【課題】ＴａＮ膜を反応性スパッタ法で形成する際に、その膜厚の面内均一性をより一層高めることを可能にした半導体デバイス用高純度Ｔａ材を提供する。
【解決手段】半導体デバイス用高純度Ｔａ材は、ビッカース硬さがHv70〜150の範囲であると共に、そのばらつきが20％以下とされている。半導体デバイス用高純度Ｔａ材は、スパッタリングターゲットの形成素材として用いられる。 （もっと読む）

【課題】縮径加工の際に不均一変形や断線を発生させることなく、また大掛かりな設備を必要とせず、更に取り扱いの安全性やコスト面での問題も生じることなく、Ｎｂ_３Ｓｎ相内にＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ等の元素を効果的に含有できる超電導線材製造用前駆体の構成を提供する。
【解決手段】本発明の超電導線材製造用前駆体は、ＣｕまたはＣｕ基合金中に、１本または複数本のＮｂまたはＮｂ基合金芯と、１本または複数本のＳｎまたはＳｎ基合金芯が、相互に接触しないように配置された超電導マトリスク部と、その外周に安定化銅層を有する超電導線材製造用前駆体において、前記超電導マトリクス部内の任意の箇所に、Ｔｉ，ＺｒおよびＨｆよりなる群から選ばれる１種以上の金属若しくは合金、またはＴｉ，ＺｒおよびＨｆよりなる群から選ばれる択１種以上の元素を含むＮｂ基合金からなるシート状層を配置したものである。 （もっと読む）

【課題】ＴａＮ膜等を反応性スパッタ法で形成する際に、その膜厚の面内均一性をより一層高めることを可能にしたスパッタリングターゲットの製造方法を提供する。
【解決手段】高純度Ｔａからなるスパッタリングターゲットの製造方法は、高純度Ｔａインゴットに対して2軸以上の方向から鍛造を行う工程と、鍛造工程の途中で2回以上の真空熱処理を行う工程と、鍛造工程および真空熱処理工程を経たＴａ材に冷間圧延を施す工程と、冷間圧延工程を経たＴａ材に再結晶化熱処理を施す工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】微細かつ均質で不純物の含有が少ないＮｂまたはＴａを主成分とする金属粉末を、容易に製造することのできる方法を提供する。
【解決手段】ＮｂまたはＴａを主成分とする金属インゴットに水素化処理を施し、このインゴットを−２０℃以下の温度に冷却した後粉砕して、得られた金属粉末を脱水素化処理する。この方法によれば、水素を吸蔵して脆化した金属インゴットを、相変態を起こす程度の低温にまで冷却してから粉砕することにより、平均粒径が１μｍ未満で、かつ、粒度偏差の小さい金属粉末を得ることが可能になる。また、この製造方法は、粉砕時に不純物が混入する恐れも少ない。従って、本発明のＮｂまたはＴａを主成分とする金属粉末の製造方法は、高温構造材料用部材や電子材用部品の原料に適した、微細かつ均質で不純物の含有が少ない金属粉末を効率良く製造することができる。 （もっと読む）

【課題】高純度で、微細粒径および／または均一な集合組織（texture）を有するタンタル製品を得る要求に応える。
【解決手段】高純度の金属タンタルおよびそれを含む合金が記載されている。金属タンタルは好ましくは少くとも９９．９９５％、そしてもっと好ましくは少くとも９９．９９９％の純度を有する。加えて、約５０μｍ以下の粒径、もしくは厚みの５％増分内の（１００）強度がランダムな１５より小さい集合組織、もしくは約−４．０より大きい（１１１）：（１００）強度の増分対数比、またはこれらの組合わせを有する金属タンタルもしくはその合金が記載されている。さらに金属タンタルからつくられる物品および部品について記載されている。さらに、高純度金属の製造方法が開示されており、タンタルを含有する塩を、この塩を還元してタンタル粉末および第２の塩とすることのできる少くとも１つの化合物と反応容器中で反応させる工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 水素透過性と耐水素脆性を兼ね備えた水素透過合金について、耐水素脆性を損なうことなく水素透過性を改善する。
【解決手段】 水素透過性を担う相２と耐水素脆性を担う相３で構成された複相型水素透過合金において、前記水素透過性を担う相２が連続的につながっており、さらに望ましくは、前記水素透過性を担う相２の成長方向が透過膜１の厚さ方向に揃っている。水素透過合金としてはＮｂ−Ｔｉ−Ｃｏ系合金が例示され、該合金では水素透過性を担う相が（Ｎｂ、Ｔｉ）相で構成され、前記耐水素性を担う相がＣｏＴｉ相で構成されている。水素透過パスのとぎれがなく、優れた水素透過性が得られる。さらに水素透過を担う相の成長方向が透過膜の厚さ方向に揃っていることにより、水素透過パスの距離が短くなってさらに優れた水素透過性能が得られる。 （もっと読む）

本発明において、タンタル及び／又はニオブの粉末のような金属粒子を球状に造粒し塊成化する方法が記載され、この方法は次のステップを含む：ａ）金属粒子を細かく砕いて５０μｍ未満のＤ５０を有する細かい粒子を形成させるステップ；ｂ）揮発性液体を含む細かく砕いた金属粒子（例えば、揮発性液体を含む、タンタル及び／又はニオブの粒子）を造粒して湿潤球状粒子を形成させるステップ；ｃ）湿潤球状粒子を静置乾燥し、揮発性液体を除去して、嵩密度が増加した流動性予備塊成化粒子を形成させるステップ；ｄ）予備塊成化粒子を熱処理するステップ；ｅ）熱処理した粉末を篩にかけて、流動性塊成化粒子を得るステップ。本発明は、球状の流動性塊成化金属粒子、及び、特に、性質が改善されたタンタル及び／又はニオブの粒子を提供する。本発明の塊成化タンタル粉末は、少なくとも約２．０ｇ／秒の流量、約０．２から約６．０ｍ^２／ｇのＢＥＴ表面積、少なくとも１．０μｍのＦＳＳＳ、約１．２ｇ／ｃｍ^３から約５．５ｇ／ｃｍ^３のスコット嵩密度を有する。本発明の塊成化ニオブ粉末は、少なくとも約１．０ｇ／秒の流量、約０．５から約８．０ｍ^２／ｇのＢＥＴ表面積、少なくとも１．０μｍのＦＳＳＳ、約０．７ｇ／ｃｍ^３から約３．５ｇ／ｃｍ^３のスコット嵩密度を有する。前記のタンタル及び／又はニオブの金属粒子は、焼結アノードの細孔径分布を改善し、ペレットの破壊強度を増大させる。本発明は、さらに、本発明によるタンタル及び／又はニオブの粒子から製造される、約５，０００μＦＶ／ｇから約３００，０００μＦＶ／ｇの容量を有する電解コンデンサーアノードを提供する。
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【課題】 水素透過性と耐水素脆性を兼ね備えたＮｂ−Ｔｉ−Ｃｏ合金について、耐水素脆性を損なうことなく水素透過性を改善する。
【解決手段】 Ｎｂ−Ｔｉ−Ｃｏ合金における（Ｎｂ，Ｔｉ）相を粒状組織で構成する。Ｎｂ−Ｔｉ−Ｃｏ合金に好適には８００℃以上で加熱処理を施すことで鋳造状態の共晶組織を粒状組織に変化させることができる。Ｎｂ−Ｔｉ−Ｃｏ合金としては、Ｎｂ_ｘＴｉ_{（１００−ｘ−ｙ）}Ｃｏ_ｙ（ただし、ｘ≦７０、２０≦ｙ≦５０（ｍｏｌ％））が好ましい。加熱における温度と時間を適切な条件とすることにより、水素透過性能が向上し、ＣｏＴｉ相による耐水素脆性の特性を併せ持ち、高性能な実用水素透過膜を提供できる効果がある。 （もっと読む）

本発明は、バルブ金属前駆物質および希釈剤を含有する混合物を第１の容器中で溶融することを含むバルブ金属の製造法、この方法により製造された粉末ならびに該粉末の使用に関する。
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【課題】水素を含む混合ガスから水素を選択的に透過・分離する性能に優れ、燃料電池用の水素ガスの精製・分離装置へ適用でき、安価で水素を多量に吸蔵しても崩壊することがない水素透過合金膜及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水素を透過する金属材料からなる水素透過部（Ａ）と、水素を透過しない金属材料からなる水素不透過部（Ｂ）とから形成され、かつこれらはお互いに隣接しながら複合化して海島状構造をなす水素透過合金膜であって、水素透過部（Ａ）は、水素不透過部（Ｂ）からなるマトリックス中で、膜厚方向に対して連続的に線状で連繋するが、横断面方向に対して相互に独立して微細に分散し、かつ、水素透過部（Ａ）の割合は、膜全体に対して体積率基準で１５〜８０％であることを特徴とする水素透過合金膜などによって提供する。 （もっと読む）