国際特許分類[C07D307/93]の内容
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(メタ)アクリル酸エステル化合物の製造方法
【課題】レジスト化合物の合成に用いるモノマーであって、ノルボルネン骨格を有する基と、重合に関与する(メタ)アクリロイル基と、これらの基の間に配された連結基とを有する(メタ)アクリル酸エステル化合物を、副生成物の生成を抑えて簡便に製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】特定のノルボルネン誘導体に、末端にハロゲン基を有する特定の低級カルボン酸を、無溶媒下で付加反応させてエステル中間体を得る酸付加工程と、前記エステル中間体と(メタ)アクリル酸とをエステル化反応させるエステル化工程と、を有する(メタ)アクリル酸エステル化合物の製造方法。
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プロスタグランジンの精製方法
本発明は、超臨界流体クロマトグラフィーによるプロスタグランジンの精製方法を提供するが、前記方法は、固定相と、二酸化炭素を含む移動相とを使用し、固定相が未変性シリカゲルのとき、プロスタグランジンはルプロスチオールではない。本発明はさらに、前記方法により製造されるプロスタグランジンを提供する。
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酸発生剤用の塩及びレジスト組成物
【課題】優れた解像度、マスクエラーファクター及びフォーカスマージンを有するパターンを形成することができる塩及びレジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I−AA)で表される塩。
[式中、Q1及びQ2は、F原子又はペルフルオロアルキル基;X1は、単結合又は−[CH2]k−、kは1〜17の整数;Y1は脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基又は芳香族炭化水素基;A1及びA2は脂肪族炭化水素基、脂環式炭化水素基又は芳香族炭化水素基か、A1とA2とが一緒になって環を形成してもよい;Ar1は(m4+1)価の芳香族炭化水素基;B1は、単結合又はアルキレン基;B2は、酸の作用により脱離し得ない基を表し、かつ置換されていてもよいラクトン環を表す;m1及びm2は0〜2、m3は1〜3、m4は1〜3の整数を表す。]
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化学増幅型フォトレジスト組成物
【課題】優れた形状、良好なラインエッジラフネス及び形状を示すパターンを形成し得る化学増幅型フォトレジスト組成物及びそれを用いたパターンの形成方法等を提供することにある。
【解決手段】酸発生剤と樹脂とを含有する化学増幅型フォトレジスト組成物であって、前記樹脂が、水酸基を有する環とラクトン環とを有し、且つ酸に不安定な基を有さないモノマーに由来する構造単位(b2−2)を含む化学増幅型フォトレジスト組成物及びそれを用いたパターンの形成方法。
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サンゴ由来の炎症、アレルギー性疾患治療薬
【課題】本発明の目的は一酸化窒素(NO)の過剰産生を阻害する薬物、および、NOの過剰産生あるいは発現が関与する疾患(炎症、アレルギー性疾患等)の治療薬を提供することである。
【解決手段】サンゴから単離された式(A)で表されるセンブランジテルペンは、細胞による一酸化炭素産生を抑制することができ、炎症およびアレルギー性疾患の予防または治療薬として有効である。
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心臓保護剤及び抗腫瘍剤としてのロカグラオール誘導体
本発明は、新規なロカグラオール誘導体、及び抗腫瘍剤の心毒性を予防するためか又は制限するための、特にかかる薬剤によって誘導される心筋細胞のアポトーシスを予防するためか又は制限するためのロカグラオール誘導体の使用を開示する。 (もっと読む)
プロスタグランジン誘導体の製造方法及びその出発物質
【課題】ベンゾプロスタ−サイクリン誘導体、即ち、5,6,7−トリノル−4,8−インター−m−フェニレンPGI2(5,6,7-trinor-4,8-inter-m-phenylenePGI2)誘導体の製造方法の提供。
【解決手段】下記式(III)の化合物:
をそのカプレートに転換させた後、下記式に従って、α,β−不飽和ケトンに立体選択的にカプレートの1,4−付加反応を行なった。
さらにシクロペンタノン環のケトンを還元し、α−アルコール化合物を得て、α−アルコールをハロゲン化物で置換後、分子内環化反応した。
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13−オキサビシクロ[10.3.0]ペンタデカ−1(12)−エン類、12−メチル−13−オキサビシクロ[10.3.0]ペンタデカン類、およびこれを含む香料組成物
【課題】白檀様香気を有する化合物、及びこれを含有する香料組成物を提供する。
【解決手段】白檀様香気を有する化合物は、式(1)(式中、R1は、メチル基または水素を示す)で表わされる13−オキサビシクロ[10.3.0]ペンタデカ−1(12)−エン類、および式(2)(式中、R2、R3は、メチル基または水素を示す)で表わされる12−メチル−13−オキサビシクロ[10.3.0]ペンタデカン類であり、新規化合物である。また、香料組成物は、これら化合物からの1つ以上を含有して構成される。
【化12】
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ノルボルネンラクトンモノマーの製造方法
【課題】より優れた特性を示すポリマーレジスト材料を与える、ラクトン構造を有する高純度モノマー化合物製造方法の提供。
【解決手段】高純度の下記一般式(IV)で表されるモノマー化合物の製造方法。
(R1〜R6は水素原子、または直鎖状、分岐状もしくは環状の炭素数1〜10の炭化水素基であり;R7とR8の一方は(メタ)アクリロイルオキシ基、他方は−OR13で表される置換基であり;R13は直鎖状、分岐状または環状の炭素数1〜10の炭化水素基である)
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新規光酸発生剤並びにこれを用いたレジスト材料及びパターン形成方法
【解決手段】紫外線、遠紫外線、電子線、EUV、X線、エキシマレーザー、γ線、又はシンクロトロン放射線の高エネルギー線に感応し、一般式(1a)で示されるスルホン酸を発生する化学増幅型レジスト材料用の光酸発生剤。
ROC(=O)R1−COOCH2CF2SO3- H+ (1a)
(ROは水酸基、又は炭素数1〜20のオルガノオキシ基を示す。R1は炭素数1〜20の二価の脂肪族基を示し、ROと共に単環もしくは多環構造を形成していてもよい。)
【効果】本発明の光酸発生剤は、レジスト材料中の樹脂類との相溶性がよく、酸拡散制御を行うことができる。これらスルホン酸を発生する光酸発生剤はデバイス作製工程での塗布、露光前焼成、露光、露光後焼成、現像の工程に問題なく使用できる。更にはArF液浸露光の際の水への溶出も抑えることができるのみならず、ウエハー上に残る水の影響も少なく、欠陥も抑えることができる。
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