【課題】本発明は、エアクリーナーやウォータークリーナーに使用されるものであって、それによって孔や隙間内の汚れや埃、異物を奥の方へ押さずに、反って反対方向の小孔（隙間）外に押出すことができるジェット及びそれを備えたジェットクリーナーを提供することをその目的とする。
【解決手段】大端開口と小端開口とを有する細管形で、洗浄用流体を大端開口から導入してから、軸方向に沿って小端開口を経由し噴出するものであって、前記小端開口は、その噴出直前の流れ方向の反対方向若しくは該反対方向に対して鋭角に傾斜する方向へ向かうようになっているジェットを提供する。 （もっと読む）

【課題】簡易かつコンパクトな構成で高い洗浄性能を発揮できる基板の洗浄装置を提供する。
【解決手段】テーブル上面１２Ａで被洗浄ワークＷを吸引保持しながら回転駆動されるワークテーブル１２と、ワークテーブルの下面に駆動軸１４Ｂの先端が固着されるとともに、駆動軸の先端より所定深さの吸引穴２０が形成され、吸引穴の内側面には駆動軸の外側面と連通する連通孔２２が形成されている駆動モータ１４と、ブロックの中央部分に駆動モータの駆動軸が嵌挿される上下方向の貫通孔１６Ａが形成されており、貫通孔の内側面にはブロックの外表面と連通する１６Ｃ排気孔が形成されている装置上面ブロック１６と、装置上面ブロックの排気孔に接続される減圧手段とを備える。吸引穴、連通孔、及び排気孔を介してワークテーブル上面と減圧手段とが連通することにより、ワークテーブルの上面に被洗浄ワークを吸引保持しながら回転駆動可能となっている。 （もっと読む）

【課題】処理される基材を劣化させることがなく、安価で、引火性がなく、優れた洗浄力及びレジスト除去能力を有する洗浄剤組成物など提供する。
【解決手段】洗浄剤組成物の総質量を基準として、（ａ）乳酸エチルを７０質量％以上、及び、（ｂ）化合物中のハロゲン含有分が６０質量％以上であるフッ素含有化合物を３０質量％以下の量で含み、引火点を示さない、洗浄剤組成物。 （もっと読む）

【課題】作業者の健康被害や環境汚染が生じる虞れなく、書籍清浄作業の時間を短縮し得ると共に書籍清浄作業の際に必要とされる人員を削減し得る書籍清浄装置を提供する。
【解決手段】書籍40を載置して運搬可能な台車部１と、台車部１が出し入れ自在な洗浄ケーシング２と、書籍40を載置した台車部１が洗浄ケーシング２に収納された状態にて書籍40を清浄にする清浄手段３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】簡易かつコンパクトな構成で高い洗浄性能を発揮できる基板の洗浄装置を提供する。
【解決手段】テーブル上面１２Ａで被洗浄ワークＷを吸引保持しながら回転駆動されるワークテーブル１２と、円筒状の駆動軸１４Ｂがモータ本体１４Ａを貫通して設けられるとともに、ワークテーブルの下面に駆動軸の一端が固着されている駆動モータ１４と、駆動軸の他端が内部の密閉空間１８Ａに配されるとともに、密閉空間と外部とを連通させる排気孔１８Ｃが形成されている密閉容器１８と、密閉容器の排気孔に接続される減圧手段とを備える。駆動軸、密閉空間、及び排気孔を介してワークテーブル上面と減圧手段とが連通することにより、ワークテーブルの上面に被洗浄ワークを吸引保持しながら回転駆動可能となっている。 （もっと読む）

【課題】 ハウジングの旋回部分に１つ又は複数のノズル開口部が付加的に具備されており、前記ノズルは旋回作動中に、洗浄のための洗浄液を供給パイプに対して上方へ噴射するアセンブリを提供する。
【解決手段】 洗浄液供給パイプ（３）に設置されたノズル（６）を有するクリーニングヘッド（４、５）によりタンク（１１）の完全な洗浄を達成するために、本願発明によるクリーニングヘッド（４）には１つ又は複数のノズル開口部が設けられ、このノズル（７）によって供給パイプ／サスペンション（３）に向けて洗浄液が噴射される。これにより、クリーニング装置（３、１０）の固定部分は、クリーニングヘッド（４）が旋回（４ａ）している間、ノズル（７）により効果的な洗浄が実施さえることを保証する。 （もっと読む）

【課題】配線の抵抗のバラツキを少なくすることによって、電子デバイスの品質を安定させ、ランニングコストが安価な基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板８を保持して回転させる基板保持部４と、基板８に対して洗浄液等を吐出させる吐出ノズル３とを備えたチャンバー２と、洗浄液が収容される供給タンク２３と、供給タンク２３から吐出ノズル３へ洗浄液を供給するための配管３５及び圧送機構のポンプ２０と、チャンバー２で基板８の洗浄処理が行われた後の洗浄液を供給タンク２３へ戻す戻り配管３７と、供給タンク２３へアンモニアを供給させるアンモニア供給源１９とを備え、チャンバー２において基板８を洗浄処理する毎に、アンモニア供給源１９から供給タンク２３へアンモニアを供給する。 （もっと読む）

【課題】蒸気洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率を正確に、且つ、簡単に測定できる洗浄用蒸気の導電率の測定方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る洗浄用蒸気の導電率の測定方法は、被洗浄物を蒸気洗浄するための洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気の導電率の測定方法であって、洗浄装置の吐出先端部に、洗浄用蒸気を収容する収容具を取り付けるステップ（ＳＴ３０１）と、洗浄装置の吐出先端部から吐出される洗浄用蒸気を収容具に収容するステップ（ＳＴ３０３）と、収容具に収容された洗浄用蒸気を冷却して液化するステップ（ＳＴ３０４）と、洗浄用蒸気の凝縮液の導電率を測定するステップ（ＳＴ３０６）とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ベアリング部を常に望ましい衛生状態にすると共に、洗浄液の消費量を低減することができるクリーニングヘッドを提供する。
【解決手段】クリーニングヘッドの洗浄のための洗浄液の供給量を調整するため、本発明におけるハブ（４）は、ＡＩＳＩ３１６Ｌ及びNitronic60のような摩耗しない金属からなるベアリング、好ましくはベアリング部（１５、２０）の材料が互いに異なる、によりハウジング（３）内に取り付けられている。それにより、液体はベアリングギャップ（１４）を通過することができ、ハブ（１４）を洗浄する液体の消費量と、表面に固定された強固な液体層の形成とを正確に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で薬液の変質を防止できるとともに、該薬液の交換及び補充にかかる手間の増加を防止できる薬液用容器及び薬液用容器を備えた薬液吐出装置を提供する。
【解決手段】薬液吐出ユニット１５は薬液用容器３２と着色ノズルと加圧気体供給源３３を備えている。薬液用容器３２は内側容器５６と外側容器５７と加圧流体供給管５８と薬液排出管５９を備えている。内側容器５６は変形自在なフィルム状のシートによって袋状に形成されて着色材を封入している。外側容器５７は内側容器５６を封入している。加圧流体供給管５８は外側容器５７の底面を貫通してその先端が該外側容器と内側容器５６との間の空間に位置している。薬液排出管５９は容器５６，５７の底面を貫通してその先端が該内側容器５６内に位置している。加圧気体供給源３３が加圧流体供給管５８を介して加圧された気体を供給する。薬液用容器３２は着色ノズルに着色材を供給する。 （もっと読む）