【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する成形物を成形できる成形方法及び成形装置を提供する。
【解決手段】
型の熱膨張率に対して、素材Ｍの熱膨張率が大きい場合でも、素材Ｍの裏面を加熱した状態で離型を行えば、素材Ｍ側の収縮が抑えられるため、離型時における微細形状のちぎれ等を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 金型と被印刷体とを平行に保ち、金型の破損を防止しつつ、その寿命を延長する。
【解決手段】 石英、シリコンまたは樹脂などの材料からなり凹凸の溝を形成した転写印刷版１を外枠部材７で保持し、その転写印刷版１を被印刷体３に押圧して印刷するための転写印刷版保持構造５において、外枠部材７に、応力衝撃緩衝材９を介して転写印刷版１を保持させた。 （もっと読む）

【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する構造物を成形できる成形方法及び成形装置並びに構造物を提供する。
【解決手段】
型ＭＤを素材Ｍから引き離すと、まず先端側の領域（Ｒ１）から、転写された微細形状ＭＳが剥がれようとする。しかし、奥側の領域（Ｒ２）からは微細形状ＭＳが剥がれていないので、微細形状ＭＳの根本側の幅Ｗ１が細くなるように変形する。すると、微細形状ＭＳと型ＭＤの内側面との間にスキマが生じ、ここから空気が侵入するため、微細形状ＭＳは型ＭＤから、より離型しやすくなり、ちぎれなどの破損を抑制することができる。最終的に、型ＭＤが微細形状ＭＳから離隔したときは、型ＭＤの微細形状の幅は一様であるにも関わらず、微細形状ＭＳの根本の幅Ｗ１が、その先端の幅Ｗ２よりも小さく（Ｗ１＜Ｗ２）となっている。 （もっと読む）

【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する成形物を成形できる成形装置及び光学素子を提供する。
【解決手段】
型円板２ａにおいて、微細形状２ｂを周期方向（ラインアンドスペースの並び方向）に挟むようにしてアンカー部２ｃを形成しているので、微細形状２ｂの剪断強度よりも高い剪断強度を有するアンカー部２ｃにより、冷却時における素材Ｍの少なくとも型円板２ａに近い面の変形を抑えることができ、それにより転写された微細形状の離型時における曲がりや、ちぎれを抑制できる。 （もっと読む）

本発明では、ソフトリソグラフィー用スタンプ（30）、およびそのようなスタンプ（30）を製作する方法が提供される。本発明によるスタンプは、ブロック領域（37）およびプリント領域（38）を有する。ブロック領域（37）は、プリント領域（38）を構成する材料とは異なる材料で構成され、プリント化合物に対する透過率、拡散率、吸収率または吸着特性が抑制されており、これにより、ブロック領域から被パターン化基板もしくは被プリント基板への、プリント化合物の化学的もしくは物理的な輸送もしくは転写が防止され、または有意に抑制される。この方法では、スタンプ（30）にプリント化合物を含浸させると、プリント化合物は、プリント領域（38）にのみ拡散するため、プリント化合物は、被パターン化基板のプリント領域（38）にのみ転写され、突出素子（32）同士の間の空気ボイド（33）を介したプリント化合物の拡散は、実質的に生じない。
（もっと読む）

【課題】 熱転写プレス装置でスタンパの加熱に要する時間を短縮する。
【解決手段】
下ケース１１および上ケース１２の少なくとも一方に設けられた型は、基台２１と、加工対象物２に型を転写するためのスタンパ２７と、内部に流体が流れるための流路３１を有し、基台２１とスタンパ２７との間に設けられてスタンパ２７を保持するとともに、スタンパ２７を加熱および冷却するための温度調節プレート３と、スタンパ２７を加熱するときに、流路３１へ高温流体を流すための高温流体循環装置４１と、スタンパ２７を冷却するときに、流路３１へ低温流体を流すための低温流体循環装置４３と、を備える熱転写プレス装置。
（もっと読む）

【課題】
より簡便に且つ低コストで、高アスペクト比の微細構造を有する成形物を成形できる成形方法及び成形装置を提供する。
【解決手段】
転写時に素材Ｍに撓みを与えており、従って冷却後において、素材Ｍの内部に蓄積された機械的内部応力の解放により素材Ｍの撓みが戻り、素材Ｍに転写された微細形状の間隔が広がるように展開するので、転写された微細形状の破損を抑制しつつスムーズな離型を実現できる。 （もっと読む）

本発明は、パターン化されたモールドを有するテンプレートなどの基板の寸法を変更する装置、システムおよび方法を対象としている。
（もっと読む）

本発明は、サポート・ボディと、フローティング・ボディと、複数のたわみアームとを備えたコンプライアント・デバイスを対象としている。複数の伝達アームは、それぞれ、サポート・ボディとフローティング・ボディの間に接続されており、それらの間で並列に荷重を伝達している。そのために、たわみアームは、第１のセットと第２のセットのたわみ継手を有している。第１のセットのたわみ継手は、第１の方向に沿って展開している第１の軸の周りの前記たわみアームの回転動きを容易にしている。第２のセットのたわみ継手は、第１の方向に対して横方向の第２の方向に沿って展開している第２の軸の周りのたわみアームの回転動きを容易にするようになされている。たわみ継手は回転継手である。
（もっと読む）

本発明は、接着防止特性を有する新規な金属製の成形型に関し、該型は、ベース金属製成形型および接着防止層を含んでなり、該接着防止層は、リン原子およびアルキル鎖を包含する、フッ素化されたアルキルリン酸誘導体またはフッ素化されたアルキルポリ−リン酸誘導体を含んでなる。接着防止層は、ベース金属製成形型の表面に直接結合する。ベース成形型は、例えばニッケルでよく、フッ素化されたアルキルリン酸誘導体または該フッ素化されたアルキルポリ−リン酸誘導体は、リン原子がアルキル鎖に直接結合するように、ホスホン酸、ホスフィン酸、ホスホネートおよびホスホネート塩、ホスフィネートおよびホスフィネート塩、またはそれらのそれぞれのオリゴマーからなる群から選択することができる。
（もっと読む）