【課題】真空蒸着装置において、基板の回転の中心位置であっても膜厚分布を容易に制御可能な装置を提供する。
【解決手段】蒸着材料を蒸発させる蒸発源、第１の回転軸に対して回転され蒸発源に対して対向配置される回転基板、及び第２の回転軸に対して回転され回転基板を蒸発源から部分的に遮蔽する回転膜厚補正板を備えた真空蒸着装置において、第２の回転軸が、回転基板の周縁内に第１の回転軸と離隔してかつ平行に規定される構成とした。 （もっと読む）

【課題】紫外線照射ランプを基板に近接した位置から照射でき、基板を効率的に、しかもむらなく洗浄することができるようになし、また紫外線照射ランプが蒸着源から基板までの経路と干渉しないようにする。
【解決手段】真空蒸着装置を構成するチャンバ１の内部に成膜される基板１０が所定数装架されたドーム４が設けられ、このドーム４の下方位置に蒸着源ユニット５が設置されている。紫外線照射ランプ２０とランプハウス２１とからなるランプユニット２２はドーム４に近接した紫外線照射位置と、ドーム４から離間した退避位置との間に往復変位可能になっており、紫外線照射ランプ２０はライン状のものであり、その長さ寸法は、ドーム４において、各基板１０が装架される基板装着孔７の配列幅寸法より長く、紫外線照射位置では、各基板１０に対して僅かな隙間を介して対面する。 （もっと読む）

【課題】本発明は半導体の製造及び各種の成形材料の表面コーティングに使われる電圧可変型薄膜蒸着装置及び方法を提供する。
【解決手段】
本発明に係る電圧可変型薄膜蒸着方法は、薄膜物質を目的物に誘導及び蒸着するバイアス電圧の大きさを、使用者により設定された時間中に連続的に可変して印加するようにした。また、本発明に係る電圧可変型薄膜蒸着装置は、薄膜物質を目的物に誘導及び蒸着させるためのバイアス電圧を出力する電圧供給部と、前記出力されるバイアス電圧の大きさが使用者により設定された時間中に連続的に可変されるように前記電圧供給部とを制御する制御部を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】成膜材料の供給管内の圧力変動を抑制し、膜厚の制御を精度良く行う。
【解決手段】成膜材料Ｍを加熱して昇華又は蒸発させる成膜源２１と、成膜材料を成膜する基板Ｗが設けられている成膜室１１と、を有する成膜装置において、成膜室内に、成膜材料を放出する放出口２２を設ける。成膜源２１と放出口２２とを連結する供給管２３に、成膜材料の流通を遮断、開放又は可変調整する流量調整機構２４を設け、成膜源２１の成膜材料Ｍの表面から流量調整機構２４までの材料流通空間Ｖの容積を調整する容積可変機構３１を供給管２３に接続する。流量調整機構２４の開閉動作によって一時的に材料流通空間Ｖの圧力が増減したときに、容積可変機構３１の内容積を調整することで、圧力変動を抑制する。 （もっと読む）

【課題】被膜内部および被膜表面のマクロ粒子を減少させて、被膜の穴、ボイド、ポアの量を低減することで、クレーター摩耗、逃げ面摩耗、フリッティングを低減し、かつ、フリッティングやスポーリングを生じないで厚いＰＶＤ被膜を堆積させることができる、被膜付き切削工具の製造方法を提供する。
【解決手段】基材を用意する工程と、該基材上に陰極アーク蒸発ＰＶＤ堆積法で被膜を堆積させる工程とを含み、該被膜は窒化物、酸化物、硼化物、炭化物、炭窒化物、炭酸窒化物またはこれらの組合せである、被膜付き切削工具を製造する方法において、
上記堆積工程において、該被膜に別個の中間イオンエッチングを１回以上施す。 （もっと読む）

【課題】 粉末状担体の全体に金属ナノ粒子を均等に担持させることができる金属蒸着装置および粉末状担体の撹拌方法を提供すること。
【解決手段】 真空チャンバ１１内で容器４１を水平な状態とし内部の粉体状アルミナＡへ施す例えば１００回の真空アーク放電による白金の蒸着と間欠的な次の同様な蒸着との間において、容器４１を揺動軸４５の回りに第１の方向（例えば右方向）へ揺動させ、傾斜する容器４１の底面４２上で粉体状アルミナＡを容器４１の端部の方へ滑落させて撹拌し、容器４１の右側の端部が下方の衝突部材を兼ねる衝突検知センサ４７によって所定の傾斜角度に達したことが検知されると、直ちに揺動の方向を逆にして容器４１を水平にすると同時に、端部の方へ滑落している粉体状アルミナＡを容器４１の中央側へ跳ね戻し粉体状アルミナＡを裏返しにするように撹拌する。 （もっと読む）

【課題】 被蒸着フィルムの幅方向における反応物質の吹出し量を均一にすると共に蒸着材料蒸気の流れの乱れを抑制して、高品質の蒸着を可能とする。
【解決手段】 蒸着材料蒸気の流れの中に酸素を吹き込むための吹出し孔２８を多数備えた酸素吹出し管２７の内部を複数の仕切り２９ａ、２９ｂ、２９ｃによって複数の吹出し領域２７ａ〜２７ｄに分割し、各吹出し領域の長さを短くすることで、各吹出し孔２８からの酸素吹出し量の均一化を図り、しかも各吹出し領域には、管端に配置した酸素給送具３１ａ、３１ｄ及び管内に挿入した酸素給送用内管３２ｂ、３２ｃを介して酸素を給送する構成とすることで、酸素給送用の配管を有効蒸着領域の外に配置し、蒸発した蒸着材料の流れを乱さないようにする。 （もっと読む）

【課題】比較的大面積を有し微細な孔を含む薄い金属板が損傷してしまうことを防止することができる梱包用部材を提供することを目的とする。
【解決手段】梱包用部材３０は、孔１５が形成されている複数の有孔領域１３を含む金属板１０を梱包するための部材である。梱包用部材は、金属板と対向して金属板の両側に配置されるようになる平板状の一対の平板部３２と、一対の平板部の間に設けられ、金属板の板面に沿った外方に配置されるようになるフレーム部３６と、金属板の有孔領域以外の領域と各平板部との間に配置されるようになる中間支持部３４と、を備える。中間支持部は、金属板の梱包時に金属板の有孔領域以外の領域を押圧する。 （もっと読む）

【課題】スプラッシュ数やスカム率が低く、コンピュータのデータ等の情報を記録する媒体としても利用可能な高品質の蒸着テープを得ることができる蒸着用 素材を提供する。
【解決手段】コバルト系蒸着用素材に含まれる炭素、マグネシウム、珪素、マンガン、アルミニウム、およびチタンの濃度を、合計で４２〜７１ｐｐｍとなるようにする。 （もっと読む）

【課題】金型の再生を低コストで行う。
【解決手段】母材１５の上に、切削加工層として白金属系の金属メッキ層２０を設ける。切削加工層を、ダイヤモンドバイトを用いた超精密切削により所望の光学面形状を高精度に仕上げる。その上に、表面保護膜層２１、離型層２２を設ける。成形の工程に用いて加熱・冷却を繰り返し、離型層２２、表面保護膜層２１が劣化した金型は、成形面をフッ酸に浸漬して、劣化した表面保護膜層２１、離型層２２を除去し、新たに表面保護膜層２１、離型層２２を付けて再生する。白金属系の金属メッキ層２０は、フッ酸に侵食されないので、超精密加工された光学面はその形状が維持される。 （もっと読む）