【課題】 微細パターンを精度よく形成することのできる樹脂板およびその形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明にかかる樹脂板１００の形成方法は、インク転写部を有する樹脂板の形成方法であって、（ａ）シロキサン結合を有するケイ素樹脂膜に高エネルギー線を照射することにより、前記ケイ素樹脂膜１２を酸化ケイ素膜１４にかえる工程を含む。 （もっと読む）

本発明は、波長２５０ｎｍより短波長のエキシマレーザー等の紫外線レーザーを光源とした装置などにおいて、プリズム等の光学素子やオプティカルインテグレータを構成する各種の光学素子として使用可能な人工水晶部材に関するものである。
本発明は、波長２５０ｎｍより短波長のレーザー光を光源としてマスクを照明する照明光学系と、前記マスクのパターン像を被露光基板上に投影露光する投影光学系とを備えた露光装置であって、波長１５０ｎｍの光に対する初期透過率が１ｃｍ当たり６０％以上、脈理が日本光学硝子工業会規格（ＪＯＧＩＳ）で定める１級又は２級、３５８５ｃｍ^−１に位置するヒドロキシル基の赤外吸収帯の吸収係数αが０．０３５／ｃｍ以下、及びアルミニウム含有量が１ｐｐｍ以下及びリチウム含有量が０．５ｐｐｍ以下である人工水晶部材からなる光学素子を前記照明光学系及び／又は前記投影光学系に配置した露光装置である。
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【課題】 先端材料分野において、その応用展開が有望視される有機無機複合ナノファイバーの簡便な製造方法を提供することにある。
【解決手段】 直鎖状ポリエチレンイミン骨格を有する結晶性ナノファイバーの水性分散体を７０℃以下で濃縮し、次いでそれにアルコキシシランを添加し、該アルコキシシランを加水分解することを特徴とする有機無機複合ナノファイバーの製造方法を提供し、特に前記水性分散体が該結晶性ナノファイバーを０．１〜２０質量％含有し、前記水性分散体を濃縮して水含有量１０〜９６質量％とし、且つ前記アルコキシシランの添加量が結晶性ナノファイバーに対して１〜５００質量倍である有機無機複合ナノファイバーの製造方法を提供する。 （もっと読む）

同一または異なる化学的組成および／または構造であって、かつ固体の形でナノスケール粉末の混合物を、制御可能なガス流の存在下で容器中に導入し、その際、ガス流は、ナノスケール粉末を懸濁液の形で維持し、かつ完全に混合させ、その後に容器から除去される程度に調整していることを特徴とする、ナノスケール粉末を均質化するための方法。 （もっと読む）

【課題】 従来と比較して平坦性に優れるシリカ系被膜を形成することができるシリカ系被膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】 本発明は、（ａ）シロキサン樹脂、（ｂ）その（ａ）成分を溶解可能な溶媒、及び、（ｃ）オニウム塩を含有してなるシリカ系被膜形成用組成物であって、上記（ｃ）成分の配合割合が上記（ａ）成分の総量１００重量部に対して０．００１〜０．５重量部であるシリカ系被膜形成用組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】 均一な三次元周期を持って配列した細孔を有し、構造安定性及び耐薬品性に優れた強固な構造を有する無機酸化物周期構造体、およびこれら構造体の簡便な製造方法を提供すること。
【解決手段】 無機酸化物の構造体中に、孔径が２０ｎｍ〜１０μｍの範囲にある細孔が三次元周期を持って配列し、隣接する細孔の中心間を結ぶ線上の無機酸化物厚さが５ｎｍ〜１０μｍの範囲にある無機酸化物周期構造体、及び有機高分子化合物微粒子をコア部、架橋した親水性有機高分子化合物をシェル部として有するコア−シェル粒子を、水系溶媒に分散させたゾルを得る工程、該ゾルに金属系アルコキシドを加えてゾル−ゲル反応させ、架橋した親水性有機高分子化合物と、生成する無機酸化物とが一体化された複合体中に、前記コア部が三次元周期を持って配列した構造体を得る工程、該構造体を焼結して無機酸化物周期構造体を得る工程からなる製造方法。 （もっと読む）

抗微生物性および／または抗菌性および／または抗真菌性の効果を有し、かつ粒子の形のドープシリカ（ＳｉＯ₂）を製造するための火炎噴霧熱分解法を開示する。前記の火炎法により製造されたドープシリカは、少なくとも１の機能性ドーパントを含有し、前記機能性ドーパントは、少なくとも１の抗微生物性および／または抗菌性および／または抗真菌性に作用する金属および／または金属酸化物からなり、有機溶剤中の、少なくとも１の機能性ドーパント前駆体、特に銀および／または銅を含有する前駆体と、少なくとも１のシリカ前駆体とを含有する前駆体溶液から出発して製造される。このようなドープシリカは、たとえばポリマー材料中に配合するために、または含浸材料として使用するために適切である。 （もっと読む）

【課題】 大きな孔容量と比表面積とを有し、吸着物質の内部への拡散に好適な炭素多孔体、および、その製造方法を提供すること。
【解決手段】 炭素多孔体を製造する方法は、ケージ型シリカ多孔体と炭素源とを混合する工程と、得られた混合物を加熱する工程と、反応物からケージ形シリカ多孔体を除去する工程とを包含する。ケージ型シリカ多孔体は、シリカ骨格と、シリカ骨格によって形成された複数の孔と、複数の孔のそれぞれを相互に結合する、シリカ骨格によって形成されたチャネルとを含む。複数の孔は、三次元に規則的かつ対称に位置し、複数の孔の直径ｄ₁と、チャネルの径ｄ₂とは、関係ｄ₁＞ｄ₂を満たす。ケージ形シリカ多孔体と炭素源とは、ケージ形シリカ多孔体中のケイ素（Ｓｉ）と炭素源中の炭素（Ｃ）とのモル比（Ｃ／Ｓｉ）が、関係０．８＜Ｃ／Ｓｉ＜３．０を満たすように混合される。 （もっと読む）

【課題】中間膜廃材に含まれる無機粒子を再利用できるほどの品質で回収する方法を提供すること。
【解決手段】中間膜に特定の機能を与える無機粒子を、高圧の流体中にて中間膜樹脂を溶解もしくは分解させることにより、中間膜樹脂から分離することを特徴とする合わせガラス用中間膜から無機粒子を回収する。 （もっと読む）

【課題】 リチウムシリケート粒子が液相の溶融塩に懸濁したスラリー状炭酸ガス吸収剤層を反応塔内に形成することにより、原料ガスから炭酸ガスを高効率で吸収分離する。
【解決手段】 炭酸カリウム(アルカリ炭酸塩)の配合により吸収温度：700℃でもK₂CO₃／Li₃CO₃の混合溶融塩11にリチウムシリケート粒子12が懸濁したスラリー状の炭酸ガス吸収層を反応塔内に形成する。吸収側の反応塔10aでは原料ガス（H₂, CO₂)が吸収剤に気液固接触するので吸収反応(Li₄SiO₄＋CO₂→Li₂SiO₃+LiCO₃)が効率よく進行し、脱離側の反応塔10bでは脱離反応(Li₂SiO₃+LiCO₃→Li₄SiO₄＋CO₂)に従って活性種(Li₄SiO₄)12が再生されCO₂が放出される。 （もっと読む）