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国際特許分類[C23C14/24]の内容

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【課題】ホールサイズが小さい場合でも、ホール底部の表面にCNTを成長せしめることができるCNT成長用微細ホール形成方法、CNT成長用基板及びCNT成長方法の提供。
【解決手段】CNT成長用基板の主面上に母線層、CNT成長用触媒層としての触媒金属の酸化物層、及び絶縁層をこの順番に設け、絶縁層をエッチングして絶縁層にCNT成長用の微細ホールを形成する。このCNT成長用微細ホールが形成されている基板。このCNT成長用微細ホールの底部表面に、CVD法によりCNTを成長せしめる。 (もっと読む)


【課題】 耐摩耗性と耐欠損性を兼ね備えた切削工具を提供する。
【解決手段】 硬質合金母材の表面に被覆層が形成されてなる切削工具の製造方法であって、前記被覆層の形成に先立ち、前記母材の表面に、前記母材表面を平滑にする第1加工と、前記母材表面に物理的手法により凹部を設ける第2加工とを施す。好ましくは、前記第1加工としてブラシ研磨加工を施し、前記第2加工としてショットブラスト加工を施す。前記母材は、周期表の4、5、6族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物からなる群より選ばれる1種以上であり、炭窒化チタンまたは炭化タングステンのいずれか一方を少なくとも必須とする第一材料(A)と、鉄族金属を主成分とする第二材料(B)とから形成する。 (もっと読む)


【課題】凹凸格子の凸部壁面に金属が被着することを抑制しながら微細凹凸格子を有するワイヤグリッド偏光板を得ることができるワイヤグリッド偏光板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のワイヤグリッド偏光板の製造方法は、基材表面の格子状凸部に対して、前記格子状凸部の長手方向と垂直に交わる平面内であって基材面に対する垂線と金属を被着する方向とのなす角をθとし、被着開始時の前記なす角をθdとし、被着終了時の前記なす角をθsとしたときに、θsからθdとの間の角度範囲における2つ以上の角度であって大きい方の角度から順次金属を被着して、格子状凸部を有する基材上に金属ワイヤを形成することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】ハード磁気ディスクに潤滑剤蒸気を塗布する方法および装置を提供する。
【解決手段】潤滑剤コーティングを、潤滑剤蒸気の状態で、ディスク18と蒸気になるよう加熱される液体のためのリザーバ24との間の潤滑剤蒸気の流路内に配置するディスク18に塗布する。この流路は、リザーバ24と、開孔を有するディフューザ30との間における蒸気チャンバ26と、流路を選択的にかつ同時に開放および遮蔽するシャッタ28とを備える。シャッタ28を閉じている間に、潤滑剤蒸気は蒸気チャンバ26内に閉じ込める。シャッタ28が開いている間に、潤滑剤蒸気は流路を経てリザーバ24からホルダ16に流れる。流路内のディスク18への塗布における長期間にわたるアイドル期間中、シャッタ28を閉じ蒸発熱を液体潤滑剤に加え、それにより蒸気チャンバ26内の圧力がリザーバ24内の液体の量をほぼ一定を維持するようにする。 (もっと読む)


【課題】合金ナノ粒子及び合金薄膜の効率よい作製方法、この方法を実施するための同軸型真空アーク蒸着装置の提供。
【解決手段】少なくとも2つの蒸着源の各トリガ電極と各アノード電極との間にトリガ放電をパルス的に発生させて、異なる金属材料で構成された各カソード電極と各アノード電極との間にアーク放電を発生させる際に、各アーク放電を同時発生させ、各カソード電極の金属材料から生成するナノ粒子を真空チャンバ内へ同時放出せしめ、合金ナノ粒子を作製する。トリガ電極とカソード電極とが、絶縁碍子を挟んで同軸状に隣接して固定され、カソード電極の周りに同軸状にアノード電極が離間して配置されている蒸着源を少なくとも2つ備え、蒸着金属が基板に対して斜入射できるように蒸着源を配置してなり、各トリガ電源にトリガ放電の発生のタイミングをずらすための遅延ユニットが接続されている。 (もっと読む)


【課題】可視光の光学吸収が少なく密着性の良好なフッ化マグネシウム等のフッ化物薄膜をプラスチック基材上に真空蒸着法により高速で、且つ極めて安定した成膜速度で連続的に形成する。
【解決手段】
プラスチックフィルム(4)を連続的に巻出す巻出し部(2)と、
巻出し部(2)から巻き出されたプラスチックフィルム(4)を巻き取る巻取り部(3)と、
巻出し部(2)と巻取り部(3)との間に配置されたメインロール(5)と、
高い材料密度と微細な空孔を有する固体材料、または、充填密度の高い顆粒材料、または、前記固体材料と前記顆粒材料との混合材料であり、かつ、フッ化マグネシウムを主体とするフッ化物を含み、かつ、メインロール(5)に対向配置された蒸着材料(6)と、
蒸着材料(6)に電子ビームを照射する電子銃(7)と、
蒸着材料(6)を連続的に供給する供給手段と、
を備える真空槽(1)を有する真空蒸着装置。 (もっと読む)


【課題】蒸着材料の利用効率をたかめ、有機化合物を含む層を有する発光装置の製造コストを低減するとともに、発光装置の製造に要する製造時間を短縮させることを課題とする。
【解決手段】成膜室内を減圧下とし、導電表面基板への通電によって、導電表面基板を急速に加熱し、導電表面基板上の材料層を短時間に蒸発させ、被成膜基板に蒸着し、被成膜基板上に材料層を成膜する。なお、急速に加熱する導電表面基板の加熱面積は、被成膜基板と同等のサイズとし、1回の加熱で1枚の被成膜基板への成膜を終了させる。 (もっと読む)


【課題】高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】超硬合金、サーメット、立方晶窒化ほう素基超高圧焼結体からなる切削工具基体表面に、組成式(Al1−X Ti)N(ただし、原子比で、Xは0.40〜0.60)を満足するAlとTiの複合窒化物層からなり、かつ、該複合窒化物層についてEBSDによる結晶方位解析を行った場合、表面研磨面の法線方向から0〜15度の範囲内に結晶方位<111>を有する結晶粒の面積割合が50%以上、また、隣り合う結晶粒同士のなす角を測定した場合に、小角粒界(0<θ≦15゜)の割合が50%以上であるような、結晶配列を示す改質(Al,Ti)N層で硬質被覆層を構成する。 (もっと読む)


【課題】放射線検出器を高い電子輸送性を維持したまま、正孔輸送性を大きく向上することができるものとする。
【解決手段】記録用光導電層の両側に電極が設けられ、該電極間に所定のバイアス電圧を印加した状態で、放射線の照射を受けることにより前記記録用光導電層内部に発生した電荷を電気信号として検出する放射線検出器において、記録用光導電層に1.95±0.02の配位数を有するアモルファスセレンを用いる。 (もっと読む)


【課題】蒸着源の開口の温度が低下する部分で、蒸発した蒸着材料が堆積することを防止
する。
【解決手段】内部に蒸着材料が収納されているセル41と、セル上部に設けられ、蒸着材料の蒸気排出用開口が形成されたセルキャップ42と、セル外側に位置し、セル外側に設けられた加熱手段43Aを支持する側壁部材43と、側壁部材上端に固定された状態でセルキャップ上に密着されて配置され、蒸気排出用開口42Aと対応する位置に開口が形成された蓋45とを含む。 (もっと読む)


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