国際特許分類[C01B21/06]の内容
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窒化鉄材の製造方法及び窒化鉄材
【課題】α”Fe16N2相の含有量が多い窒化鉄材が得られる窒化鉄材の製造方法、及び窒化鉄材を提供する。
【解決手段】この製造方法は、純鉄や鉄合金、鉄化合物といったFeを含有する母材に磁場を印加した状態で、窒素雰囲気といった窒素元素含有ガス雰囲気下で上記母材を加熱してα”Fe16N2相を生成する工程を具える。印加する磁場Hは、母材の形状から規定される反磁界係数をNf(Nf=0〜1)とするとき、H=(7/3)+2×Nf以上の強磁場とする。H=(7/3)+2×Nf以上の強磁場を母材に印加することで、Feの基本格子が印加する磁界方向(一方向)に伸び、Nの侵入位置をこの一方向に規制し易い。そのため、過剰窒化を抑制し、磁気特性に優れるα”Fe16N2相を生成し易く、α”Fe16N2相の含有量が多い窒化鉄材を製造することができる。
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強磁性粒子粉末の製造方法、異方性磁石、ボンド磁石及び圧粉磁石
【課題】 本発明は、工業的に高純度、且つ優れた磁気特性を示す強磁性粒子粉末及びその製造方法に関する。また、該強磁性粒子粉末を用いた異方性磁石、ボンド磁石、圧粉磁石を提供する。
【解決手段】 メスバウアースペクトルよりFe16N2化合物相が80%以上の割合で構成される強磁性粒子粉末であり、該強磁性粒子は粒子外殻にFeOが存在するとともにFeOの膜厚が5nm以下である強磁性粒子粉末は、出発原料の一次粒子の(粒子長軸長の偏差平均)/(平均粒子長軸長)が50%以下、UCが1.55以下、Cgが0.95以上、Cg2が0.40以上であり、平均粒子長軸長が40〜5000nm、アスペクト比(長軸径/短軸径)が1〜200である鉄化合物を用い、凝集粒子の分散処理を行い、次いで、メッシュを通した鉄化合物粒子粉末を160〜420℃にて還元処理し、130〜170℃にて窒化処理して得ることができる。
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窒化物単結晶の製造方法、窒化物単結晶、およびデバイス
【課題】結晶性が良好な窒化物単結晶を速い速度で成長させる方法を提供する。
【解決手段】シード、窒素元素を含有する溶媒、周期表13族金属元素を含む原料物質、および前記溶媒の1.5〜15mol%の量の鉱化剤を入れたオートクレーブ内の温度および圧力を、前記溶媒が超臨界状態および/または亜臨界状態となるように制御して前記シードの表面にアモノサーマル法により窒化物単結晶を成長させる。
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強磁性粒子粉末及びその製造方法、並びに異方性磁石、ボンド磁石及び圧粉磁石
【課題】 本発明は、工業的に高純度、且つ優れた磁気特性を示す強磁性粒子粉末及びその製造法に関する。また、該強磁性粒子粉末を用いた異方性磁石、ボンド磁石、圧粉磁石を提供する。
【解決手段】 メスバウアースペクトルよりFe16N2化合物相が80%以上の割合で構成される強磁性粒子粉末であり、該強磁性粒子は粒子外殻にFeOが存在するとともにFeOの膜厚が5nm以下である強磁性粒子粉末は、平均長軸径が40〜5000nm、アスペクト比(長軸径/短軸径)が1〜200の酸化鉄又はオキシ水酸化鉄を出発原料として用い、凝集粒子の分散処理を行い、次いで、メッシュを通した鉄化合物粒子粉末を160〜420℃にて水素還元し、130〜170℃にて窒化処理して得ることができる。
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窒化物結晶の製造方法および結晶製造装置
【課題】アモノサーマル法により窒化物結晶を成長させる際に、反応容器の破損を防いで再利用を可能にするとともに、品質が高い結晶が得られる窒化物結晶の製造方法を提供する。
【解決手段】反応容器に原料とアンモニア溶媒を充填して密閉した後、バルブを有する耐圧性容器内に該反応容器を設置し、さらに該耐圧性容器と該反応容器の間の空隙に第二溶媒を充填して前記耐圧性容器を密閉した後、該反応容器中で超臨界および/または亜臨界アンモニア雰囲気において窒化物結晶を成長させる。その際に、バルブを介して、前記反応容器の外側と内側の圧力差が小さくなるように調整する。
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ジルコニウム酸化膜を有する半導体素子のキャパシタ及びその製造方法
【課題】70nm以下の金属配線を有する次世代DRAMで要求される容量および良好な漏れ電流特性を確保できるキャパシタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】キャパシタ形成方法は、ストレージ電極65を形成するステップと、ストレージ電極65の表面をプラズマ窒化66A処理するステップと、該表面がプラズマ窒化66A処理されたストレージ電極65上にZrO2薄膜67を蒸着するステップと、ZrO2薄膜67の表面をプラズマ窒化処理して、表面が窒化66BされたZrO2薄膜を形成するステップと、窒化66Bされた前記ZrO2薄膜上にプレート電極68を形成するステップとを含む。
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Nb化合物の微粉末、多孔質焼結体、これを用いた固体電解コンデンサ、およびこれらの製造方法
【課題】 固体電解コンデンサの小型化と大容量化との両立を図ることが可能なNb化合物の微粉末、多孔質焼結体、これを用いた固体電解コンデンサ、およびこれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】 Nb化合物の微粉末であって、その組成が、NbxOyNz(x,zは0を超える正の数、yは0以上の正の数)で表され、その電気伝導度が、Nbの電気伝導度の1/10以上である。
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耐蝕性部材
【課題】 ハロゲン系腐蝕性ガスへの曝露に対して、各種構造部材として使用可能な、特に、半導体製造装置の構成部材として好適な、長時間に亘って耐蝕性を有する耐蝕性部材を提供する。
【解決手段】 耐熱性部材の全体あるいは一部が窒化アルミニウムを主成分とする被覆膜によって覆われた耐蝕性部材であって、前記被覆膜のスピン密度が5×1015spins/g以上、1×1019spins/g以下であることを特徴とし、該耐蝕性部材を静電チャックとして、あるいは加熱部材を内蔵した部材として好適に用いられる。
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基板処理装置および半導体装置の製造方法
【課題】プラズマを利用して金属膜上に低温で成膜した場合に、金属膜と成膜した膜の密着性を改善する。
【解決手段】処理室201と、ガス供給口425、435を有するバッファ室423、433と、第1の処理ガスを前記処理室に供給する処理ガス供給系310と、第2の処理ガスをバッファ室423、433に供給可能な処理ガス供給系320、330と、高周波電源270と、プラズマ発生用電極471、472、481、482と、からなる処理炉202を使用して、表面に金属膜が形成された基板を、前記プラズマ発生用電極に高周波電力が印加されない状態で、前記第1の処理ガスおよび前記第2の処理ガスに順次曝して前記金属膜の上に第1の膜を形成した後、該第1の膜が形成された前記基板を、前記第1の処理ガスおよび、前記電極に高周波電力が印加されることにより活性化された前記第2の処理ガスに交互に曝し、前記金属膜の上に第2の膜を形成する。
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シリコン発光素子に用いる活性層およびその活性層の製造方法
【課題】 基板の面内方向のキャリア拡散と基板垂直方向のキャリア注入を高効率に行うことのできる、シリコン発光素子用の活性層および該活性層の製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】 シリコン発光素子に用いる活性層であり、シリコン化合物からなる第1の層と、該第1の層よりもバンドギャップが大きいシリコン化合物からなる第2の層とが基板上に交互に積層された多層膜構造を有する。また、複数のシリコンナノ粒子が多層膜構造の中に設けられている。第1の層に含まれるシリコン原子の量は、第2の層に含まれるシリコン原子の量よりも多く、複数のシリコンナノ粒子のうちの少なくとも一つは、前記第1の層と前記第2の層との境界面のうち少なくとも一つの面を越えて存在する。
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