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国際特許分類[B24B27/06]の内容

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【課題】切削速度に優れたソーワイヤーを提供する。
【解決手段】互いに逆向きに突出する一対の頂部2,3からなる波形のくせが単一の平面上に連続するように、2次元にくせ付けられたソーワイヤー1によって上記課題が解決される。 (もっと読む)


【課題】ダイヤモンドワイヤが硬脆材料をカットする効果を更に向上させ、且つダイヤモンドワイヤの使用寿命も更に延長することができるカット冷却装置を提供する。
【解決手段】連続する面又は複数の面に囲繞されて形成され一時的に冷却液を滞留し蓄えることができる閉塞空間である液槽4を設け、且つ液槽4を囲繞形成する面又は各面の間が連続した閉状態又は半開放状態を呈し、且つ硬脆材料に対してカットするダイヤモンドワイヤ1のカット部位が、前記液槽4を通過し随時前記冷却液中に浸漬するとともに、前記液槽4の下に分離収集器5を設ける。 (もっと読む)


【課題】接着剤を用いることなくても複数段のブロック状ワークの摺動状態又は保持状態が安定し、切断精度が向上するワーク切断装置及びワーク切断方法を提供する。
【解決手段】ワーク切断装置は、複数のワイヤを有するワーク切断部と、位置決め用基準面を有する位置決め用基準板と、位置決め用基準面にワークを押し当てる状態で位置決め用基準面に直交する方向にずれないようにワークを位置決めする位置決め用保持部材と、を有するワーク位置決め体と、位置決め用基準面に直交する挟持用基準面を有する挟持用基準板と、挟持用基準板に対向配置されて前記ワークが切断される方向の端部にスリットを有する挟持用保持部材を有し、ワイヤ長手方向に位置するワークの両端を挟持するワーク挟持体と、ワークを、位置固定されたワーク切断部に対して切断方向に押し出す押出手段と、を含み、ワイヤがスリットを通過する。 (もっと読む)


【課題】接着剤を用いずに複数のブロック状ワークを複数段積み重ねて切断する場合に、切断精度の低下を抑制すること。
【解決手段】このワーク切断方法は、切断対象となる複数のブロック状ワークをワイヤで切断するにあたって、複数のブロック状ワークを複数段積み重ねる準備工程と(ステップS11)、ワイヤで複数のブロック状ワークを切断する切断工程と(ステップS13)、を含む。切断工程においては、第1のブロック状ワークの段を切断中に、第1のブロック状ワークの段に隣接して積み重ねられた第2のブロック状ワークの段の切断が開始されるように前記ワイヤの撓みが制御される。 (もっと読む)


【課題】サファイアの切断能率を上げ、切断時間を短縮できる切断方法を提供する。
【解決手段】ワイヤソーを用いたサファイアの切断方法であって、化学作用を有する砥粒2を含む溶液3をワイヤ6が被工作物4を切断している切断部に供給しながら切断する。 (もっと読む)


【課題】反りが小さい六方晶系半導体板状結晶を効率良く製造する方法を提供すること.
【解決手段】結晶切断用ワイヤーにより六方晶系半導体結晶を切削して板状結晶を製造する方法であって、前記六方晶系半導体結晶に対して25°< α ≦ 90°およびβ = 90°±5°[αは六方晶系半導体結晶のc軸とワイヤーにより切り出される結晶面の法線とがなす角度であり、βは六方晶系半導体結晶のc軸をワイヤーにより切り出される結晶面上に垂直投影した基準軸と切削方向とがなす角度である。]の各条件を満たすように前記結晶切断用ワイヤーを移動させて切削することを特徴とする六方晶系半導体板状結晶の製造方法。 (もっと読む)


【課題】ウェーハに対する面取り加工を効率よく行う。
【解決手段】端面が1.0インチ以下の直径の円である円柱状の結晶インゴット1を形成した後、一枚のウェーハWの厚みに応じた間隔ごとに結晶インゴット1の外周に面取り溝12を形成し、その後、面取り溝12に沿ってワイヤーソー4を結晶インゴットに切り込ませてウェーハにスライスする。ウェーハを切り出す前に面取り溝を形成するため、1枚1枚のウェーハに個別に面取り加工を行う必要がなく、生産性を向上させることができる。また、面取り溝形成時に、先端がV字形状に形成された切削ブレードを切り込ませて、溝幅がワイヤーソーの断面直径よりも大きく溝の側面とインゴットの外周の接線面との角度が鈍角になるような面取り溝を形成することで、面取り溝がワイヤーソーのガイドとしての役割を果たし、面取りされたウェーハを形成できるとともに、切り出された個々のウェーハWの強度を高くすることができる。 (もっと読む)


【課題】ワークから切り出されるウェハの品質の向上を達成するのに用いられ得るワイヤーソーイング用スラリーとを提供すること。
【解決手段】 ワイヤソーにおいて使用されるスラリーであって、水分の吸収及び放出が可能な吸湿性のキャリア物質を備え、2s-1〜34s-1の範囲のせん断速度では実質的にせん断速度に左右されない動的粘度を170mPasより大きく約220mPas未満で有する。 (もっと読む)


【課題】固定砥粒ワイヤソーに供給するスラリの調整が容易で且つ安定した切断が図れるようにする。
【解決手段】スラリ廃液3を受ける第1槽5Aと、第1槽5Aのスラリ廃液3bを導入してスラリ2を分離する遠心分離機14と、遠心分離機14のスラリ2を受ける第2槽5Bと、第2槽5Bのスラリ2を固定砥粒ワイヤソー1に供給するスラリ供給系路26と、第2槽5Bのスラリ2を取り出して循環する循環流路28に備えた比重計29と粘度計30による検出値からスラリ濃度を検出する制御器41と、第2槽5Bのスラリ2の一部を廃スラリ31として排出するスラリ排出系路33と、新スラリ2aを第2槽5Bに供給する新スラリ供給系路38とを備え、制御器41で検出するスラリ濃度が規定濃度を保持するように、スラリ排出系路33による廃スラリ31の排出と新スラリ供給系路38による新スラリ2aの供給とを行う。 (もっと読む)


【課題】固定砥粒ワイヤソーを用いた、ガラス、サファイア、セラミックス、シリコン、ネオジウム等の脆性材料の切断加工において、従来の市販水溶性加工油剤より粘度、保湿性が高く、優れた洗浄性を有する固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工油剤の提供。
【解決手段】重量平均分子量が10,000以上の増粘剤と水を含み、40℃の動粘度が4〜40mm/secである固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工油剤組成物。 (もっと読む)


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