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シリコン基板上で単体の水素を貯蔵し回収するシステム。水素貯蔵部材が少なくとも1つの表面を有し、単体の水素がその表面に容易に結合し、またはその表面に単体の水素が容易に吸着され、その表面から単体の水素の脱離を制御することができる。シリコンは、単結晶または多結晶であることができ、薄く切られたウェハとして、非常に精密に押し出されたコラムとして形成することができ、または集積回路の製造における廃棄物から誘導することができる。シリコンの表面は、多孔率および表面積を増加させ、したがって、単体の水素に対する貯蔵効率を増加させる様々な様式で処理することができる。このシステムは、電力を発生させる燃料電池システムに燃料を供給し、それとともに独立型の補助動力源を形成する制御システムと協働するために有用である。
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本発明は、水素を貯蔵するのに好適な物質を含む水素貯蔵器に関し、前記物質はナノ−構造化ケイ素から構成される。本発明は、この水素貯蔵器の製造方法及び使用方法にも関する。 (もっと読む)


複数のナノ粒子を提供する。本ナノ粒子は、金属酸化物または半導体酸化物の表面領域と、金属または半導体のコア領域とを有してもよく、および/または、均一にドープされていてもよい。本ナノ粒子は、バルク材料を摩砕して粉末とし、その後、この粉末を溶液中でエッチングして所望のナノ粒子サイズとすることによって形成することができる。

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キャスト法を用いたSi系結晶の成長方法において、前記Si系結晶の結晶方位を自在に制御することができ、前記Si系結晶から切り出して得たウエハが所定のエッチング操作後において、形状方位の揃ったテクスチャー構造を有するように、前記Si系結晶内に形状方位の揃った構造を簡易に形成する。キャスト成長用坩堝11の底部に、少なくともSiを含む結晶片12を配置する。次いで、キャスト成長用坩堝11内において、結晶片12の上方にSi原料13を配置する。次いで、キャスト成長用坩堝12を加熱して、結晶片12の少なくとも一部が残存するようにSi原料13を溶解して、Si融液14を形成する。次いで、Si融液14を冷却及び凝固させることにより、結晶片12の残部12AからSi系結晶を一方向成長させる。 (もっと読む)


本発明は新規な超疎液性ナノ繊維、このようなナノ繊維を含む構造、該ナノ繊維表面の作製法及び使用法を提供する。 (もっと読む)


2つのシリコン部材と、シームを横切って部材を整合するように、部材が組立てられる結合組立体とを接合するための方法。シリコン粉末からのシリコンがシームを横切ってプラズマ溶射され、シームの各側面上のシリコン部材に結合するシリコン・コーティングを形成し、それにより部材を一緒に結合する。プラズマ溶射したシリコンは、下に位置するスピン・オン・グラスの結合を密封することができるか、又は一次結合としての働きをすることができ、この場合、貫通ホゾ穴は、ホゾ穴の対向端部上に2つのシリコン層がプラズマ溶射されるような貫通ホゾ穴であることが好ましい。シリコン・ウェハ・タワー又はボートは最終製品であってもよい。この方法は円形に配置されているセグメント又はステーブから、リング又はチューブを形成するために使用することができる。シリコンのプラズマ溶射は、シリコン部材に発生したクラック又は欠けを修理することができる。
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本発明は、珪素とHClガスとを、流動床反応器、攪拌床反応器または固定床反応器中で、250℃ないし1100℃の範囲の温度及び0.5−30気圧の絶対圧力の条件下で反応させることによってトリクロルシランを製造する際、反応器に供給される珪素が30ないし10000ppmの範囲のクロムを含有することを特徴とするトリクロルシランの製造法に関する。本発明はまた、珪素とHClガスとの反応によるトリクロルシランの製造に使用するための珪素であって、該珪素が30ないし10000ppmの範囲のクロムを含有し、残部は通常の不純物以外は珪素であることを特徴とする前記目的に使用する珪素に関する。

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【目的】 結晶化を助長する触媒元素を用いて、550℃程度、4時間程度の加熱処理で結晶性珪素を得る方法において、触媒元素の導入量を精密に制御する。
【構成】 ガラス基板11上に形成された非晶質珪素膜12上に極薄の酸化膜13を形成し、ニッケル等の触媒元素を10〜200ppm(要調整)添加した酢酸塩溶液等の水溶液14を滴下する。この状態で所定の時間保持し、スピナー15を用いてスピンドライを行なう。そして、550℃、4時間の加熱処理を行なうことにより、結晶性珪素膜を得る。上記構成において、溶液中の触媒元素の濃度を調整することで、完成した結晶性珪素膜中における触媒元素の濃度を精密に制御することができる。 (もっと読む)


【目的】 半導体製造治具に用いられる機械的強度、特に、曲げ強度及び破壊靭性に優れたシリコン材の提供。
【構成】 固体シリコン中に繊維状窒化ケイ素が析出して分散含有されることを特徴とする窒化ケイ素繊維強化シリコン材。 (もっと読む)


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