【課題】膜内部の組成均一性が高く良好な強誘電体特性・圧電体特性を有する強誘電体膜を低コストで得ることが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及び製造装置。
【解決手段】供給工程と搬送工程と位置出し工程と成膜工程と焼成工程と冷却工程とを具備し、一連の動作を所定回数実行することにより圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、成膜工程にて２種類以上の前駆体液をシリコンウェハ５０に滴下して前駆体膜７２を形成する方法であり、複数の前駆体液は単一のノズルから滴下し、複数の前駆体液送液ライン中には複数の前駆体液を任意の比率に混合可能な混合器を備え、成膜回数に応じてシリコンウェハ５０に滴下する前駆体液の混合比を変化させつつ前駆体膜７２を成膜する。その後の焼成工程を含めた一連の動作を所定回数実行して所定厚さの圧電体層を構成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、振動板の表面粗さを適正にすることにより、下部電極、電気−機械変換膜の結晶配向を適正化し、経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、基板１１上に形成された振動板１２と、振動板１２上に直接又は間接的に形成された下部電極２１と、下部電極２１上に形成された電気−機械変換膜１６と、電気−機械変換膜１６上に形成された上部電極２２とを有し、下部電極２１は（１１１）配向を有する層を含み、電気−機械変換膜１６は（１１１）を優先配向とするＰＺＴからなり、振動板１２は表面粗さが５ｎｍ以下のポリシリコン層を含む。 （もっと読む）

【課題】共通液室内のフィルタより下流の気泡が圧力室側に移動するのを防止する。
【解決手段】共通液室２８は、外部から液体が供給される供給側共通液室３１と、外部に液体を排出する排出側共通液室３２と、複数の圧力室６に通じる共通流路３０とで構成され、供給側共通液室３１は第１フィルタ部４１を介して共通流路３０に通じ、排出側共通液室３２は第２フィルタ部４２を介して共通流路３０に通じ、第１フィルタ部４１よりも第２フィルタ部４２が高さ方向で高い位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドが提供される。
【解決手段】本発明によるインクジェットプリントヘッドは、流入するインクが圧力チャンバを通過してノズルを介して吐出されるインク流路を有する複数のヘッドセルが設けられるインクジェットヘッドプレートと、インクジェットヘッドプレートの上面に形成され、圧力チャンバに対応する位置に形成される圧電アクチュエータと、を含み、圧力チャンバ及び圧電アクチュエータのうち少なくとも一つの面積が変更されて、複数のヘッドセルから吐出されるインクの吐出特性が均一になることができる。 （もっと読む）

【課題】複数のヘッド間で制御基板からの配線路の長さが異なるような場合、各ヘッドに対して安定したデータ信号を供給できなくなる可能性がある。
【解決手段】液体を噴射するノズルを有するヘッド４２が複数配置されたヘッドユニット４０と、ヘッド４２を駆動するデータ信号を生成する制御基板９０と、制御基板９０からのデータ信号をヘッドユニット４０に配置された複数のヘッド４２に伝達するヘッド制御基板８０と、を有し、複数のヘッド４２はヘッド毎に、配線経路上所定距離以内のヘッド制御基板８０上にコンデンサー８１が配置され、ヘッド４２とコンデンサー８１が電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】良質な薄膜を製造することができる。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３００によって基板１１に吐出された機能性インク膜３０２にレーザ光を照射して加熱すると溶媒が蒸発して溶液が乾燥する。リアルタイムレーザ制御装置６００によって機能性インク膜３０２の乾燥状態を検出する。そして、機能性インク膜３０２の乾燥状態に対する最適なレーザ光照射条件の関係の特性データと照合しながら検出した機能性インク膜３０２の乾燥状態に対応する最適なレーザ光照射条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】高集積化に適用可能にポーリング処理を行うことができる。
【解決手段】個別電極１４は、配線５４及びダイシングライン５１の領域に設けられているコンタクト５２−２を介して導電性材料の個別液室基板１２に電気的に接続されている。このため、この個別液室基板１２と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加することで、各個別電極１４と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加したことになる。そして、コンタクト５２−２はダイシングライン５１に設けられており、ダイシングライン５１に沿ってダイシングを行って配線５４とコンタクト５２−２を電気的な接続を切断することで、個別液室基板１２と各個別電極１４とは互いに電気的に絶縁となる。 （もっと読む）

【課題】液体流路から封止部材を介して漏れ出た液体が配線基板とアクチュエーター装置との接続部に流入することを防止することで、当該接続部の接触不良を防止し、信頼性を向上させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】マニホールド１００を形成する保護基板３０及びコンプライアンス基板４０と、コンプライアンス基板４０を保護基板３０とで挟持するケースヘッド１１０と、異方性導電性接着剤２２０で配線基板２００に接続されたリード電極９０を有するアクチュエーター装置と、異方性導電性接着剤２２０を覆うポッティング剤２１０とを備え、保護基板３０に、保護基板３０及びケースヘッド１１０がコンプライアンス基板４０を挟持した挟持領域から貫通孔までの間に非挟持領域Ｄを設け、ポッティング剤２１０を非挟持領域Ｄまで設けないようにした。 （もっと読む）

【課題】気泡排出性を確保しつつ、十分な圧力変動抑制効果を得ることが難しい。
【解決手段】共通液室１０は、ノズル配列方向において、平面形状で長方形状に形成され、流路部材２３を構成する流路板２の液室長手方向端部はそのまま共通液室１０内に臨み、振動板部材３の液室長手方向端部は流路板２の液室長手方向端部に対して共通液室１０と反対側の方向に後退した位置にあり、流路板２の液室６の共通液室１０側端部の一部を開口することで、液室６の入口側、すなわち、液体供給経路７の共通液室１０側は、液室６内における液体の流れ方向に沿う方向（Ｘ方向）に開口する水平開口部７ａと、液室６内における液体の流れ方向に沿う方向と直交する方向（Ｙ方向）に開口する垂直開口部７ｂが形成される。 （もっと読む）

【課題】積層型圧電部材の両端面に電極膜を形成して個別外部電極と共通外部電極とすると、圧電部材の活性部が不活性部で拘束されて変位量が低減する。
【解決手段】圧電部材１２の両端面及び底面には電極層３３が形成され、両端面のうちの各圧電柱１２Ａの個別外部電極２３を形成する端面側の不活性部３１の部分には、圧電柱並び方向に沿ってスリット溝３４が形成され、電極層３３は駆動柱１２Ａに対応する領域を含む個別外部電極２３と、不活性部３２に対応する部分とに分割されている。 （もっと読む）