【課題】 処理室内に供給した原料ガスの分圧を短時間で上昇させ、薄膜の成膜速度を高める。
【解決手段】 処理室に接続されるガス供給管に設けられた第１のガス溜め部内に不活性ガスを充填しつつ、第１のガス溜め部よりも下流側のガス供給管に設けられた第２のガス溜め部内に原料ガスを充填する工程と、第１のガス溜め部と第２のガス溜め部との間のガス供給管に設けられた開閉弁、及び第２のガス溜め部と処理室との間のガス供給管に設けられた開閉弁をそれぞれ開いて、第１のガス溜め部内に充填された不活性ガスにより、第２のガス溜め部内に充填された原料ガスを処理室内に圧送する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】容易な方法で収率良く高純度のアルカリ土類金属窒化物を製造する方法を提供する。
【解決手段】１種のアルカリ土類金属にアンモニアを反応させて液相化し、得られたアルカリ土類金属アミドを熱分解する、アルカリ土類金属窒化物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、工業的に生産可能で、大きなＢＨ_ｍａｘを有する異種金属元素を含んだＦｅ_１６Ｎ_２粒子粉末の提供を目的とする。
【解決手段】 金属元素Ｘ（ここで、Ｘ＝Ｍｎ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｇａ、Ａｌ、Ｇｅ、Ｚｎ、Ｐｔ、Ｓｉである。）を含んだ、酸化鉄又はオキシ水酸化鉄、及び／又は、これら酸化鉄又はオキシ水酸化鉄粒子、必要により、前記酸化鉄又はオキシ水酸化鉄の粒子表面を少なくともアルミナやシリカによって被覆した出発原料を還元処理及び窒化処理を行って得られるＦｅ_１６Ｎ_２化合物相がメスバウアー測定より７０％以上で構成される強磁性粒子粉末であり、該強磁性粒子粉末を磁気的配向させた異方性磁石又はボンド磁石である。 （もっと読む）

【課題】容易な方法で均一な多種アルカリ土類金属窒化物複合体を製造することができる方法を提供する。
【解決手段】２種以上のアルカリ土類金属を混合し、これにアンモニアを反応させて液相化し、得られたアルカリ土類金属アミド含有組成物を熱分解する、多種アルカリ土類金属窒化物複合体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】容易な方法で収率良く高純度の金属窒化物を製造する方法を提供する。
【解決手段】金属水素化物を窒素ガス又はアンモニアガス下、加熱することを特徴とする当該金属窒化物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】新規のＩＩ−ＩＩＩ−Ｎ半導体ナノ粒子および当該ＩＩ−ＩＩＩ−Ｎ半導体ナノ粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、窒化物半導体ナノ粒子（例えば、ナノ結晶）を提供する。当該窒化物半導体ナノ粒子は、新規の組成を有する新規のＩＩ−ＩＩＩ−Ｎ化合物半導体（例えば、ＺｎＧａＮ、ＺｎＩｎＮ、ＺｎＩｎＧａＮ、ＺｎＡｌＮ、ＺｎＡｌＧａＮ、ＺｎＡｌＩｎＮ、または、ＺｎＡｌＧａＩｎＮ）によって形成されている。このようなタイプの化合物半導体ナノ粒子は、従来、知られていない。本発明は、また、ＩＩ−ＩＩＩ−Ｎ半導体ナノ粒子のサブグループであるＩＩ−Ｎ半導体ナノ結晶（例えば、ＺｎＮナノ結晶）も開示している。 （もっと読む）

【課題】より速い結晶育成速度で、高品質かつ高純度の結晶を作成することができる窒化物単結晶の製造方法、窒化物単結晶、基板およびデバイスを提供する。
【解決手段】ＩＩＩ族元素を含む原料と、ＭｅＸ^１_ｎ（ここで、ＭｅはＢ，Ａｌ，ＧａまたはＩｎであり、Ｘ^１はＦ，Ｃｌ，ＢｒまたはＩであり、ｎは１〜３の整数である）を含む組成の鉱化剤と、アンモニアと、ＩＩＩ族窒化物から成る種結晶３２とを、反応容器１１に入れる。反応容器１１の内部で、４６０℃〜６００℃の温度および８０ＭＰａ〜１５０ＭＰａの圧力で、アモノサーマル法により、種結晶３２の表面に窒化物単結晶を成長させる。反応容器１１は、Ｐｔ、Ｉｒ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｗ、または、これらのうちの複数種類の元素から成る合金で、内壁面１１ｂがライニングまたはコーティングされている。 （もっと読む）

【課題】青色領域で優れた発光効率を示すうえ、物質の安定性に優れた新しい構造のナノ結晶を提供する。
【解決手段】２種以上の物質からなる多層構造のナノ結晶において、前記物質の合金層を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 不純物の少ない高品質の金属窒化物、特に窒化ガリウムを効率よく得る方法を提供する。
【解決手段】 非酸化物材質のコンテナを用いることを特徴とする金属窒化物の製造方法。原料金属や生成する金属窒化物と接触するコンテナの材質を非酸化物とすることで、コンテナと原料金属や生成する金属窒化物との反応や固着を回避し、また、コンテナの材質由来の酸素の混入を防ぐことで結晶性の高い高品質な金属窒化物が得られる。一定以上の窒素源ガスの供給量と流速を確保することで極めて高い転化率で原料金属を窒化物に転化でき、未反応の原料金属の残存が少ない、金属と窒素が理論定比の金属窒化物が高い収率で得られる。得られた金属窒化物は酸素混入量も少なく金属と窒素が理論定比であるため、バルク結晶成長用の原料として極めて有用である。 （もっと読む）

【課題】結晶のステップの発生を抑制し、表面モホロジーの荒れやステップの間に不純物が入り込む現象であるインクルージョンの発生のない高品質の窒化物結晶の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】種基板１と、結晶材料とアルカリ金属またはアルカリ土類金属を、坩堝３に収納する第１の工程と、前記坩堝３を加熱して前記結晶材料と前記アルカリ金属または前記アルカリ土類金属のフラックス２を形成するとともに、前記坩堝３に窒素ガスを供給して、前記種基板１上に結晶を育成する第２の工程と、を備え、前記第２の工程は、フラックス２の攪拌方向が一軸方向のみの反復である窒化物結晶を製造する装置において、Hｆ（フラックスの液面深さ）／Do（坩堝の内径）を０．３以上にする。 （もっと読む）