【課題】イットリア系の皮膜で被覆された部材であって、主に、半導体や液晶製造用等のプラズマ処理装置部材として用いることができ、表面が緻密で滑らかであり、プラズマ処理時にパーティクルや金属不純物の発生によって被処理品を汚染することがなく、かつ、耐久性に優れた耐食性部材を提供する。
【解決手段】セラミックス又は金属からなる基材の少なくともプラズマ又は腐食性ガスに曝される部位の表面に、イットリア系耐食膜が形成された耐食性部材において、前記耐食膜の少なくとも表面層を、イットリアを主成分とし、他は五酸化タンタル又は五酸化ニオブのいずれか１種以上を前記イットリア１００ｍｏｌ％に対して０．０２ｍｏｌ％以上１０ｍｏｌ％以下含有している組成とする。 （もっと読む）

【課題】処理容器内壁の腐食の問題が生じ難い処理装置を提供すること。また、耐プラズマ性および耐腐食ガス性に優れた、処理装置に用いられる耐食性部材およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板を収容する処理容器と、処理容器内の被処理基板に処理を施す処理機構とを具備する処理装置であって、処理容器は、基材と、その内壁に溶射により形成された周期律表第３ａ族素化合物を含む膜とを具備し、その溶射により形成された周期律表第３ａ族元素化合物を含む膜の表面が研磨されている。 （もっと読む）

【課題】高温及び浸食環境に曝される基材に耐浸食性保護コーティングを施工するための組成、システム、及び方法を提供すること。
【解決手段】コーティング（１２）組成は、５ミクロン未満の平均粒度の金属炭化物相を有するサーメット材料を含む。コーティング（１２）は、約５ミクロン未満の平均表面粗さを有する。基材にコーティング（１２）を施工するシステム（１０）は、高速酸素燃料又は高速空気燃料システムと共に用いるよう構成された溶射ガン（１６）を含む。システム（１０）は更に、溶射ガン（１６）に供給されたサーメット材料を含み、該サーメット材料は、約５ミクロン以下の平均粒度を有する少なくとも約３４重量％の金属炭化物相を含む。金属炭化物相は、水、アルコール、有機可燃性液体、又は有機不燃性液体からなる群から選択された液体中に分散される。 （もっと読む）

【課題】セラミックス粉末を使用して衝撃焼結被覆によりセラミックス皮膜を製造する場合、プラズマ溶射は、フレーム温度が15000℃から30000℃にもなる。また従来のフレーム溶射はフレーム温度が2200℃から3400℃になり粉末が容易に溶融し、また昇華、分解することにより、溶射粉末と異なる変態した皮膜、組成が変わる皮膜となる。低温で衝撃焼結被覆をすることにより要求を満足する機能性を有する優れた皮膜を得る安価な方法を提供する。
【解決手段】従来のフレーム溶射と異なり、ガンの燃焼室の後に、粉末と燃焼ガスを供給ノズルからフレームの軸に向けて燃焼ガスとスラリー状微粉末を噴射し、燃焼室に導入の酸素量と供給ノズルから導入する燃焼ガスとの容量を調整してフレーム中に存在するセラミックス微粉末の温度を制御し、また燃焼生成ガスにより加速して、衝撃焼結被覆をし、要求機能特性と密着性を有する皮膜を形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐熱性に優れ、かつ、表面の気孔数が少ない絶縁被膜を得る。
【解決手段】金属基材の絶縁被膜方法は、溶射工程（Ｓ１）、含浸工程（Ｓ２）およびビーム照射工程（Ｓ３）を有する。溶射工程（Ｓ１）では、金属基材の表面に第１の金属酸化物を溶射して第１の絶縁被膜を形成する。含浸工程（Ｓ２）では、金属酸化物、金属酸化物の水和物または金属水酸化物を分散質としたゾルを第１の絶縁被膜の表面に形成された気孔に含浸させる。ビーム照射工程（Ｓ３）では、含浸工程（Ｓ２）後に、第１の絶縁被膜およびゾルに高エネルギービームを照射して第２の金属酸化物からなる第２の絶縁被膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】鋳物や鋼で形成されたものと同等以上の表面強度を有し、軽量で熱伝導性の優れた伸線機用キャプスタンブロックを提供することである。
【解決手段】キャプスタンブロック２を形成する母材Ｍをジュラルミンとし、外周面の母材Ｍをプラズマアークで所定の深さまで溶融して、この外周面の母材Ｍの溶融部の下部に、母材Ｍよりも比重が大きいＷＣで形成された強化粒子４を重力によって沈降、堆積させ、この強化粒子４を堆積させた堆積層５の上側に、溶融した母材Ｍを浮揚させた浮揚層６を形成して、この母材Ｍの浮揚層６の表面を平滑化し、平滑化した浮揚層６の表面に溶射法による硬質皮膜７を形成した。 （もっと読む）

【課題】高温結晶安定性に優れ、高靭性を有する遮熱コーティング用材料を提供することを目的とする。また、該遮熱コーティング用材料を用いて形成されたセラミックス層を有する遮熱コーティング、並びに、該遮熱コーティングを備えるタービン用部材及びガスタービンを提供することを目的とする。
【解決手段】遮熱コーティング用溶射粉は、組成式（１）：Ｓｍ_ｘＹｂ_ｙＺｒ_{(１−ｘ−ｙ）}Ｏ_{（（４−ｘ−ｙ）／２）}（ただし、０≦ｘ≦０．０５、０．０６≦ｙ≦０．１１）、または、組成式（２）：Ｓｍ_ｘＹ_ｙＺｒ_{(１−ｘ−ｙ）}Ｏ_{（（４−ｘ−ｙ）／２）}（ただし、０≦ｘ≦０．０５、０．０４≦ｙ≦０．０９）で表され、原料混合後、電気溶融工程とスプレードライ等による造粒工程を経ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れより低コストで製造できる遮熱コーティング材、及び、これを備えるタービン部材及びガスタービンを提供する。
【解決手段】耐熱合金基材１１上に、耐高温酸化合金からなるボンドコート１２とトップコート１３とを備え、前記トップコート１３が前記ボンドコート１２側から順に、ジルコニアを主とするジルコニア含有層１４と、一般式Ａ_２Ｚｒ_２Ｏ_７（Ａは希土類元素を表す）で表される材料、または、Ａ’_１Ｂ_１Ｚｒ_２Ｏ_７（Ａ’及びＢは、それぞれＬａ，Ｎｄ，Ｓｍ，Ｇｄ，Ｄｙ，Ｃｅ，Ｙｂのいずれか、かつ、Ａ’とＢとは互いに異なる元素を表す）を主とする放射層１５とで構成され、前記放射層１５の膜厚が、前記トップコート１３の膜厚の１０％未満とされる遮熱コーティング材。 （もっと読む）

【課題】溶湯接合によりベース一体型の金属−セラミックス接合基板を製造する際に、アルミニウムまたはアルミニウム合金より熱伝導率の大きい金属からなる金属板を取り囲むように、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるベース板を形成しても、その金属とＡｌとの金属間化合物または固溶体の形成を防止するとともに、その金属とＡｌの拡散を防止することができる、金属−セラミックス接合基板を製造する手段を提供する。
【解決手段】金属部材の表面にセラミックスを溶射して金属部材の表面が溶射皮膜で被覆された溶射皮膜被覆部材１６を得た後、この溶射皮膜被覆部材とセラミックス基板１２とを互いに離間して鋳型２０内に配置させ、この鋳型内の溶射皮膜被覆部材の全面とセラミックス基板の一方の面に接触するようにアルミニウムまたはアルミニウム合金の溶湯を注湯した後に溶湯を冷却して固化させる。 （もっと読む）

【課題】層状物品を提供する。
【解決手段】本物品は、第１の外側層（３００）と、第２の中間層（２００、２０１）と、基材（１００）とを含み、第２の中間層（２００、２０１）は、第１の界面で第１の外側層（３００）にかつ第２の界面で基材（１００）に接触している。第１の外側層（３００）は、Ａｌ_２Ｏ_３−ＴｉＯ_２を含み、また第２の中間層（２００、２０１）は、傾斜機能材料を含む。傾斜機能材料は、第１の界面に近接した位置において実質的にＡｌ_２Ｏ_３−ＴｉＯ_２を含まずかつ第２の界面の位置において第１の外側層（３００）と実質的に等しい量のＡｌ_２Ｏ_３−ＴｉＯ_２を有する組成を含む。 （もっと読む）