【課題】回転ロールを洗浄するための洗浄液の使用量を低減する。
【解決手段】回転ロール９０に，保持ブロック１１０を取り付け，保持ブロック１１０の内部には，回転ロール９０の外周面の円周に環状に接触するシールリング１１１を設ける。保持ブロック１１０は，移動機構１２０により回転ロール９０の軸方向に移動自在にする。回転ロール９０の汚れを除去する際には，保持ブロック１１０が回転ロール９０の一端部側から他端部側に移動する。これにより，シールリング１１１が回転ロール９０の表面の汚れを掻き取って除去する。回転ロール９０の他端部側に移動されたシールリング１１１は，ノズルからの洗浄液により洗浄される。 （もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハに設けられたレジストを効率よく確実に除去することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】半導体ウエハが載置される回転テーブルと、回転テーブルの上方に配置され硫酸を加圧気体で加圧して霧状にして噴射する第１の二流体ノズル５１と、回転テーブルの上方に配置され過酸化水素水を加圧気体で加圧して霧状にして噴射する第２の二流体ノズル５２を具備し、
第１の二流体ノズルから噴射された霧状の硫酸と、上記第２の二流体ノズルから噴射された霧状の過酸化水素水を基板に到達する前に混合させて上記基板に供給する。 （もっと読む）

【課題】基板を一時停止させて現像液供給を行う平流し方式の現像処理において搬送路上で基板の追突事故を起こさずに時間的なプロセス条件を所望の値に設定すること。
【解決手段】この現像処理装置は、タクトタイム（Ｔ_t）と最大停止時間（Ｔ_S）と基板サイズ（Ｄ）と所望の最小基板間隔（ｄ）とに基づいて基板の下限移動速度（Ｖ_low）を求める下限移動速度演算手段と、現像時間（Ｔ_g）について所望の設定値を与える現像時間設定手段と、現像液供給時間（Ｔ_s）について所望の設定値を与える現像液供給時間設定手段と、現像時間設定値（Ｔ_g）と現像液供給時間設定値（Ｔ_a）と移動距離（Ｌ）とに基づいて第１の速度の仮設定値（Ｖ_D）を求める速度仮設定値演算手段と、第１の速度の仮設定値を下限移動速度（Ｖ_low）と比較し、下限移動速度（Ｖ_low）以上の場合に正規の設定値とする速度設定値決定手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】露光装置において基板に付着した液体による動作不良および処理不良が防止された基板処理装置を提供することである。
【解決手段】基板処理装置５００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、現像処理ブロック１２、レジストカバー膜用処理ブロック１３、レジストカバー膜除去ブロック１４およびインターフェースブロック１５を備える。インターフェースブロック１５に隣接するように露光装置１６が配置される。インターフェースブロック１５は、基板入替部１５０を含む。基板入替部１５０には、３個の洗浄／乾燥処理ユニットが積層配置される。洗浄／乾燥処理ユニットにおいては、露光処理後の基板の洗浄および乾燥処理が行われる。 （もっと読む）

【課題】表面酸化処理を施した溶融亜鉛めっき鋼板の表面に付着した酸性溶液を効率良くかつ十分に洗い流すことが可能な洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を溶融亜鉛めっき鋼板に接触させて、１秒以上経過した後に純水を溶融亜鉛めっき鋼板に接触させる。 （もっと読む）

【課題】蒸気によって被処理体を処理する処理室の壁部の温度上昇を抑制できる処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置は、被処理体１０を収容可能な処理室１と、処理室１内に設けられ、被処理体１０に蒸気を吐出するノズル５と、処理室１を覆う壁部２と、壁部２の内部に設けられた流体通路６５ａ〜６５ｃと、流体通路６５ａ〜６５ｃに連通して設けられた流体入口６０と、流体通路６５ａ〜６５ｃに連通して設けられ、流体入口６０から流入して流体通路６５ａ〜６５ｃを通った流体が流出する流体出口６１と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、安価に製造することができ、大きなワークであってもその隅々までも確実に洗浄するワーク洗浄装置を提供する。
【解決手段】工作機械のワーク洗浄装置１は、テーブルとワーク段取台とにワークを選択的に位置させるパレット交換手段を備えた工作機械を囲む筐体１２の上部に取付部材１４が設けられ、取付部材１４に基端部を水平旋回可能に支持され、先端側を前記ワーク段取台の上方を越えて該ワーク段取台の外周側の位置に移動、固定可能とした支持アーム１５と、支持アーム１５の先端部に鉛直状に支持された透明カバー１７と、ホース１９によって洗浄流体供給源に接続されており、作業者が手動で操作する洗浄流体吐出ノズル１８とを備え、透明カバー１７には把手１７ｂと円弧状の凹部１７ｃが設けられた構成とされている。 （もっと読む）

【課題】 光漏れによる欠陥を十分抑制することが可能なカラーフィルタ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 カラーフィルタの製造方法は、露光工程と、現像工程と、各噴射ノズル８ｂから透明基板１００に対して透明基板１００上におけるスプレーパターン８ｅが紡錘形となるように洗浄液を噴射する洗浄工程とを備える。洗浄工程では、洗浄液を各噴射ノズル８ｂから５〜３５ＭＰａの圧力で噴射させ、透明基板１００の進行方向と各スプレーパターン８ｅの長手方向とが成す角度θが４５°≦θ≦８５°の関係を満たし、透明基板１００におけるスプレーパターンの長手方向の長さをＡとしたときに、隣り合う２つの噴射ノズル８ｂにおける透明基板１００の進行方向から見たときの各スプレーパターン８ｅ同士の重なる幅Ｘが（１／４）Ａｓｉｎθ≦Ｘ≦（３／５）Ａｓｉｎθの関係を満たすように設定されている。 （もっと読む）

【課題】高層ビルで自動窓拭き機と管理端末と自動窓拭き機格納ステーションを設置し、汚れ検知センサーを全窓取り付けることにより自動的に汚れを検知し汚れた窓を清掃する。更に、自動窓拭き機の清掃用具は格納ステーションの予備格納部へセットしておくと清掃用具寿命検出で自動的に交換を行う。
【解決手段】本発明の窓拭き自動システムは、日数管理を行う管理端末と、窓の汚れ検知を行い管理端末に通知する汚れ検知センサーと、所定の日数経過時又は汚れ検知時に管理端末から受けた命令に基づいて窓の清掃を自動実行する自動窓拭き機と、自動窓拭き機を格納する格納ステーションとを具備する。更に、格納ステーションは、自動窓拭き機の清掃用具の予備が格納されている予備格納部と、自動窓拭き機の使用済みの清掃用具と予備の清掃用具とを交換する清掃用具交換部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】噴射ノズル内部のキャビテーションによる壊食を低減させ、ノズルの耐久性を簡便に向上させる。
【解決手段】キャビテーション水噴射ノズルの基本構成として、径縮小部１１、スロート流路部１２、ホーン部１３および保護水供給機構１４を備えている。そして、保護水供給機構１４は、スロート流路部１２にその内壁を周回し連通する隙間部１４ａ、該隙間部１４ａの外周に沿い連通した環状の空洞部１４ｂ、および保護水供給孔１４ｃを有している。ここで、隙間部１４ａは、例えば、径縮小部１１からスロート流路部１２への入口領域で該スロート流路部１２に連通する。そして、高圧水１５を高速水１６にし、スロート流路部１２の内壁を上記高速水１６から遮蔽し前記内壁に沿って流れる流路壁保護水１８を生成する。 （もっと読む）