【課題】より完全に洗浄液と油分とを分離させることができる油水分離回収機を提供する。
【解決手段】油分が付着したワークＷを洗浄室４０にセットして洗浄液を噴射することにより該ワークから油分を離脱させる洗浄装置において、洗浄室から排出された洗浄液を貯留するタンク１０を設け、該タンク内の洗浄液中に吸液管１０２を垂下させるとともに該洗浄液中に浮遊するフロート１０５を設けることにより該吸液管の吸液口が洗浄液面に従い上下動するようにし、該吸液管の上端部にエゼクタポンプ１０７を設け、該エゼクタポンプのスロート部１０８に空圧源から圧縮空気を供給し該吸液管内を負圧にすることによりタンク内の上層部分の液体が吸引されるようにし、該液体を該エゼクタポンプにより圧縮空気と混合させることにより霧状にしてサイクロン分離器１１０に導くことにより、サイクロン分離器の内面に洗浄液中の油分を付着させ回収する。 （もっと読む）

【課題】ワークの下面をスプレー洗浄する際のワークの浮き上がりを防止することができる洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄方法は、ワーク10の上側及び下側にそれぞれ配置された上スプレーノズル２及び下スプレーノズル４から上洗浄液３及び下洗浄液５をそれぞれ噴射した状態で、ワーク10を上下両ノズル2,4に対して相対的に水平方向に移動させることにより、ワーク10の上面10a及び外周面10bのうち少なくとも上面10aを上洗浄液３で洗浄するとともに、ワーク10の下面10cを下洗浄液５で洗浄する洗浄工程を含む。洗浄工程では、上ノズル２及び下ノズル４からそれぞれ上洗浄液３及び下洗浄液５を、下洗浄液５がワーク10の下面10cに当たるときは上洗浄液３が必ずワーク10の上面10a及び外周面10cからなる領域の少なくとも一部に当たるように噴射する。 （もっと読む）

【課題】洗浄能力が高く、噴射ノズル数の増加に伴う洗浄水流量の確保が容易であり、装置の構造を簡略化して小型・軽量化を図れ、洗浄時に装置の振動が生じにくく、均一で効率的な洗浄ができる回転型高圧水噴射式洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧水を洗浄対象物に対し一本の直線状に噴射させて洗浄する複数の高圧水噴射ノズル２１を備え、複数の噴射ノズルを円周方向に沿って等間隔にかつ長手方向に沿って複数列設けたノズルホルダー２と、このノズルホルダーと一体回転可能に接続され各噴射ノズル２１の高圧水供給路４１に連通可能な複数の高圧水導入路４５を円周方向に等間隔にかつ長手方向に沿って設けた回転型分配弁４と、ノズルホルダー２および回転型分配弁４の一方向連続回転手段７とを備え、回転型分配弁４から高圧水を複数の高圧水導入路４５に順次・間欠的に供給し、ノズルホルダ２ーの複数の噴射ノズル２１から高圧水を順番にかつ間欠的に噴射させる。 （もっと読む）

【課題】医療用器材等の洗浄対象物に付着した錆やスケールを確実に除去することができるとともに、洗浄対象物の腐食が生じないようにし、かつ作業者の危険性を減らすことができる洗浄方法および洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄対象物に、酸性洗浄剤により洗浄を施し、酸性洗浄剤による洗浄終了後に、洗浄対象物に、アルカリ性洗浄剤により洗浄を施し、アルカリ性洗浄剤による洗浄終了後に、アルカリ性洗浄剤を水または温水ですすぐことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】フットプリントを小さくすることができ、排気と排液との分離機構を特別に設ける必要のない液処理装置を提供すること。
【解決手段】排気・排液部６は、主にウエハＷから振り切られた処理液を取り入れて排液する環状をなす排液カップ４１と、排液カップ４１の外側を囲繞するように設けられ、回転カップ３およびその周囲からの主に気体成分を取り入れて排気する排気カップ４２とを有し、回転カップ３は環状の庇部材３２を含み、排液カップ４１は、庇部材３２の下側で回転カップ３に形成された排出孔３３，３４を通してウエハＷから振り切られた処理液を取り入れて排液口４３から排液し、排気カップ４２は、庇部材３２の上側で排気カップ４２に形成された導入口４２ｂを通して回転カップ３の周囲からの気体成分を取り入れて排気口４５から排気し、排液カップ４１からの排液と排気カップ４２からの排気が独立して行われる。 （もっと読む）

【課題】メタルマスク版の表面にはみ出した半田等の付着物の拭き取りに使用した拭き取りシートから付着物を除去して、拭き取りシートを何度も再利用できるようにした付着物除去装置を提供する。
【解決手段】拭き取りシートＳに染み込んだ液媒体及び振動ユニット４０により剥離された後で拭き取りシートＳ表面に再付着した付着物を吸引除去する吸引除去ユニット５０を備える。吸引除去ユニット５０は、拭き取りシートＳが巻き掛けられる面に吸引孔５１ａが形成された筒状の吸引ノズル５１と、吸引ノズル５１内の空気を吸引する吸引ポンプ５２とを有する。吸引ノズル５１には、吸引ポンプ５２が接続される一方、開口部には蓋部材が着脱自在に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の向上を図ることができる高圧洗浄機を提供する。
【解決手段】高圧洗浄機１０は、洗浄機本体１４がパイプフレーム１５で囲われ、パイプフレームで洗浄機本体を支えるように構成されている。パイプフレームは、洗浄機本体を横置き姿勢に支持可能な横置ベース部４２と、横置ベース部を載置させた状態において洗浄機本体の重心位置６７の上方に設けられた横置取手部５３と、洗浄機本体を縦置き姿勢に支持可能な縦置ベース部４６と、縦置ベース部を載置させた状態において洗浄機本体の重心位置の上方に設けられた縦置取手部６３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】酸洗槽周辺設備の腐食及び酸洗槽付近での作業の困難性を軽減することが可能な酸洗設備を提供する。
【解決手段】鋼帯を酸性薬液によって酸洗する酸洗設備１であって、酸性薬液を貯留し、例えばポリプロピレンによって形成された耐酸性樹脂製の酸洗槽１０と、この酸洗槽１０の内部に配設されて洗浄液を放出する洗浄ノズル３０と、酸洗槽１０を貫通して酸洗槽１０の外部から洗浄ノズル３０に洗浄液を供給する配管３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】使い勝手の向上を図ることができる高圧洗浄機を提供する。
【解決手段】高圧洗浄機１０は、洗浄機本体１４をケース開口部７８から内部に収納して運搬、保管可能で、かつ、洗浄作業用の水９７を貯水可能なケース本体７１と、ケース本体の底部８４に設けられた一対の車輪９９と、一対の車輪の上方で、かつ、ケース本体の上部８５に設けられ、ケース本体を運搬可能な運搬用ハンドル１１２とを備えている。この高圧洗浄機は、ケース開口部がケース本体の上端部８５ａに形成され、ケース本体を運搬用ハンドルで牽引して運搬姿勢に傾斜させた状態においてケース開口部の開口縁部７８ａが略水平に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 外装体と洗浄治具本体の間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減し、洗浄での歩留まりを向上させることができる洗浄治具を提供する。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、洗浄治具を搬送するための搬送手段と、洗浄ノズル手段の内部流路と接続する複数の洗浄ノズル部と、洗浄ノズル手段が接続された噴出手段と、純水が蓄えられている純水槽と、純水槽から前記噴出手段へ純水を送る高圧ポンプ手段と、を備え、洗浄ノズル手段が円筒形の洗浄ノズル部とこの洗浄ノズル部とつながる内部流路とを備え、洗浄ノズル部が、前記搬送手段と平行となる平行線に対して、３０度〜６０度の角度で傾斜して円筒形の洗浄ノズル部の円筒の中心線が設けられていることを特徴とすることを特徴とするものである。 （もっと読む）