関する。
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【課題】簡単な方法及び装置で、確実に延伸された金属線材の表面の酸化皮膜等を除去することができる金属線材のスケール除去方法と装置を提供。
【解決手段】水等の液体中にあらかじめ研掃剤を入れておき、その液体中に鋼線７等の金属線材を通過させるとともに、高圧の液体を液体中で鋼線７の表面に向けて噴射する。研掃剤は、粒径約１０μｍ〜約８００μｍのジルコン等の球状ジルコニアビーズである。研掃剤が分散した液体中を鋼線７が通過し、高圧の液体が鋼線７の表面に噴射されて、研掃剤により鋼線７表面のスケールが除去される。 （もっと読む）

【課題】 ポッドシェルの金属による汚れを除去できるポッドシェル洗浄装置及びポッドシェル洗浄方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るポッドシェル洗浄装置は、ポッドシェルを洗浄する洗浄槽４と、前記洗浄槽内に配置され、前記ポッドシェルをその開口部を下方に向けて保持するベース３６と、前記ベースを駆動ギア４５を介して回転させるモーター３４と、前記ベース上に配置され、該ベースに保持された前記ポッドシェルの内面に薬液及び純水を噴射するノズルと、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板に供給される処理液の流量を正確に制御できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置の制御部は、予め複数の洗浄処理部５ａ〜５ｄに対応する処理レシピに基づいて複数の洗浄処理部５ａ〜５ｄの動作手順および動作条件を決定するとともに昇圧ポンプＰ１の吐出量を決定する。制御部は、昇圧ポンプＰ１の吐出量をフィードフォワード制御するために、処理レシピに基づいて昇圧ポンプＰ１の吐出量を実際に昇圧ポンプＰ１を制御する前に決定する。例えば、制御部は、複数の洗浄処理部５ａ〜２ｄの処理レシピに設定された薬液処理のタイミングおよび薬液ノズルの吐出流量に基づいて予め昇圧ポンプＰ１の吐出量を決定する。 （もっと読む）

【課題】下面が平坦面でなく凹凸がある被搬送物を、滞留させることなく確実に水平搬送することのできる被搬送物の水平搬送方法および水平搬送装置を提供する。
【解決手段】下面１２ａに少なくとも１つの凸部を形成しかつ剛性のある被搬送物１２の前記下面１２ａを接触支持して摩擦力により被搬送物１２を水平搬送する搬送表面１０を持った回転駆動軸５を多数平行に配置する。水平搬送途中で被搬送物１２の下面の凸部がその前方の回転駆動軸５の搬送表面１０の回転上昇面１０ａに接して、それら凸部と搬送表面１０の回転上昇面１０ａとの間ですべり接触を生じて被搬送物１２の水平搬送が滞留したときに、回転する回転駆動軸５の搬送表面１０の周方向に設けた切欠部１１の係合作用により、同回転駆動軸５の回転途中で、被搬送物１２の下面の凸部１３Ｂを押し上げて前記すべり接触に係わる回転駆動軸５を乗り越えせしめ、被搬送物の水平搬送を再開せしめる。 （もっと読む）