【課題】膜材料の利用効率を向上させることが可能な蒸着装置、蒸着方法、および有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】蒸着装置１００は、膜材料を蒸発させて基板表面に成膜する蒸着装置であって、蒸着槽２０と、蒸着槽２０内に配置され、基板３６を保持する保持部３０と、蒸着槽２０内に保持部３０の基板保持面３４ａに対向して配置され、膜材料を蒸発させる蒸着源４０と、保持部３０を冷却する冷却機構５０と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い反射率が得られ、且つ均一性の高い薄膜を成膜することができる真空成膜装置を提供する。
【解決手段】減圧可能な真空槽２と、この真空槽２内の蒸着空間１０上部に設けられた基材ホルダ４と、真空槽２内に設けられた蒸着源５と、を備えた真空成膜装置１である。蒸着源５を、真空槽２内の蒸着空間１０下部の通常位置に配置された下部蒸着源７と、この下部蒸着源７よりも基材ホルダ４に近い位置に配置された上部蒸着源８とで構成する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ電子銃によるエネルギ密度が低く、断面積の大きい電子ビームパルスによって金属の表面改質と表面被覆を一連の作業として実行する装置を提供する。
【解決手段】陽極を接地した電子ビーム発射電源から高圧直流パルスを、対向極を陰極、被処理体を陽極として印加することにより対向極から被処理体に向けて電子ビームを発射して被処理体の表面改質を行う工程と、対向極を陽極、被処理体を陰極として印加することにより被処理体から対向極に向けて電子ビームを発射して被処理体の表面に対向極のスパッタ粒子を堆積、被覆する工程とを切換える高圧直流パルスの電圧印加極性切換手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】蒸着源が固定されて駆動軸により上下に移動される棚が、カウンターウェイトが装着された滑車と締結することによって、蒸着源及び棚の全体の重さが顕著に低減し、自重が減少した棚を往復移動させるための駆動装置の駆動力も小容量化になることができるとともに、カウンターウェイトによって軽減された棚の重さが望ましくは“０（ｚｅｒｏ）”になるようにして棚の正確な位置移動が可能になり、落下をあらかじめ除去できるようになった蒸着源用移動装置を提供する。
【解決手段】蒸着機が搭載／固定された棚と、この棚が選択的に垂直往復移動されることができるように連動設置された駆動軸と、棚が一端部と締結されて、カウンターウェイトが他端部に装着された重さの軽減部材と、が具備されてなされることを特徴とする蒸着源用移動装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム蒸着法にて、ＭｇＯ蒸着材の蒸発速度・成膜速度の改善を図る。
【解決手段】多孔質焼結体とされ、平均気孔径が０．１〜５００μｍ程度に設定されるＭｇＯ蒸着材の製造方法であって、ＭｇＯ粉末と溶媒とを含むスラリーに気体を混入して原料となし、焼結法によりペレットとする。または、ＭｇＯ粉末と溶媒とを含むスラリーに発泡材を混入して原料となし、焼結法によりペレットとする。または、ＭｇＯ粉末と溶媒とを含むスラリーに、加熱時にガスを発生する添加剤を混入して原料となし、焼結法によりペレットとする。または、粒間に間隙を形成するような粒度分布の狭い粉末原料を使用し、焼結法によりペレットとする。 （もっと読む）

【課題】膜材料の蒸着レートをより精密に制御可能な蒸着装置、蒸着方法、および有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】蒸着装置１００は、膜材料を蒸発させて基板表面３２ａに成膜する蒸着装置であって、蒸着槽２０と、蒸着槽２０内に配置され、基板３２を保持する保持部３０と、蒸着槽２０内に保持部３０の基板保持面３０ａに対向して配置され、膜材料を蒸発させる複数の蒸着源３６，３８と、複数の蒸着源３６，３８のうち少なくとも１つを、基板保持面３０ａに対して相対移動可能な移動手段３６ａ，３８ａと、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、基板ホルダの基板受け治具に被処理基板を嵌め込む際に、被処理基板を浮きなく嵌め込め、その結果、被処理基板の外周縁に割れ、欠けが発生しない基板ホルダおよびそれを備えた成膜装置を提供することである。
【解決手段】本発明の基板ホルダ２１および蒸着装置２０は、筒体２２ａの下端に内向きに張り出す内側フランジ２２ｃを有し、筒体２２ａに嵌め込まれた半導体基板４の外周縁を内側フランジ２２ｃで支持する基板受け治具２２を備え、内側フランジ２２ｃに、半導体基板４の外周縁に対する逃げ溝２３を設けた基板ホルダ２１およびそれを備えた蒸着装置２０である。 （もっと読む）

【課題】再作動の時の追突、自動時の間違って入力されたデータによる棚の追突、及び受動時の作業者の間違いによる棚の追突などがあらかじめ防止されることができるとともに、駆動部による作動から離脱して落下または一方向への慣性力によって棚が超過移動されて隣接した棚と追突されるダメージが防止できるようになった蒸着源用追突防止装置を提供する。
【解決手段】駆動源と、駆動源によって動作するように設置された駆動軸と、駆動軸に垂直往復移動するように設置された１以上の棚と、この棚に固定された蒸着機が含まれてなる駆動部と、隣接した棚の距離が検知されるように設置されたセンサーが含まれてなる検知部と、検知部のセンサーから収集されたデータと前もって設定されたデータを比べて駆動部の作動を制御する制御部と、が具備されてなることを特徴とする蒸着源用追突防止装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する際の大面積成膜における膜厚制御性に優れた蒸着源を提供する。
【解決手段】真空チャンバー１内に複数の放出口１１を備えた蒸着源１０において、成膜材料を収容する坩堝１４と複数の放出口１１の間に分岐点１４ｃを設け、分岐点１４ｃより坩堝１４側の供給流路１４ａにバルブ１２を設ける。バルブ１２から各放出口１１までのコンダクタンスが均等になるように、分岐点１４ｃから分岐流路１４ａを経てそれぞれの放出口１１に至るまでの流路の長さを等しくする。 （もっと読む）

【課題】底部及び側壁を有するボート又はるつぼの形の容器、及び前記容器に存在する蒸発された原材料から燐光体又はシンチレータ材料を層の形でその上に蒸着するための支持体を蒸着アセンブリとして含む蒸着装置を提供する。
【解決手段】前記容器は、一つ以上の穿孔を有する少なくとも二つのカバー又は蓋のアセンブリ７，８を内部に含み、カバー又は蓋の一つは前記支持体により近い第一蓋としての外部蓋８であり、他のカバー又は蓋は前記ボート又はるつぼの底部により近い第二蓋としての内部蓋７であり、前記外部蓋８に存在する穿孔は、前記ボート又はるつぼの底部により近い前記内部蓋７に存在する穿孔の全表面積より大きい全表面積を有し、前記蒸着装置において前記るつぼの底部又は前記原材料は前記支持体のいかなる場所からも前記穿孔を通して決して直接見ることができない。 （もっと読む）