【課題】蒸気洗浄装置により被洗浄物を蒸気洗浄する際の設定条件を簡単且つ適切に設定できる蒸気洗浄条件の設定方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る蒸気洗浄条件の設定方法は、基板を準備し、蒸気洗浄装置から吐き出される洗浄用蒸気が吹きかかるように、基板を配置し（ＳＴ２０１）、測定用基板を準備し、蒸気洗浄装置から吐き出される洗浄用蒸気が吹きかからないように、基板から離間して、測定用基板を配置し（ＳＴ２０２）、基板および測定用基板の間を電気的に接続し（ＳＴ２０３）、蒸気洗浄装置により基板に洗浄用蒸気を吹きかけ（ＳＴ２０４）、測定用基板の表面電位を測定する（ＳＴ２０５）。そして、測定用基板の表面電位の測定値に基づいて、例えば洗浄用蒸気の吐出口に取り付けられるノズルの開口径や貫通穴長など、基板を蒸気洗浄する際の設定条件を設定する（ＳＴ２０６）。 （もっと読む）

【課題】基板の中央部に異物がたまりにくく、基板表面全面を効率よく洗浄し、洗浄残りの発生を防止し高品質な洗浄を行うことが可能なスピン洗浄装置及びスピン洗浄方法の提供を目的とする。
【解決手段】矩形のフォトマスク基板８を洗浄するスピン洗浄装置１は、フォトマスク基板８を回転させる回転板３と、フォトマスク基板８の表面に処理液を吹き付ける処理液噴出手段とを具備し、処理液噴出手段５が、フォトマスク基板８の中央部に処理液をスポット状に吹き付けるスポット用噴出孔５１１と、フォトマスク基板８の中央部より外周側に処理液をライン状に吹き付ける複数のライン用噴出孔５２１，５３１を有する構成としてある。 （もっと読む）

【課題】大型基板に対して高品質な洗浄を行うとともに、生産効率を向上させることが可能な洗浄装置及び洗浄方法の提供。
【解決手段】洗浄装置１は、第一洗浄槽２，第二洗浄槽３，第一投入回収手段４，第二投入回収手段５，連結用搬送部６及び制御部７とからなっており、左から右に向かって、第一投入回収手段４，第一洗浄槽２，連結用搬送部６，第二洗浄槽３及び第二投入回収手段５が直線的に並設された構成とする。 （もっと読む）

【課題】 枚葉式の回転式基板処理装置において、使用した薬液の回収率を高める。装置価格を引き下げる。振動を抑える。薬液と廃液の雰囲気分離を行う。
【解決手段】 基板１を水平に支持して回転させる回転機構１０の周囲に、基板１から飛散する液体を受けるカップ２０を設ける。カップ２０に、筒状で昇降式の上段液体ガイド３０及び下段液体ガイド４０を組み合わせる。上段液体ガイド３０は、下方の待機位置で下段液体ガイド４０に重なって、両ガイド間に形成される液体導入口を閉じ、待機位置から上方への回収位置へ移動して、基板１から飛散する第１の液体をカップ２０の外へ導く。下段液体ガイド４０は、待機位置から上方への回収位置へ移動して、基板１から飛散する第２の液体をカップ２０内へ導く。 （もっと読む）

【課題】基板の温度を適切に調節可能で、十分な乾燥が可能な信頼性の高い基板表面処理装置および基板表面処理方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗの酸化膜をフッ酸蒸気によりエッチング処理する際には、基板Ｗの温度を適切に調節することが重要である。基板Ｗの表面にフッ酸蒸気が供給されている間、以下のようにして基板Ｗの温度を適切に調節する。裏面流体供給管２６内にバルブ４０ｄを介して温水を供給することにより、流体傘ノズル２７の複数の流体噴出口から当該温水をスピンチャック２１に保持された基板Ｗの裏面に向けて供給する。基板Ｗの裏面が疎水性である場合には、基板Ｗの裏面と流体傘ノズル２７との間に、供給された温水からなる温水層ＨＬを生成する。エッチング処理後、リンス処理を行い、その後、スピンチャック２１の高速回転による基板Ｗの乾燥処理を行う。 （もっと読む）

【課題】基板サイズ情報を自動的に入力することによって、基板サイズ情報の手入力ミスを防止するとともに、生産性を向上させることができる洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】異なる複数のサイズのフォトマスク基板８に所望の洗浄処理を施すために、基板サイズに応じて可変する可変部位（三方弁２９３など）と、フォトマスク基板８とともに投入される基板保持部材８１に付された基板サイズ情報を読み取るバーコードリーダー１０１と、バーコードリーダー１０１により読み取られた基板サイズ情報にもとづき、可変部位を可変させる制御部７とを備えた構成としてある。 （もっと読む）

【課題】軟Ｘ線照射のような特別な装置を使用せずに静電気除去を行うことができる基板
の洗浄方法及び電気光学装置の製造方法を提供することである。
【解決手段】素子パターンが形成された基板１０に対して洗浄液供給用ノズル２０をスキ
ャンさせて洗浄を行う基板の洗浄方法において、先ず、前記基板１０の素子パターン形成
部１０Ａ以外のエリア１０Ｂから洗浄液Ｌの吐出を開始し、その後、前記洗浄液供給用ノ
ズル２０を素子パターン形成部１０Ａに移動させて洗浄を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
基板洗浄において、薬液、エキシマＵＶ、ＡＰプラズマ、超音波、ブラッシング、高圧水などの技術や装置を用いないで、界面活性剤と過熱蒸気などを組み合わせ、クリーンで装置ラインが短縮化された非接触の洗浄技術を提供する。
【解決手段】
本発明の洗浄方式は、基板上に界面活性剤水をシャワーノズルで散水し、次に蒸気ノズルから過熱蒸気を噴射させ、界面活性剤水の高温化と水蒸気の爆縮現象で有機物などを除去し、さらに水蒸気直下の基板上に微噴霧水を噴射して水蒸気化爆発現象でパーティクルを除去し、洗浄物を洗浄ノズルで排出搬送させ、噴霧水で基板前面を覆うことでウォーターマークを防止し、エアーノズルで乾燥させる機能を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗剤液の洗浄効果が低下せず、且つ、水道の蛇口が近場になく、ホースが届かない場所でも自動車や犬などのペット、或いは、窓カラスなどを温水で容易に洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１０は、所定量の洗浄用水と洗剤液をそれぞれ収納可能な複数の容器１２と、当該各容器１２内に所定の圧力を印加する加圧手段７０と、洗浄用水及び洗剤液を放出する放出部３０と、各容器１２内と放出部３０とをそれぞれ連通する複数の通水経路（ホース２０）と、放出部３０からの洗浄用水及び洗剤液の放出を制御する操作レバー４１と、洗浄用補助具４４を着脱可能に装着可能な装着孔部３８とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、エアクリーナーやウォータークリーナーに使用されるものであって、それによって孔や隙間内の汚れや埃、異物を奥の方へ押さずに、反って反対方向の小孔（隙間）外に押出すことができるジェット及びそれを備えたジェットクリーナーを提供することをその目的とする。
【解決手段】大端開口と小端開口とを有する細管形で、洗浄用流体を大端開口から導入してから、軸方向に沿って小端開口を経由し噴出するものであって、前記小端開口は、その噴出直前の流れ方向の反対方向若しくは該反対方向に対して鋭角に傾斜する方向へ向かうようになっているジェットを提供する。 （もっと読む）