【課題】ドライエッチング速度の選択性が高く、かつレジスト等に用いる微細パターンを熱またはＵＶナノインプリント法によって形成することのできる転写材料用硬化性組成物およびその形成方法を提供する。
【解決手段】アクリロイル基を有するポリシロキサンからなり、分子の末端が−Ｏ−Ｓｉ（ＯＲ）_３（ここでＲは炭素数１〜４のアルキル基である）または−Ｏ−Ｓｉ（ＯＸ）_３（ここでＸはアクリロイル基を含有する基である）であって、すべてのＲに対するＸの存在割合が０．１以上である硬化性ケイ素化合物を含有する、微細パターンを形成するための転写材料用硬化性組成物およびこれを用いた微細パターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】微細な凹凸パターンが形成された樹脂製のレプリカモールドを高精度にかつ大量に高い生産性で製造できる樹脂製モールド作製用積層体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本願発明の樹脂製モールド作製用積層体１０は、マスターモールドを用いた圧縮成形により樹脂製モールドを作製する際に圧縮成形に供される積層体であって、互いに対向する一対の基体１１，１２と、一対の基体１１，１２間に挟まれた液状あるいはゲル状の硬化性樹脂材料の層１３と、硬化性樹脂材料の硬化物からなり、前記一対の基体１１，１２間に挟まれた流動抑止体１４とを有し、硬化性樹脂材料の層１３が、一対の基体１１，１２および流動抑止体１４によって封入されている。 （もっと読む）

【課題】基材密着性、モールド剥離性およびエッチング耐性に優れるナノインプリント用組成物を提供する。
【解決手段】多環芳香族構造を有する繰り返し単位（ａ）を含む樹脂を含有することを特徴とするナノインプリント用組成物。（ａ）が下記一般式で表されることを特徴とする。


［式中、Ｒ1は水素原子、置換していてもよいアルキル基またはハロゲン原子を表し、Ｘは単結合または有機連結基を表し、Ｌは置換基を有していてもよい多環芳香族基を表す。］ （もっと読む）

【課題】本発明は、微細構造を成形部材に容易に転写することができ且つ容易に離型させることができると共に、射出成形による転写よりも短時間で転写を行うことができる転写方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】スタンパ２，３に形成された微細構造２ａ，３ａを成形部材１に転写する。スタンパ２，３の微細構造２ａ，３ａを成形部材１に押圧して、微細構造２ａ，３ａを成形部材１に転写する。スタンパ２，３の微細構造２ａ，３ａを、成形部材１のガラス転移点以下の温度において冷却及び加熱を繰り返すことにより、スタンパ２，３からの成形部材１の離型を促進する。 （もっと読む）

【課題】接着剤層が不要で、対象物との剥離性が向上したシリコーンゴムシートを提供する。
【解決手段】下記の第一加熱工程（Ｈ１）および第二加熱工程（Ｈ２）によって形成されたシリコーンゴム１層からなることを特徴とする、シリコーンゴムシート。第一加熱工程（Ｈ１）：液状シリコーンを加熱して半硬化シリコーンゴムを形成させる工程。第二加熱工程（Ｈ２）：半硬化シリコーンゴムを更に硬化させる工程。 （もっと読む）

【課題】絞押された合成樹脂シートで製造される製品・部品の所定に位置・場所に所望の加飾（デザイン）を連続的に生産性よく施すのに好適な合成樹脂表皮材の製造方法の提供
【解決手段】長尺の合成樹脂シート１０をアキュームレータ１２を介して連続的に供給する第１の工程と、供給された長尺の合成樹脂シート１０をプレス盤１８Ａと該プレス盤に対応する絞プレス盤１８Ｂとの間で挟圧して絞押する第２の工程と、絞押された長尺の合成樹脂シートを裁断する第３の工程と、を有する合成樹脂表皮材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】フィルムにナノスケールの特徴を生成し、かつ、当該フィルムの厚みの全体または一部にわたって１つの特定の系に応じたミクロ構造を付与する方法を提供する。
【解決手段】この方法は、以下の工程を含む：特定の系および少なくとも１つの所定の厚みに応じて所定の温度でミクロ構造化され得る少なくとも１つのブロック共重合体を選択する工程であって、該所定の厚みが、その全部または一部について前記特定の系に応じたミクロ構造化が所望されるフィルムの厚みに対応する厚みである、工程；該ブロック共重合体を含むフィルムへの押圧により、該所定の厚みおよび該ナノスケールの特徴を付与し得る少なくとも１つの型を選択する工程（ａ）；および、該型を該所定の温度に加熱しながら、該ブロック共重合体を含むフィルムを押圧し（ｂ）、これにより、物品として規定される該フィルムが得られる、工程（ｃ）。 （もっと読む）

【課題】効率よくナノインプリント加工を行い得る方法およびその装置を提供する。
【解決手段】室温インプリント用レジストを塗工した基板と転写面に凹凸パターンを形成したモールドを、組み込み冶具中にセットするアライメント工程、モールドのパターン面を基板のレジスト面に押し付けるプレス工程、モールドを基板から引き離し、基板、モールドおよび組み込み冶具に分離する分離工程を少なくとも有し、前記各工程が、１つの工程をその中で実施する独立ユニット内にて実施され、アライメント工程から分離工程まではモールドと基板とを組み込み治具で対にしてユニット間を搬送する搬送工程を各ユニット間に設けることを特徴とするインプリント方法、及び、上記アライメント工程をその中で実施するアライメントユニット、上記プレス工程をその中で実施するプレスユニット、上記分離工程をその中で実施する分離ユニットを少なくとも有し、上記搬送工程を実施する搬送手段を備えてなることを特徴とするインプリント装置。 （もっと読む）

【課題】不透明でかつ金属材料のスタンパを用いた光インプリント技術を用いることができて、生産性がよく両面一括成形できる。
【解決手段】上スタンパ１と下スタンパ２の側面から、間の透明光硬化樹脂材に対して光を照射可能とする光照射ユニット１２を有している。また、光照射ユニット１２からの光照射時に、上ホルダー３および下ホルダー４を上スタンパ１と下スタンパ２と共に一定速度で回転させる回転機構部５，６を有している。さらに、光照射ユニット１２が、先端のレンズの焦点距離を異ならせることにより、光照射ユニット１２の放射照度分布を異ならせて透明光硬化材の内部に対してより均等に光照射するようになっている。 （もっと読む）

【課題】効率よくナノインプリント加工を行い得る方法およびその装置を提供する。
【解決手段】転写面に凹凸パターンを形成したモールドを用いて、光硬化型レジストを塗工した基板のレジスト面に所定のパターンを形成するインプリント方法であり、アライメント工程、プレス工程、ＵＶ照射工程、離型工程を少なくとも有し、前記各工程が、１つの工程をその中で実施する独立ユニット、複数の工程をその中で実施する複合ユニットあるいは独立ユニットと複合ユニットの組み合わせからなる複数のユニット内にて実施され、モールドと基板と対にしてユニット間を搬送する搬送工程を各ユニット間に設けてなるインプリント方法、及び前記インプリント方法のための装置であって、インプリント方法における各工程を１つの工程をその中で実施する独立ユニット、複数の工程をその中で実施する複合ユニットあるいはこれと独立ユニットの組み合わせからなる複数のユニットを備え、さらに、モールドと基板を搬送する手段を備えてなるインプリント装置。 （もっと読む）