【課題】ホウ素化合物量を低減した多結晶シリコンの製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】本発明においては、トリクロロシラン（ＴＣＳ）タンク２ａと一連の蒸留ユニット４〜６とを接続するトリクロロシラン（ＴＣＳ）ライン２２においてＡｒガスを供給する。蒸留ユニット４〜６は、圧力変換器４ｅ〜６ｅと、蒸留ユニット４〜６からのベントガスを排出する排気ライン２６上に位置づけられた圧力独立制御弁（ＰＩＣ−Ｖ）４ｆ〜６ｆとを有する。Ａｒガスは、ＰＩＣ−Ｖ４ｆ〜６ｆを開放するよう設定された圧力より高い圧力を有するＴＣＳライン２２へと供給される。ベントガスを蒸留ユニット４〜６から連続的に排出しつつ、ＴＣＳは蒸留ユニット４〜６により蒸留される。 （もっと読む）

【課題】繊維状多結晶Ｓｉを製造する方法、及び、当該方法により製造される繊維状多結晶Ｓｉを提供する。
【解決手段】Ｓｉとアルカリ金属を主成分として含む混合融液より糸状物を紡糸する行程と、当該紡糸された糸状物からアルカリ金属を蒸発させて除去する行程を有する繊維状多結晶Ｓｉの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉその他の各種の物質中の不純物を従来に比べて極めて低温で効率的に、しかも簡単な操作で除去することができ、高純度物質を低コストで容易に大量に製造することができる高純度物質の製造方法を提供する。
【解決手段】高純度物質の製造方法は、Ｂ、Ｃ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｓ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｐｏ、Ｍｏ、Ｗ、Ｔｃ、Ｒｅ、ＲｕおよびＯｓからなる群より選ばれた少なくとも一種の元素と少なくとも一種の不純物とからなる原料物質を、自己解離定数ｐＫ_apが１４より大きい有機溶媒に強塩基を溶解した溶液中に浸漬することにより溶解する工程を有する。有機溶媒としてはメタノールやエタノールなど、強塩基としてはＫＯＨやＮａＯＨなどを用いる。例えば、原料物質としてＰやＢなどを不純物として含有するＳｉ、有機溶媒としてメタノール、強塩基としてＫＯＨを用いてＳｉ（ＯＨ）₄ を製造する。 （もっと読む）

クロロシラン（主に：トリクロロシラン）の製造のためおよびこれらのクロロシランからの高純度ポリシリコンの堆積のための方法および関係する材料。クロロシラン製造のためのソースは共晶または亜共晶の銅−シリコンであり、前記銅−シリコンの濃度範囲は１０ないし１６ｗｔ％シリコンである。共晶または亜共晶の銅−シリコンは、塩素処理反応器に好適な形状に鋳造され、そこで、少なくとも部分的にＨＣｌからなるプロセスガスに曝される。このガスは共晶または亜共晶の銅−シリコンの表面で反応してシリコンを揮発性クロロシランの形態で抽出する。貧化した共晶または亜共晶の材料はその後リサイクルすることができ、抽出された量のシリコンが補充され、この材料は所望の形状へ再鋳造される。 （もっと読む）

【課題】所定の粒度分布まで粉砕された、金属シリコンから出発する多結晶シリコンの製造方法を提供する。
【解決手段】金属シリコンと無水フッ化水素(ＨＦ)とを反応させて、四フッ化ケイ素(ＳｉＦ４)を得ること、および四フッ化ケイ素(ＳｉＦ４)を有機溶媒または溶融塩の流体媒体におけるアルカリ金属水素化物またはアルカリ土類金属水素化物で水素添加する反応によってモノシラン(ＳｉＨ４)の合成を作動させることを含む。次に、前記モノシラン(ＳｉＨ４)の沸騰疑似流動床反応器において熱分解を行って、高純度粒状多結晶シリコンを得る。 （もっと読む）

【課題】金属級Ｓｉから太陽電池級Ｓｉを製造すべく、低純度Ｓｉから高純度Ｓｉへの精製を効率良く行い得るＳｉ精製方法、Ｓｉ精製装置及びＳｉ精製膜製造装置を提供する。
【解決手段】Ｓｉ精製方法は、低純度Ｓｉを原子状水素と化学反応させることにより、除去したいボロン（Ｂ）からなる水素化ガスＢ_２Ｈ_６とＳｉからなる水素化ガスＳｉＨ_４とを含む水素化ガス母集団を生成する工程と、水素化ガス母集団を、除去したいボロン（Ｂ）からなる水素化ガスＢ_２Ｈ_６の分解温度以上、かつＳｉからなる水素化ガスＳｉＨ_４の分解温度以下となる範囲に温度制御された加熱物体表面に衝突させることにより、除去したいボロン（Ｂ）を加熱物体表面に固着させて水素化ガス母集団から除去して、低純度Ｓｉよりも純度の高い高純度Ｓｉを得る工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】亜鉛還元法によって四塩化珪素からシリコンを製造する際に、副生した塩化亜鉛を効率的に処理することによって、比較的安価に高純度シリコンを製造する方法の提供。
【解決手段】本発明の高純度シリコンの製造方法は、（１）金属珪素を塩化水素ガスと反応させる工程、（２）得られた反応生成物を蒸留して四塩化珪素を得る工程、（３）得られた四塩化珪素を亜鉛ガスと気相反応させ、高純度シリコンを生成する工程、（４）副生された塩化亜鉛を水素ガスと反応させる工程、（５）得られた反応生成物から亜鉛と塩化水素とを分離回収する工程を含み、工程（５）で分離回収された亜鉛を工程（３）の亜鉛ガスの原料として使用し、かつ、工程（５）で分離回収された塩化水素を工程（１）の塩化水素ガスの原料として使用することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】不純シリコン源からの調整されたレベルのｎ‐型及びｐ‐型不純物を有する精製多結晶シリコン粒の商業規模の生産装置を提供する。
【解決手段】精製システムは、温度及び滞留時間の厳密な制御によって様々な度合いの固体シリコンの精製及び析出が実現されるよう固体と気体が輸送される二相流動床を含む温度制御された反応装置又は槽の１つ以上の系列と、ＦｅＳｉ及びＦｅＩ_２等の高融点不純物の化合物の分離及び回収と、四ヨウ化シリコンの精製、分離及びリサイクルと、ヨウ素還流によって促進された、連続分別蒸留塔の中のＡｌＩ_３等の低沸点液体不純物のヨウ化物化合物の分離及び回収と、分別蒸留塔の下流の液体混合物中の不純物ヨウ化物及び元素シリコンを含む非常に細かな固体粒子の分離及び回収と、プロセスからの固体及び液体のヨウ化物不純物廃棄物の流れの酸化からの原料ヨウ素の回収を含む。 （もっと読む）

【課題】 プロセスを簡素化し、コストの低減と生産性の向上を大幅に図ることができるシリコン製造方法を提供すること。
【解決手段】 第１工程では、珪質頁岩を精製して高純度シリカを製造する。第２工程では、第１工程で得た高純度シリカを原料として、レーザ（例えば、エキシマレーザ）を用いてＳｉ−Ｏの結合およびＳｉ−Ｓｉの結合を順次切断し、得られたシリコンを水素化してシリコン水素化物（主にＳｉＨ_４）を生成する。第３工程では、第２工程で得たシリコン水素化物を精製／さらに分解して高純度シランおよび高純度シリコンを生成する。 （もっと読む）