【課題】昨今要求される半導体ウエハは極薄化、拡径化、品質の均一化と超高精度の平坦加工、鏡面加工の仕上であり、更には、量産化を求められている。
【解決手段】本発明は、ケーシング１と、送出側位置決めテーブル２と、第１研削研磨用テーブル３と、第２研削研磨用テーブル４と、収納側剥離用テーブル５と、送出側ロボット６と、送出側カセット７と、収納側ロボット８と、収納側カセット９と、インデックステーブル１０と、コラム１１と、スピンドル軸１２とを備え、４枚の半導体ウエハＷを乗載させる送出側位置決めテーブル２と第１研削研磨用テーブル３と第２研削研磨用テーブル４と収納側剥離用テーブル５との中心位置にインデックステーブル１０を配設し、９０度、１８０度、２７０度、３６０度の正転と反転並びに停止をさせると共に、コラム１１との間にオシレート手段１３を介装させたものである。 （もっと読む）

【課題】昨今要求される半導体ウエハは極薄化、拡径化、品質の均一化と超高精度の平坦加工、鏡面加工の仕上げの出来る、全自動１６軸研削研磨装置の提供。
【解決手段】本発明は、ケーシング１と、第１研削研磨テーブル２と、第２研削研磨テーブル３と、第３研削研磨テーブル４と、送出側位置決めテーブル５と、４枚の半導体ウエハＷを乗載させる収納側剥離用テーブル６と、スライド機構７と、送出側ロボット８と、送出側カセット９と、収納側ロボット１０と、収納側カセット１１と、インデックステーブル１２と、コラム１３と、スピンドル軸１４とを備え、夫々の研磨テーブル２．３．４との中心位置にインデックステーブル１２を配設し、インデックステーブル１２は９０度、１８０度、２７０度、３６０度の正転と反転並びに停止をさせると共に、オシレート手段１５を介装させたものである。 （もっと読む）

【課題】研削砥石に超音波振動を効果的に付与することができる研削装置および研削ホイールを提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段とを具備し、研削手段が回転スピンドルと回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントとホイールマウントに取り付けられた研削ホイールとからなり、研削ホイールがホイールマウントに取り付けられホイール基台とホイール基台に装着された研削砥石とからなっている研削装置であって、ホイールマウントと研削ホイールのホイール基台のいずれか一方に配設された超音波振動子と、回転スピンドルに配設され超音波振動子に電力を印加する電力供給手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】ウエーハの外周余剰領域に形成された環状の補強部の幅が許容範囲内に形成されているか否かを容易に確認することができる環状補強部の確認方法および確認装置を提供する。
【解決手段】表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域とデバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハ１０の裏面におけるデバイス領域に対応する領域を研削して所定厚さに形成するとともに、ウエーハ１０の裏面における外周余剰領域に対応する領域が残存して形成された環状の補強部１０５bの幅寸法を確認するウエーハ１０の外周部に形成される環状補強部の確認方法であって、裏面に環状の補強部が形成されたウエーハ１０の表面側を回転可能に構成された保持テーブル９１に保持し、保持テーブル９１を所定角度回動する毎に撮像手段１１によって環状の補強部１０５bを撮像して、環状の補強部１０５bの幅が許容範囲内に形成されているか否かを確認する。 （もっと読む）

【課題】ウエーハを保持するチャックテーブルの中心にウエーハの中心を合致させて保持することができる研削装置を提供する。
【解決手段】ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、ウエーハをチャックテーブルに搬入するウエーハ搬入手段とを具備する研削装置であって、ウエーハ搬入手段によって搬入するウエーハの中心を合わせる中心合わせ手段を備えており、中心合わせ手段は、ウエーハを保持し回転可能に構成された保持テーブルと保持テーブルの回動位置を検出するテーブル位置検出手段を備えた保持テーブル機構と、保持テーブルに保持されたウエーハの外周領域を撮像する撮像手段と、撮像手段によって撮像された画像情報に基づいて保持テーブルの回転中心と半導体ウエーハの中心との変位量および最大変位位置を検出する変位検出手段と、変位検出手段によって検出された保持テーブルの回転中心と半導体ウエーハの中心との変位量を補正する補正手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】コイルばねの両端部の平面研削と面取加工とを効率よく行うことが可能であると共に、従来より面取りの品質を安定させることが可能なコイルばね端部加工機及びコイルばね端部加工方法を提供する。
【解決手段】本発明のコイルばね端部加工機１０によれば、コイルばね９０の両端部の平面研削と面取り加工の両方を行うことができ、作業効率が向上する。しかも、面取り加工中に、コイルばね９０はばねホルダ６３に収容されて軸方向と直交する全方向への移動が規制されるので、従来のコイルばね端部加工機に比べて面取り加工中のコイルばねの位置が安定する。また、コイルばねは砥石車から受けた研削抵抗力により回転するので、コイルばねの変形を抑えることができる。これらにより、面取り加工の品質が向上する。 （もっと読む）

【課題】 精度の高い研削加工が可能な研削装置及び研削方法を提供する。
【解決手段】 被加工物を搬送する搬送機構（第１の搬送レール１１及び第２の搬送レール２１）と、搬送機構によって搬送される被加工物１を研削加工する研削砥石１２，２２とを備える。研削砥石１２，２２の近傍に被加工物１を押圧支持する付勢手段３１を備え、付勢手段３１の先端３１ａは研削砥石１２，２２の最外径と最内径の間に位置する。研削砥石１２，２２は、例えばアーク形状の希土類焼結磁石を研削加工する際に、内側円弧面あるいは外側円弧面を研削加工する。 （もっと読む）

【課題】投射型表示装置の照明光学系に使用可能な偏光変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス板材１の一方の主面に偏光分離膜１１を形成し、他方の主面に反射膜
１２を形成した第１の透光性板材１０と、両主面に何も形成されていないガラス板材１か
らなる第２の透光性板材２０とを交互に積層すると共に、積層する第１及び第２の透光性
板材１０、２０間の形成角度が略４５度の傾斜角度となるように面方向の位置を順次ずら
して接着剤を介して階段状に積層して積層体２１を形成する。そして形成した積層体２１
を略４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体２
２に切断した後、ロータリー研削装置３０を用いて積層分割体２２の両端を切断し、最後
に積層分割体２２の一部に１／２波長板２４を貼付するようにした。 （もっと読む）

【課題】研削加工、研磨加工の加工精度を高め、工具目つぶれ等の発生を防ぎ、チッピング、クラック等のワーク不良発生を抑制する研削／研磨装置、研削／研磨方法を提供する。
【解決手段】工具回転駆動部２０またはワーク保持部15のうち、軸方向に駆動される側の回転軸３３を軸方向駆動の駆動基準面内またはその近傍に配置する。あるいは、前記回転軸３３に直交する方向に揺動する工具回転駆動部２０またはワーク保持部１５を支持する支持点３４ｃ、３４ｄを、前記揺動される工具回転駆動部２０またはワーク保持部１５の回転軸３３に対して前記揺動方向の前後両側、及び前記揺動方向に直行する方向の左右両側に配置する。これらの対応により、工具の顎上がり現象が回避され、平坦度が格段に改善される。加えて、加工負荷を検知して工具２８に対するワーク１３の相対的送りを適切に制御することによりオーバーロード、これに起因する工具発熱を回避する。 （もっと読む）

【課題】基板の中央部と外周部に対する研削負荷を均等にして研削仕上がりを均一にするとともに、加工タクトを短縮する。
【解決手段】まず、第２のカップホイール２５により研削領域ｂ２の研削を開始する。次いで、第１のカップホイール２５により研削領域ｂ１の研削を開始し、第１、第２のカップホイールにより研削領域ｂ１，ｂ２の研削を行う。研削の最終段階では、第２のカップホイールを退避させ、第１のカップホイールのみによって研削領域ｂ１，ｂ２の研削を行う。 （もっと読む）