【課題】曲管においても滞留することなく、効率良く推進力を伝達させて走行することが可能な管内走行装置を提供する。
【解決手段】管内走行装置１は、進行方向Ａと略直交する側方Ｓに当接部材５３、６３を張り出して管路の壁面に当接させることで、壁面から進行方向Ａに推進力を発生させることが可能な推進手段５０、６０を有した複数の駆動ユニット３と、駆動ユニット３間を連結するとともに、可撓性を有して管路の軸方向の形状に応じて変形可能な連結部７と、各連結部７の変形状態を検出可能な連結状態監視部と、連結状態監視部の検出結果に基づいて、各駆動ユニット３の推進手段５０、６０を制御する制御部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板搬送装置及び表示パネルの製造装置のスペース効率を向上させること。
【解決手段】 加工装置３５を設けた搬送路１２に沿って、搬送ロボット１３を移動させて、第１の基板３１を加工装置３５に供給し、加工装置３５にて加工の完了した第１の基板３１を搬出する基板搬送装置１０において、第１の基板３１と同じ搬送路１２に沿って搬送ロボット１３を移動させて、第１の基板３１と一対をなす第２の基板３２を加工装置３５を通過して搬出可能とするもの。 （もっと読む）

【課題】塗料の飛散等による塗装不良を低減し、塗装工程に掛かる時間を短縮できる塗装用装置を提供する。
【解決手段】被塗装部材２６に塗料を噴霧して塗装を行う塗装ロボット２０と、搬送路２４に沿って被塗装部材２６を搬送するための走行軸２２ａと、被塗装部材２６の姿勢を変更するためのアーム２２ｂとを有し、被塗装部材２６を把持して搬送する搬送ロボット２２と、を備える塗装用装置２００により上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

本発明は、平板材料（１０）のための曲げ装置であって、曲げ装置（１２）であって、平板材料（１０）が曲げる前に挿入平面（２０）内で位置決めされて、曲げる際には挿入平面（２０）内に残る、ようにされている曲げ装置と、操作装置（１４）であって、平板材料（１０）を、供給位置（１６）から取り出し、曲げプロセスのために曲げ装置（２０）内へ挿入し、曲げ位置（２０）から保管位置（１８）へ移動するために使用される操作軸（５２、５６、５８、６２、６６、７０）を備えている操作装置と、を具備しているものに関する。本発明の目的は、曲げ装置の構造をできるだけ簡単にすることである。これを達成するために、操作装置（１４）が、位置決め軸（７６）を有しており、位置決め軸（７６）が、操作軸（５２、５６、５８、６２、６６、７０）よりも大きい位置決め精度を有している。平板材料（１０）を位置決めする際に、位置決め軸（７６）は、曲げ装置（１２）の曲げライン（３８）に対する少なくとも１つの曲げ位置において、挿入平面（２０）に対して平行かつ曲げライン（３８）に対して横方向に延びる方向（７７）に対して平行に配列されており、かつ、平板材料（１０）は、操作軸（５２、５６、５８、６２、６６、７０）が堅固に固定された場合に、位置決め軸（７６）によって測定位置から少なくとも１つの曲げ位置へ移動可能である。
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【課題】 移動室内に配置された移動部材に対して、駆動部により接触でもって案内しながらその往復移動を駆動することで、移動室の隙間部を介して連結される往復移動の対象物の移動を行う往復移動装置において、当該往復移動により移動室内に生じるパーティクルの室外への漏出を抑制して、清浄化環境での使用に対応可能とする。
【解決手段】 移動部材がその内部に配置されて上記往復移動がその内部にて行われる室であって、上記移動部材と当該室外に配置される往復移動の対象物とが連結される部分を往復移動可能に貫通させる隙間部が形成された移動室内において、上記移動部材の移動により圧縮される圧縮側空間の空気を、非圧縮側空間に移動させることで、上記移動室内の空気を循環させる循環経路とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】インデクサロボット６は、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、基台部８を左右方向に移動することができる。また、基板保持ハンド１１４または１２４を基板受け渡し位置Ｓまで進出させる場合には、基台部８が搬送路７と交差する方向に移動して基板受け渡し位置Ｓ寄りに位置することで、基板保持ハンド１１４または１２４の進出距離を短くすることができるので、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２の各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。よって、移動範囲Ｐ１を小さくし、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

本発明は、処理ステーション内で、処理ラインを完全に再設計することなく環境の変化に容易に順応し得る、垂直方向に輸送される処理ライン加工部品輸送用の低コストで製造可能な直進マニプレータに関する。マニプレータは、少なくとも二つの処理ステーションを加工部品（９）に接続し、少なくとも一つの巻上要素（１１）、同様に、少なくとも一つのグリッパ要素（１２）を前記巻上要素（１１）に据えられた加工部品（９）に対して接続している、少なくとも一つのガイド手段に沿ってずらすことが可能な少なくとも一つの走行要素（１０）をそなえて構成される。巻上要素（１１）及びグリッパ要素（１２）はその上に据えられ、モジュラー様式にあって拡張可能であり、それによって、巻上要素（１１）は処理ステーションの多数列に渡って延在し、その上、ステーション内で保持された加工部品（９）は各々グリッパ要素（１２）によって掴まれ得る。
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【課題】 作業者における被曝の低減を図るために、セル内に既に設置されている遠隔操作機器の一つであるパワーマニプレータを用いてセル内の煙感知器を遠隔的に交換することができる遠隔交換治具を提供する。
【解決手段】 パワーマニプレータ先端把持部11の開閉によって結合・離脱可能でかつパワーマニプレータ先端把持部の回転に伴い回転可能なリスト保持部24と、シャフト23が回転自在に内装されている筒部22と、煙感知器用アタッチメント21aの取り付け部21とからなり、シャフトの基端をリスト保持部と連結するとともにシャフトの先端を煙感知器用アタッチメント取り付け部と連結し、パワーマニプレータ先端把持部の回転をリスト保持部およびシャフトを介してアタッチメントに伝達できるようにした。 （もっと読む）

【目的】 比較的長い共通搬送室を用いて多数の真空処理室を連結することができる集合処理装置を提供する。
【構成】 真空引き可能になされた比較的長い共通搬送室４の一側に複数の真空処理室６Ａ〜６Ｅを連結し、この長手方向に沿って移動する移動体２８に搬送アーム３０を設ける。この移動体を移動させ且つ搬送アームを伸縮するために共通搬送室の底壁の下方側に磁気的な移動体駆動手段３２を設ける。これにより、モータ等のパーティクル発生源を室内に収容することなく被処理体の搬送を可能にする。 （もっと読む）