【課題】 溶接トーチに付着したスパッタを短時間で除去することができるスパッタ除去装置を提供する。
【解決手段】 押しボタン２１が押圧されることにより給気バルブ２５，３４を開作動させる起動機構２０と、給気バルブ２５から圧縮空気が供給されることによりピストン４２が進退動してハンマー４８が繰り返し打撃され、該ハンマーに当接させた溶接トーチ１を激しく振動させ該溶接トーチの内面に付着したスパッタをその振動により離脱させる振動発生機構４０と、給気バルブ３４から溶接トーチに圧縮空気が供給されることにより溶接トーチ内のスパッタを排出させる圧縮空気供給管路７とからなる。 （もっと読む）

【課題】薄膜の表面に付着された塵埃を簡単な構成で確実に剥離して除去できる薄膜表面の塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】薄膜の走行を案内する複数のローラと、走行途中の薄膜の表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去部を備えた薄膜表面の塵埃除去装置において、前記塵埃除去部は前記ローラの間を走行する薄膜を伸縮させる伸縮付与手段と、伸縮によって薄膜から剥離した塵埃を捕捉する捕捉手段を備え、伸縮付与手段は、薄膜の走行を案内する一部のローラを振動させて薄膜を伸縮させる振動子を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】メタルマスク版の表面にはみ出した半田等の付着物の拭き取りに使用した拭き取りシートから付着物を除去して、拭き取りシートを何度も再利用できるようにした付着物除去装置を提供する。
【解決手段】拭き取りシートＳに染み込んだ液媒体及び振動ユニット４０により剥離された後で拭き取りシートＳ表面に再付着した付着物を吸引除去する吸引除去ユニット５０を備える。吸引除去ユニット５０は、拭き取りシートＳが巻き掛けられる面に吸引孔５１ａが形成された筒状の吸引ノズル５１と、吸引ノズル５１内の空気を吸引する吸引ポンプ５２とを有する。吸引ノズル５１には、吸引ポンプ５２が接続される一方、開口部には蓋部材が着脱自在に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】露天に設置された鏡面の清掃に際し、人手を要さず、鏡面状態を劣化させずに自動で鏡面の清掃が行える鏡面清掃装置を提供する。
【解決手段】鏡面の表面を移動しながら清掃する移動清掃部を有し、移動清掃部が、鏡面の形成された基材の側面又は基材の周辺に配置されたガイド部材に案内されて移動するよう構成されている鏡面清掃装置とする。 （もっと読む）

【課題】廃棄電気製品から塵埃等の除去を確実に行い得る電気製品の清浄化装置を提供する。
【解決手段】電気製品の清浄化装置は、（ａ）電気製品６０Ａを清浄化するために電気製品を収納する清浄化室２０、（ｂ）電気製品６０Ａに振動を与える振動装置３０、（ｃ）電気製品６０Ａに高圧流体を吹き付ける高圧流体吹付け装置４０、及び、（ｄ）電気製品６０Ａの清浄化のために用いられた高圧流体を清浄化するための高圧流体清浄装置５０を備えている。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を用いたドライ洗浄による洗浄効率を向上させ、洗浄むらの発生を抑制する。
【解決手段】マスク部材１を位置調整手段２１により位置調整可能な昇降部材１１に装着して、マスク板２に対してレーザ光照射手段１５におけるレーザ発振器１３からのレーザ光をスキャニング光学系１５によって、マスク板２の主走査方向に微小移動させながらレーザ光のパルスを照射し、１ライン分の走査が終了すると、副走査方向に１ピッチ分ずらせて走査を継続するようになし、マスク板２の全面にレーザ光のスポットを照射することによりドライ洗浄を行うに当って、ドライ洗浄開始前に撮像手段２０によりマスク部材１のアラインメントマークＭを基準として、レーザ光の微小スポットＳがマスク板２の格子部４ｂに照射されるように位置調整する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の洗浄に有利な露光装置の提供。
【解決手段】光源２０と、複数の光学素子１５ａ、１５ｂを収容する真空容器３４、３５とを有する露光装置は、複数の光学素子のうち予め決められた値未満の照度で光が照射されている光学素子に酸素ガスＡ２を供給する酸素ガス供給手段と、記複数の光学素子のうち前記値以上の照度で光が照射されている光学素子に水蒸気Ａ１を供給する水蒸気供給手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】処理対象に電子ビームを照射することによって、処理対象の洗浄や研磨、処理対象からの付着物の除去等を行う電子ビーム照射装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射装置１は、負電圧を周期的に発生させる電圧生成器６と、電圧生成器６に接続され、表面が接地された処理対象２に対してインパルスである電子ビーム３を照射するカソード１と、カソード１と処理対象２とを収容可能であり、内部雰囲気を真空に保持可能である真空チャンバ５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 全長が１８００ｍｍ以上ある大型のエキシマランプ４０を光源に備えていても、中間部と端部とで一定の水準の処理効果を保つことができるランプユニット２０を提供すること。
【解決手段】 放電容器４１における上壁面４２と下壁面４３との外表面に電極４６、４７が設けられると共に放電容器内にキセノンガスが封入されてなり、当該放電容器内にエキシマ放電を発生させるエキシマランプ４０と、
エキシマランプ４０の両端をランプ保持体２６によって支持して筐体２１内にエキシマランプ４０を配置したランプユニットにおいて、
前記エキシマランプ４０の長手方向の中間部下方に中間支持体５０を配置し、エキシマランプ４０を下側から支持したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ基板の製造工程で発生した品質基準を満足しないガラス基板、あるいはスパッタリング装置のダミー基板の再生プロセスにおいて、透明電極処理に酸処理を用いずに、カラーフィルタを効率的に再生処理するガラス基板の再生装置及びこれを用いた再生方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に着色画素層と透明電極層とが設けられたカラーフィルタ基板から着色画素層と透明電極層とを除去してガラス基板を再生する装置であって、前記着色画素層が硬化した感光性着色樹脂から構成されており、前記透明電極層が導電性金属酸化物薄膜から構成されており、しかも、これら着色画素層と透明電極層とが互いに積層されているカラーフィルタ基板の再生装置において、前記透明電極層を除去する電気分解手段であって、基板に電極を接触させることのない電気分解手段と前記着色画素層を剥離するアルカリ液処理手段と、を具備している。 （もっと読む）