【課題】サイズの異なるガラス材料製のハードディスクを効率よく洗浄できるようにしたガラスハードディスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】ローダーカセット（２）から送り出されたハードディスク（１）を第１ウォーターベアリング（６）で搬送する。第１検出間隙（８）を設けて第２ウォーターベアリング（７）を連接し、ハードディスク（１）をスクラブ洗浄部へ送る。このスクラブ洗浄部で、ハードディスク（１）はテーパー付のドライブローラ（１０）の傾斜面に当って回転される。スクラブ洗浄後のハードディスクは第３ウォーターベアリング（２４）及び第２検出間隙（２７）をあけて設けた第４ウォーターベアリング（２６）でアンローダーカセット（３１）に収納される。上記第１検出間隙（８）及び第２検出間隙（２７）には、ハードディスクを横方向から検出するセンサー（９）、（２９）がある。 （もっと読む）

【課題】処理部に対して、被処理基板を搬入・搬出する機構の安全性および効率性を改善し、機械振動等の影響を与えないようにすること。
【解決手段】レジスト塗布処理の終了後に、両搬送機構１２０Ａ，１２０Ｂがステージ８０近傍に設定された往動位置まで往動し、双方の搬送ブリッジ１２６Ａ，１２６Ｂが固定搬送路３２Ａ，３２Ｂの下からステージ８０側へ抜け出して搬送方向におけるステージ８０の中心位置で互いに先端を付き合わせるように左右両側からステージ８０上方に架かる。この往動位置で、両搬送ブリッジ１２６Ａ，１２６Ｂを介して搬入側の固定搬送路３２Ａと搬出側の固定搬送路３２Ｂとが連結され、第１の平流し搬送路３２が形成される。 （もっと読む）

【課題】 フレネルレンズシート用成形型の製造時に生じるバリを効率良く除去し、且つ、成形型を万遍なく洗浄できるようにするために解決せられるべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明は該課題を解決することを目的とする。
【解決手段】 この発明は上記目的を達成するために、フレネル刃列が同心円状に相対的に形成されるフレネルレンズシート用成形型４の洗浄装置であって、該洗浄装置は洗浄剤を吐出するノズル８を有し、該ノズル８を自動制御にて前記成形型４の同心円の接線に対する直角方向に保ち、さらに、該ノズルと該成形型との相対位置を、移動して該成形用型の全面を洗浄するように構成したフレネルレンズシート用成形型の洗浄装置および洗浄方法を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、住人や作業者等への悪影響がなく、水質汚染のおそれもないハウスクリーニングシステムを提供する。
【解決手段】本発明のハウスクリーニングシステムは、ハウスにおける家具類１の対象物にマイナスイオン洗浄水をスプレーする行程と、マイナスイオン洗浄水がスプレーされた対象物を所要時間放置する行程と、マイナスイオン洗浄水のスプレーにより対象物から浮き上がった汚れ成分を乾布類で拭き取る行程とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】被処理基板が大口径になっても高品質の処理ができる枚葉式基板処理装置を提供すること。
【解決手段】ウェーハＷを保持して回転する回転テーブル８と、回転テーブル８を回転させる回転駆動部１１と、底面の中心部１２_０に噴射ノズル１７_１〜１９_１を設けウェーハＷ表面を所定の隙間をあけて覆うフード部材１２と、フード部材１２を移動させる移動手段と、噴射ノズル１７_１〜１９_１に処理媒体を供給する処理媒体供給源２３〜２７とを備えた枚葉式基板処理装置１において、フード部材１２はウェーハＷ表面を覆った状態で、その外周縁部１２_１とこれに対向するウェーハＷ表面との隙間が、噴射ノズル１７_１〜１９_１が設けられた中央部１２_０とこれに対向するウェーハＷ表面との隙間より狭い形状を備え、噴射ノズル１７_１〜１９_１はフード部材１２の中央部１２_０に昇降自在な固定手段により固定しウェーハＷとの距離が調節できるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板上のパーティクルを効果的に除去することができ、しかも基板へのダメージを許容範囲とすることができる基板洗浄方法を提供すること。
【解決手段】基板の表面に液体と気体とからなる２流体スプレーを供給する工程（ステップ３）を含む基板洗浄方法であって、基板の表面に液体と気体とからなる２流体スプレーを供給する工程は、液体として純水とイソプロピルアルコールの混合液を用い、その混合液中のイソプロピルアルコールの濃度を１０〜６０体積％とし、パーティクルの除去率を８０％以上とする。 （もっと読む）

【課題】気泡の排出を行う際の気泡の除去性能を向上させ、気泡とともに排出されていた洗浄液を浪費することなく基板を洗浄することができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】被洗浄基板４４の上方に設けられ、箱状のヘッド本体内に超音波振動子１４、１４…が設けられるとともに、ヘッド本体の下部に洗浄液２０を吐出するための吐出口２２を有する基板上面洗浄用ヘッド１２と、被洗浄基板４４の下方に設けられ、箱状のヘッド本体内に超音波振動子４０、４０…が設けられるとともに、ヘッド本体の上部に洗浄液２０を吐出するための吐出口４２を有する基板下面洗浄用ヘッド３２と、基板上面洗浄用ヘッド１２に洗浄液２０を供給する洗浄液供給ライン１６と、基板上面洗浄用ヘッド１２に供給されて吐出口２２から吐出されなかった残りの洗浄液２０が基板下面洗浄用ヘッド３２に流れる連通ライン３４と、が備えられている。 （もっと読む）

【課題】洗濯工場で洗濯物の運搬に用いるランドリーカートの洗浄装置に関し、洗浄水を洗浄対象物に噴射して洗浄する構造で、１台又は複数台のカートを同時に洗浄することができ、形状や使用環境が異なるカートごとに汚れの付きやすい位置を重点的に、かつ全体を満遍なく短時間で洗浄することを可能にする。
【解決手段】洗浄しようとするカート６の周囲に設けた複数のスプレーノズル８から洗浄水を当該カートに向けて噴射するランドリーカート洗浄装置において、前記複数のスプレーノズルが装着されたスプレー枠５と、このスプレー枠を往復昇降する昇降装置１７と、この昇降装置による前記スプレー枠の昇降速度及び昇降範囲を前記往復昇降の一昇降ないし複数昇降毎に設定して前記昇降装置を制御する制御手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板の回転中に基板の外周面をも洗浄することのできる装置を提供する。
【解決手段】本体４３に取り付けられ、互いに独立して出力を生じうるエアシリンダ５１、５２と；本体４３に回転可能に取り付けられた回転軸４と；回転軸４を中心として回転可能に本体４３に取り付けられ、前記出力をそれぞれ回転力に変換するカム機構３６、３７と；回転軸４と平行な軸を中心として回転可能且つ中心軸５の回りに旋回可能に回転軸４に固定され、基板を水平に支持するとともに回転に伴って基板の側面を互いに挟み又は解放する回転柱１０、１１と；回転軸４と同心の回転中心を有し、カム機構３６、３７に従動して前記回転力を回転柱１０、１１の組にそれぞれ伝達しうる伝達部材２６、２７と；回転軸４に固定され、カム機構３６、３７の回転を回転軸４の回転に連係させるストッパー２３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく、薬液が部材に付着することに起因する基板の処理不良を十分に防止できる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】スピンチャック２１により保持される基板Ｗに薬液ノズル５０により薬液が供給され、基板Ｗの処理が行われる。このとき、基板Ｗに供給された薬液は周囲に飛散し、基板Ｗの周辺に位置する部材（処理カップ２３およびスプラッシュガード２４）に付着する。基板Ｗの処理時に、薬液と同じ成分の第１の洗浄液を、基板Ｗを介することなくガード洗浄用ノズル８１からスプラッシュガード２４の外壁面２４Ｗへと供給する。これにより、スプラッシュガード２４の外壁面２４Ｗや処理カップ２３の内壁面２３Ｉが清浄な第１の洗浄液により洗浄される。基板Ｗに供給された薬液およびスプラッシュガード２４の外壁面２４Ｗに供給された第１の洗浄液は再利用される。 （もっと読む）