【課題】ライン型蒸発源の設置間隔を狭く設定すると、メンテナンス性が悪くなる。
【解決手段】蒸着装置の構成として、Ｙ方向に並べて設けられた複数のライン型蒸発源３と、複数のライン型蒸発源３を、当該ライン型蒸発源の並び方向Ｙ及び／又は長手方向Ｘに個別に移動可能に支持する移動支持手段（１１〜１６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム蒸着法にて蒸着しても、スプラッシュ程度と成膜（蒸発）速度との最適化を図ることができ、同時に、材料コストの低減と生産性向上とを図る。
【解決手段】ＭｇＯ純度が９９．０％以上かつ相対密度が９０．０％以上で、外形体積が３５ｍｍ^３ 〜１５００ｍｍ^３ である。 （もっと読む）

【課題】優れた親水性を有し、強度も高く、製造も容易で、防曇膜等の防曇材（防曇処理済材）に適正な親水性材を提供する。
【解決手段】防曇層１４等となる親水性材は、無機酸化物層からなる親水性層を有し、この親水性層が、基材の法線に対して１０〜７０°の角度αを有する柱からなる柱状構造、すなわち基材の法線に対して所定の角度で傾斜する柱からなり、前記親水性層の厚さが、１００〜３０００ｎｍである柱状構造。 （もっと読む）

【課題】熱線膨張係数の異なるプラスチック、あるいはガラス基板等の素材を用いた被蒸着基板に対して所定のパターン等を蒸着する際、温度上昇に耐え、高精度のマスキングをすることができる蒸着用マスクを提供する。
【解決手段】各種の回路パターン等が形成されたマスク１に対して種々の材料よりなる保持基板２を、接着あるいはその他の方法で貼り合わせて一体化し、熱線膨張に対して安定化した高精度な蒸着用マスクを構成する。 （もっと読む）

【課題】薄膜形成装置の真空槽内で水晶振動子を用いて膜厚を測定する場合に、水晶振動子の温度変化によって膜厚測定値に誤差が生じる。
【解決手段】膜厚センサ５の構成として、膜厚測定用の水晶振動子１１と、この水晶振動子１１を保持するハウジング１３と、このハウジング１３を保持するとともに、ハウジング１３を介して水晶振動子１１を冷却する水冷式のホルダ２０とを備えた構成とする。また、ハウジング１３とホルダ２０との間に、熱伝導性を有する振動吸収部材２３を挿入する。 （もっと読む）

【課題】反射防止膜を成膜する際の安全性を高めると共に、基板に対する水素パッシベーションを効果的に行って生産性も向上する。
【解決手段】太陽電池用の反射防止膜を成膜する成膜装置１において、成膜室９内にプラズマビームＰｂ２を供給し、酸化珪素からなるタブレットＭを昇華させて反射防止膜を成膜する。更に、水素イオン発生ガスを成膜室９内に導入し、アークプラズマ環境で水素イオンを生成し、その水素イオンでダングリングボンドを終端する。この成膜装置１では、酸化珪素からなるタブレットＭを用いているため、モノシランガスに比べて安全性は極めて高い。さらに、加熱ヒータ２６による加熱によって水素パッシベーションが促進される。その結果として、基板Ｗに対する水素パッシベーションを効果的に行いながら生産性も向上できる。 （もっと読む）

【課題】合成樹脂で形成された光学素子に光学膜を形成する際に、光学膜形成用治具内で光学素子の位置が変動しても、被接着部位である周縁部に充分に光学膜を形成でき、接着強度の確保できる光学素子及び光学膜形成用治具を得る。
【解決手段】合成樹脂からなり、光学機能面と、該光学機能面の外周部に形成され他部品と接着される被接着部位とが一体的に形成された円形状の光学素子に、光学膜を形成するための穴部及び光学素子の落下防止のための受け部が形成された光学膜形成用治具において、受け部が、少なくとも３箇所の半径方向に延伸された突起部で構成されている光学膜形成用治具とする。 （もっと読む）

【課題】反応域を減少または消失させる層を配置した安価なサーマルバリアコ
ーティングシステムの提供。
【解決手段】基材、基材の上の第１遷移金属層、第１遷移金属層の上のボンドコート、ボンドコートの上の第２遷移金属層および第２遷移金属層の上の任意のセラミックトップコートを含むサーマルバリアコーティングシステム。 （もっと読む）

【課題】凹凸格子の凸部壁面に金属が被着することを抑制しながら微細凹凸格子を有するワイヤグリッド偏光板を得ることができるワイヤグリッド偏光板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のワイヤグリッド偏光板の製造方法は、基材表面の格子状凸部に対して、前記格子状凸部の長手方向と垂直に交わる平面内であって基材面に対する垂線と金属を被着する方向とのなす角をθとし、被着開始時の前記なす角をθdとし、被着終了時の前記なす角をθsとしたときに、θsからθdとの間の角度範囲における２つ以上の角度であって大きい方の角度から順次金属を被着して、格子状凸部を有する基材上に金属ワイヤを形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ハード磁気ディスクに潤滑剤蒸気を塗布する方法および装置を提供する。
【解決手段】潤滑剤コーティングを、潤滑剤蒸気の状態で、ディスク１８と蒸気になるよう加熱される液体のためのリザーバ２４との間の潤滑剤蒸気の流路内に配置するディスク１８に塗布する。この流路は、リザーバ２４と、開孔を有するディフューザ３０との間における蒸気チャンバ２６と、流路を選択的にかつ同時に開放および遮蔽するシャッタ２８とを備える。シャッタ２８を閉じている間に、潤滑剤蒸気は蒸気チャンバ２６内に閉じ込める。シャッタ２８が開いている間に、潤滑剤蒸気は流路を経てリザーバ２４からホルダ１６に流れる。流路内のディスク１８への塗布における長期間にわたるアイドル期間中、シャッタ２８を閉じ蒸発熱を液体潤滑剤に加え、それにより蒸気チャンバ２６内の圧力がリザーバ２４内の液体の量をほぼ一定を維持するようにする。 （もっと読む）